CN111796491A - 一种光刻机用硅片吸附夹具 - Google Patents

一种光刻机用硅片吸附夹具 Download PDF

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CN111796491A CN202010712131.8A CN202010712131A CN111796491A CN 111796491 A CN111796491 A CN 111796491A CN 202010712131 A CN202010712131 A CN 202010712131A CN 111796491 A CN111796491 A CN 111796491A
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魏运秀
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    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
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Abstract

本发明公开了一种光刻机用硅片吸附夹具，包括由吸附盘和密封盖围合而成的真空腔，吸附盘上成型有多个小孔，每个小孔的上端面上成型有小圆槽，小圆槽内套接有O型圈；密封盖上成型有管连接座和四个圆周均布的圆台，管连接座上成型有吸气孔，圆台上成型有缸孔，每个缸孔内套接有与其相配合的活塞，每个活塞固定在对应的支杆的上端，每两个支杆的下端分别固定在对应的一个连接板的两端，每个连接板的中部与伸缩缸的活塞杆固定连接，伸缩缸固定在密封盖上。本发明通过活塞的移动改变取片时吸附盘对硅片的吸附力，且可以进一步通过顶杆将橡胶片顶起将硅片顶离，可有效降低取片难度，提高工作效率。

Description

一种光刻机用硅片吸附夹具
技术领域
本发明涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种光刻机用硅片吸附夹具。
背景技术
GPP工艺光刻工序是GPP工艺中必不可少的一道工序，过程控制和质量好坏对DPP工艺产品质量、成本控制起着至关重要的作用。改进操作方法和工装夹具，提高该工序质量合格率和工作效率，为该产品在市场竞争中提供基础保障，是每个GPP工艺产品生产单位都乐意为之的事情。曝光后硅片吸盘与硅片之间因真空吸附，充气时间长，取片困难，容易破损，工作效率低，损耗大。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术的不足，提供一种光刻机用硅片吸附夹具，它通过活塞的移动改变取片时吸附盘对硅片的吸附力，且可以进一步通过顶杆将橡胶片顶起将硅片顶离，可有效降低取片难度，提高工作效率。
本发明解决所述技术问题的方案是：
一种光刻机用硅片吸附夹具，包括由上下设置的吸附盘和密封盖围合而成的真空腔，所述吸附盘的上底面上成型有多个与真空腔相通的小孔，每个小孔的上端面上成型有与其同轴心设置的小圆槽，小圆槽内套接有O型圈；所述密封盖上成型有管连接座和四个圆周均布的圆台，管连接座上成型有与真空腔相通的吸气孔，圆台上成型有上下贯穿的且与真空腔相通的缸孔，每个缸孔内套接有与其相配合的活塞，每个活塞固定在对应的支杆的上端，每两个支杆的下端分别固定在对应的一个连接板的两端，每个连接板的中部与伸缩缸的活塞杆固定连接，所述伸缩缸固定在密封盖上。
所述O型圈的上侧壁高于吸附盘的上底面。
所述活塞的外壁上套接有密封圈，密封圈压靠在缸孔的内壁上。
所述吸附盘的上侧壁上成型有四个分别与四个缸孔一一对应的通孔；每个通孔内固定有橡胶片，橡胶片的上表面低于吸附盘的上底面；所述橡胶片的正下方设有顶杆，顶杆固定在对应的活塞上。
所述橡胶片的下底面上成型有凸环，凸环夹持在保持架和通孔的内壁之间；所述橡胶片的下底面压靠在保持架上。
所述顶杆与橡胶片的下底面之间的间距L1小于连接板与缸孔的下端面之间的间距L2小于活塞的上底面与缸孔的上端面之间的间距L3。
本发明的突出效果是：与现有技术相比，其通过活塞的移动改变取片时吸附盘对硅片的吸附力，且可以进一步通过顶杆将橡胶片顶起将硅片顶离，可有效降低取片难度，提高工作效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的俯视图；
图3为本发明的仰视图；
图4为图1关于A的局部放大图。
具体实施方式
实施例，见如图1至图4所示，一种光刻机用硅片吸附夹具，包括由上下设置的吸附盘1和密封盖2围合而成的真空腔101，所述吸附盘1的上底面上成型有多个与真空腔101相通的小孔11，每个小孔11的上端面上成型有与其同轴心设置的小圆槽12，小圆槽12内套接有O型圈3；所述密封盖2上成型有管连接座21和四个圆周均布的圆台22，管连接座21上成型有与真空腔101相通的吸气孔23，圆台22上成型有上下贯穿的且与真空腔101相通的缸孔24，每个缸孔24内套接有与其相配合的活塞41，每个活塞41固定在对应的支杆42的上端，每两个支杆42的下端分别固定在对应的一个连接板43的两端，每个连接板43的中部与伸缩缸44的活塞杆固定连接，所述伸缩缸44固定在密封盖2上。
更进一步的说，所述O型圈3的上侧壁高于吸附盘1的上底面。
更进一步的说，所述活塞41的外壁上套接有密封圈45，密封圈45压靠在缸孔24的内壁上。
更进一步的说，所述吸附盘1的上侧壁上成型有四个分别与四个缸孔24一一对应的通孔13；每个通孔13内固定有橡胶片46，橡胶片46的上表面低于吸附盘1的上底面；所述橡胶片46的正下方设有顶杆47，顶杆47固定在对应的活塞41上。
更进一步的说，所述橡胶片46的下底面上成型有凸环461，凸环461夹持在保持架47和通孔13的内壁之间；所述橡胶片46的下底面压靠在保持架47上。
更进一步的说，所述顶杆47与橡胶片46的下底面之间的间距L1小于连接板43与缸孔24的下端面之间的间距L2小于活塞41的上底面与缸孔24的上端面之间的间距L3。
工作原理：将硅片放置在吸附盘1上，外界的真空泵和管道通过吸气孔23对真空腔101抽真空，真空腔101通过小孔11将硅片1吸附住；当硅片加工完成后，真空泵停止对真空腔101抽真空，但此时真空腔101内的负压压力仍较大，仍将硅片紧紧吸住；此时两个伸缩缸44的活塞杆收缩带动对应的连接板43上移，连接板43通过直杆42带动活塞41上移，活塞41上移真空腔101的体积变小，从而降低真空腔101的负压压力，随着活塞41的继续上移，顶杆47将橡胶片46的中部顶起并高于吸附盘1的上表面，从而将硅片顶离。
最后，以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (6)

1.一种光刻机用硅片吸附夹具，包括由上下设置的吸附盘(1)和密封盖(2)围合而成的真空腔(101)，其特征在于：所述吸附盘(1)的上底面上成型有多个与真空腔(101)相通的小孔(11)，每个小孔(11)的上端面上成型有与其同轴心设置的小圆槽(12)，小圆槽(12)内套接有O型圈(3)；所述密封盖(2)上成型有管连接座(21)和四个圆周均布的圆台(22)，管连接座(21)上成型有与真空腔(101)相通的吸气孔(23)，圆台(22)上成型有上下贯穿的且与真空腔(101)相通的缸孔(24)，每个缸孔(24)内套接有与其相配合的活塞(41)，每个活塞(41)固定在对应的支杆(42)的上端，每两个支杆(42)的下端分别固定在对应的一个连接板(43)的两端，每个连接板(43)的中部与伸缩缸(44)的活塞杆固定连接，所述伸缩缸(44)固定在密封盖(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片吸附夹具，其特征在于：所述O型圈(3)的上侧壁高于吸附盘(1)的上底面。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片吸附夹具，其特征在于：所述活塞(41)的外壁上套接有密封圈(45)，密封圈(45)压靠在缸孔(24)的内壁上。
4.根据权利要求1所述的一种光刻机用硅片吸附夹具，其特征在于：所述吸附盘(1)的上侧壁上成型有四个分别与四个缸孔(24)一一对应的通孔(13)；每个通孔(13)内固定有橡胶片(46)，橡胶片(46)的上表面低于吸附盘(1)的上底面；所述橡胶片(46)的正下方设有顶杆(47)，顶杆(47)固定在对应的活塞(41)上。
5.根据权利要求4所述的一种光刻机用硅片吸附夹具，其特征在于：所述橡胶片(46)的下底面上成型有凸环(461)，凸环(461)夹持在保持架(47)和通孔(13)的内壁之间；所述橡胶片(46)的下底面压靠在保持架(47)上。
6.根据权利要求4所述的一种光刻机用硅片吸附夹具，其特征在于：所述顶杆(47)与橡胶片(46)的下底面之间的间距L1小于连接板(43)与缸孔(24)的下端面之间的间距L2小于活塞(41)的上底面与缸孔(24)的上端面之间的间距L3。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113085075A (zh) * 2021-04-06 2021-07-09 重庆同力塑料制品有限公司 一种用于批量eps泡沫制品成型作业的液压动力系统

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