CN209418484U - 一种精密真空切割吸盘 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种精密真空切割吸盘，包括吸盘本体、连接体、橡胶体、吸盘座、密封垫和导向管，所述连接体顶端固定连接有导向管，所述连接体底端固定连接有橡胶体，所述橡胶体底端固定连接有吸盘座，所述吸盘座下端面固定连接有密封垫，所述吸盘本体固定安装在底板上，所述吸盘本体设有多组，所述底板上端面设有外壳，所述外壳通过螺栓与底板固定连接，所述导向管顶端通过安装头与连接管固定连接，所述连接管远离安装头的一端与转接管固定连接，所述连接管、安装头设于放置腔内，所述转接管固定安装在外壳上，所述外壳顶端还固定安装有连接板。该精密真空切割吸盘，设计合理，使用方便，具有稳定性好、吸附力强的优点。

Description

一种精密真空切割吸盘

技术领域

本实用新型属于吸盘技术领域，具体涉及一种精密真空切割吸盘。

背景技术

真空吸盘，又称真空吊具，是真空设备执行器之一。一般来说，利用真空吸盘抓取制品是最廉价的一种方法。真空吸盘品种多样，橡胶制成的吸盘可在高温下进行操作，由硅橡胶制成的吸盘非常适于抓住表面粗糙的制品；由聚氨酯制成的吸盘则很耐用。另外，在实际生产中，如果要求吸盘具有耐油性，则可以考虑使用聚氨酯、丁腈橡胶或含乙烯基的聚合物等材料来制造吸盘，具有较大的扯断力，因而广泛应用于各种真空吸持设备上。

在晶圆的加工定位中，需要通过真空吸盘吸着晶圆进行切割、抛光等加工，现有的真空吸盘稳定性不好，容易发生形变，导致吸附力不够，容易出现晶圆掉落现象发生，从而导致晶圆损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种精密真空切割吸盘，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种精密真空切割吸盘，包括吸盘本体、连接体、橡胶体、吸盘座、密封垫和导向管，所述连接体顶端固定连接有导向管，所述连接体底端固定连接有橡胶体，所述橡胶体底端固定连接有吸盘座，所述吸盘座下端面固定连接有密封垫，所述吸盘本体固定安装在底板上，所述吸盘本体设有多组，所述底板上端面设有外壳，所述外壳通过螺栓与底板固定连接，所述导向管顶端通过安装头与连接管固定连接，所述连接管远离安装头的一端与转接管固定连接，所述连接管、安装头设于放置腔内，所述转接管固定安装在外壳上，所述外壳顶端还固定安装有连接板，所述连接板顶端固定连接有伸缩杆，所述转接管远离连接管的一端与吸气管固定连接，所述吸气管上连接有进气管。

优选的，所述底板下端面开设有用于安装螺栓的凹槽，所述底板下端面还开设有安装槽，所述连接体顶端插接在安装槽内，所述导向管穿过底板通过固定螺母固定安装在底板上，所述固定螺母设于放置腔内。

优选的，所述外壳为圆柱体结构，所述外壳顶端中心位置开设有用于安装转接管的安装孔，所述连接板上也开设有安装孔，所述安装孔设有两组，两组所述安装孔连通。

优选的，所述导向管内设有吸气通道，所述连接体、橡胶体内部均设有空腔，所述空腔设有两组，且两组所述空腔连通，所述空腔与吸气通道连通，所述吸盘座、密封垫中间位置均开设有通孔，所述通孔设有两组，且两组所述通孔连通，所述通孔与空腔连通。

优选的，所述安装头、连接管均设有多组，多组所述连接管远离安装头的一端均固定插接在转接管的底端，所述转接管内设有中转腔，所述吸气管通过转接管与多组所述连接管连通。

优选的，所述吸气管一侧固定连接有进气管，所述吸气管与进气管连通，所述进气管远离吸气管的一端连接有紧固帽。

本实用新型的技术效果和优点：该精密真空切割吸盘，通过外壳、底板、吸气管、转接管和连接管的配合使用，使多组吸盘本体可以同时使用，通过密封垫为硅胶垫的设计，增加了该精密真空切割吸盘的吸附力，硅胶别名硅酸凝胶，是一种高活性吸附材料，通过底板、导向管和固定螺母的设计，使多组吸盘本体形成一体结构，避免多组吸盘本体出现散开现象，提高吸盘本体的稳定性，避免吸盘本体出现形变现象，该精密真空切割吸盘，设计合理，使用方便，具有稳定性好、吸附力强的优点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的吸盘本体；

图3为本实用新型的外壳立体图。

图中：1外壳、2放置腔、3底板、4凹槽、5吸盘本体、6伸缩杆、7连接板、8连接管、9安装头、10固定螺母、11螺栓、12吸气管、13转接管、14吸气通道、15连接体、16橡胶体、17吸盘座、18密封垫、19通孔、20空腔、21安装孔、22进气管、23导向管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种精密真空切割吸盘，包括吸盘本体5、连接体15、橡胶体16、吸盘座17、密封垫18和导向管23，所述连接体15顶端固定连接有导向管23，所述连接体15底端固定连接有橡胶体16，所述橡胶体16底端固定连接有吸盘座17，所述吸盘座17下端面固定连接有密封垫18，所述吸盘本体5固定安装在底板3上，所述吸盘本体5设有多组，所述底板3上端面设有外壳1，所述外壳1通过螺栓11与底板3固定连接，所述导向管23顶端通过安装头9与连接管8固定连接，所述连接管8远离安装头9的一端与转接管13固定连接，所述连接管8、安装头9设于放置腔2内，所述转接管13固定安装在外壳1上，所述外壳1顶端还固定安装有连接板7，所述连接板7顶端固定连接有伸缩杆6，所述转接管13远离连接管8的一端与吸气管12固定连接，所述吸气管12上连接有进气管22，伸缩杆6在连接板7上以吸气管12为圆心环形阵列多组，放置腔2设于外壳1内。

具体的，所述底板3下端面开设有用于安装螺栓11的凹槽4，所述底板3下端面还开设有安装槽，所述连接体15顶端插接在安装槽内，所述导向管23穿过底板3通过固定螺母10固定安装在底板3上，所述固定螺母10设于放置腔2内，底板3为圆形板状结构。

具体的，所述外壳1为圆柱体结构，所述外壳1顶端中心位置开设有用于安装转接管13的安装孔21，所述连接板7上也开设有安装孔21，所述安装孔21设有两组，两组所述安装孔21连通。

具体的，所述导向管23内设有吸气通道14，所述连接体15、橡胶体16内部均设有空腔20，所述空腔20设有两组，且两组所述空腔20连通，所述空腔20与吸气通道14连通，所述吸盘座17、密封垫18中间位置均开设有通孔19，所述通孔19设有两组，且两组所述通孔19连通，所述通孔19与空腔20连通，密封垫18为硅胶垫，硅胶别名：硅酸凝胶，是一种高活性吸附材料。

具体的，所述安装头9、连接管8均设有多组，多组所述连接管8远离安装头9的一端均固定插接在转接管13的底端，所述转接管13内设有中转腔，所述吸气管12通过转接管13与多组所述连接管8连通。

具体的，所述吸气管12一侧固定连接有进气管22，所述吸气管12与进气管22连通，所述进气管22远离吸气管12的一端连接有紧固帽，紧固帽与进气管22螺纹连接，进气管12远离转接管13的一端与抽气泵连接。

具体的，该精密真空切割吸盘，在使用时，首先将晶圆放置在工作台上，通过伸缩杆6带动外壳1做下降运动，将吸盘本体5对准晶圆，然后伸缩杆6继续下降，直至吸盘本体5底端的密封垫18与晶圆接触，然后打开抽气泵，抽气泵开始工作将吸气管12内的空气抽走，继而将空腔20内的空气也抽走，空腔20内形成负压，通过密封垫18使晶圆紧密吸附在吸盘本体5上，吸盘本体5将晶圆吸走进行切割或抛光加工，当晶圆加工完成后，将晶圆放置在指定的位置，然后拧开进气管22上紧固帽，空气进入吸气管12内，从而进入空腔20内，晶圆自动从吸盘本体5上脱落，该精密真空切割吸盘，设计合理，使用方便，具有稳定性好、吸附力强的优点。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种精密真空切割吸盘，包括吸盘本体(5)、连接体(15)、橡胶体(16)、吸盘座(17)、密封垫(18)和导向管(23)，其特征在于：所述连接体(15)顶端固定连接有导向管(23)，所述连接体(15)底端固定连接有橡胶体(16)，所述橡胶体(16)底端固定连接有吸盘座(17)，所述吸盘座(17)下端面固定连接有密封垫(18)，所述吸盘本体(5)固定安装在底板(3)上，所述吸盘本体(5)设有多组，所述底板(3)上端面设有外壳(1)，所述外壳(1)通过螺栓(11)与底板(3)固定连接，所述导向管(23)顶端通过安装头(9)与连接管(8)固定连接，所述连接管(8)远离安装头(9)的一端与转接管(13)固定连接，所述连接管(8)、安装头(9)设于放置腔(2)内，所述转接管(13)固定安装在外壳(1)上，所述外壳(1)顶端还固定安装有连接板(7)，所述连接板(7)顶端固定连接有伸缩杆(6)，所述转接管(13)远离连接管(8)的一端与吸气管(12)固定连接，所述吸气管(12)上连接有进气管(22)。

2.根据权利要求1所述的一种精密真空切割吸盘，其特征在于：所述底板(3)下端面开设有用于安装螺栓(11)的凹槽(4)，所述底板(3)下端面还开设有安装槽，所述连接体(15)顶端插接在安装槽内，所述导向管(23)穿过底板(3)通过固定螺母(10)固定安装在底板(3)上，所述固定螺母(10)设于放置腔(2)内。

3.根据权利要求1所述的一种精密真空切割吸盘，其特征在于：所述外壳(1)为圆柱体结构，所述外壳(1)顶端中心位置开设有用于安装转接管(13)的安装孔(21)，所述连接板(7)上也开设有安装孔(21)，所述安装孔(21)设有两组，两组所述安装孔(21)连通。

4.根据权利要求1所述的一种精密真空切割吸盘，其特征在于：所述导向管(23)内设有吸气通道(14)，所述连接体(15)、橡胶体(16)内部均设有空腔(20)，所述空腔(20)设有两组，且两组所述空腔(20)连通，所述空腔(20)与吸气通道(14)连通，所述吸盘座(17)、密封垫(18)中间位置均开设有通孔(19)，所述通孔(19)设有两组，且两组所述通孔(19)连通，所述通孔(19)与空腔(20)连通。

5.根据权利要求1所述的一种精密真空切割吸盘，其特征在于：所述安装头(9)、连接管(8)均设有多组，多组所述连接管(8)远离安装头(9)的一端均固定插接在转接管(13)的底端，所述转接管(13)内设有中转腔，所述吸气管(12)通过转接管(13)与多组所述连接管(8)连通。

6.根据权利要求1所述的一种精密真空切割吸盘，其特征在于：所述吸气管(12)一侧固定连接有进气管(22)，所述吸气管(12)与进气管(22)连通，所述进气管(22)远离吸气管(12)的一端连接有紧固帽。