CN220867494U - 一种光电材料镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜机技术领域,具体地说，涉及一种光电材料镀膜机。其包括镀膜箱和箱门，镀膜箱内部顶端设有蒸发源，镀膜箱内部的真空箱中对称两侧均设有用于将基材夹持固定的夹持组件，真空箱配合加热隔板形成密封空间，且真空箱连通连接管，真空箱一旁设有的电机，镀膜箱底部开设的多个连通风机的进风槽，且进风槽一旁均设有过滤组件，使用过滤组件将外部空气净化，干净的空气在风机的作用下吹向两侧夹持组件夹持的基材，对基材表面附着的灰尘和杂质进行清除，使得灰尘落入镀膜箱内部底端，将加热隔板与真空箱密封配合，电机带动基材转动，在蒸发源的作用下对基材进行镀膜，以此实现均匀镀膜，提高镀膜的效果。

Description

一种光电材料镀膜机

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，更确切地说涉及一种光电材料镀膜机。

背景技术

光电材料镀膜机是一种用于在光学元件表面上制备光学薄膜的设备。它采用物理气相沉积或化学气相沉积等技术，通过控制薄膜的沉积过程，使光学元件表面形成具有特定光学性质的薄膜层。

针对镀膜机来说，现有技术就有很多，例如：

中国专利公开号CN217628589U公开了一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，包括镀膜腔壳、气罐、真空泵和加热器，所述镀膜腔壳的内部设有真空镀膜腔，所述真空镀膜腔的腔底部通过架支杆支撑安装有放置工架，所述真空镀膜腔的上下腔壁上均安装有所述加热器，所述镀膜腔壳的顶部支撑固定有所述气罐和所述真空泵，所述真空泵的进气端连接安装有真空泵进管，所述真空泵的排气端安装有三通阀，所述三通阀的一个阀口上安装有回气管，所述真空泵进管的末端端口通过所述镀膜腔壳的侧腔壁延伸到所述真空镀膜腔的腔内所述，回气管的末端安装到所述气罐上。有益效果在于：本实用新型在镀膜后可以通过制冷惰性气体的实现腔内降温，避免工件在高温下发生氧化变黄变黑现象。

然而，现有的镀膜机在使用时，一般先将基材放置在真空腔体中的固定板，空腔内部温度升高，同时蒸发源对基材进行镀膜，但是，通过采用该种镀膜方式，由于基材表面镀膜之后需要再次翻转对背面进行镀膜，导致在镀膜的过程中操作复杂，还会存在基材侧面镀膜不均匀的情况，而且上述将基材直接放置在放置工架上，基材侧面存在镀膜不均匀的情况，同时，附着在基材表面上的杂质还会导致最终的镀膜效果不好，影响镀膜。

鉴于此，本实用新型提供了一种光电材料镀膜机。

实用新型内容

本实用新型之目的在于解决上述缺点，并提供一种均匀镀膜，提高镀膜效果的光电材料镀膜机。

使用过滤组件将外部空气净化，干净的空气在风机的作用下吹向两侧夹持组件夹持的基材，对基材表面附着的灰尘和杂质进行清除，使得灰尘落入镀膜箱内部底端，然后，将加热隔板与真空箱密封配合，电机带动转盘、夹持组件和基材转动，在蒸发源的作用下对基材进行镀膜，以此实现均匀镀膜，提高镀膜的效果。

因此本实用新型提供了一种光电材料镀膜机，包括镀膜箱和箱门，所述镀膜箱内部顶端设有蒸发源，所述镀膜箱内部的真空箱中对称两侧均设有用于将基材夹持固定的夹持组件，所述真空箱配合加热隔板形成密封空间，且真空箱连通连接管，真空箱一旁设有的电机带动真空箱内部的转盘和夹持组件转动，所述镀膜箱底部开设的多个连通风机的进风槽，且进风槽一旁均设有净化抽入空气的过滤组件。

作为本技术方案的进一步改进，所述夹持组件包括夹板和丝杆，所述夹板转动连接丝杆端部，且所述丝杆螺纹连接固定在转盘上的凸块。

作为本技术方案的进一步改进，所述转盘转动连接真空箱内壁，所述转盘一侧对称两端均设有弧形防坠板，所述夹板将基材夹持时，端部粘合的垫片与基材贴紧。

作为本技术方案的进一步改进，所述过滤组件由过滤板和吸附板组成，所述过滤板用于过滤抽入空气中的杂质，所述吸附板中填充活性炭颗粒。

作为本技术方案的进一步改进，所述风机上方分别设有冷却管和保护壳，所述冷却管上方通过开设多个通风槽的保护壳包裹。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

该光电材料镀膜机中，使用过滤组件将外部空气净化，干净的空气在风机的作用下吹向两侧夹持组件夹持的基材，对基材表面附着的灰尘和杂质进行清除，使得灰尘落入镀膜箱内部底端，然后，将加热隔板与真空箱密封配合，电机带动转盘、夹持组件和基材转动，在蒸发源的作用下对基材进行镀膜，以此实现均匀镀膜，提高镀膜的效果。

附图说明

下面，参考附图，以示例的方式更详细地描述本实用新型，附图中：

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的镀膜箱剖切前视结构示意图；

图3为本实用新型的夹持组件结构示意图；

图4为本实用新型的过滤组件结构示意图。

图中各个标号意义为：

100、镀膜箱；101、真空箱；102、连接管；103、电机；104、进风槽；105、蒸发源；106、保护壳；107、加热隔板；108、冷却管；109、风机；

200、夹持组件；201、夹板；202、丝杆；203、垫片；204、转盘；

300、过滤组件；301、过滤板；302、吸附板。

具体实施方式

现有的镀膜机在使用时，一般先将基材放置在真空腔体中的固定板，空腔内部温度升高，同时蒸发源对基材进行镀膜，但是，通过采用该种镀膜方式，由于基材表面镀膜之后需要再次翻转对背面进行镀膜，导致在镀膜的过程中操作复杂，还会存在基材侧面镀膜不均匀的情况，而且上述将基材直接放置在放置工架上，基材侧面存在镀膜不均匀的情况，同时，附着在基材表面上的杂质还会导致最终的镀膜效果不好，影响镀膜。

如图1-4所示，该装置包括镀膜箱100和箱门，镀膜箱100内部顶端设有蒸发源105，镀膜箱100内部的真空箱101中对称两侧均设有用于将基材夹持固定的夹持组件200，真空箱101配合加热隔板107形成密封空间，且真空箱101连通连接管102，真空箱101一旁设有的电机103带动真空箱101内部的转盘204和夹持组件200转动，镀膜箱100底部开设的多个连通风机109的进风槽104，且进风槽104一旁均设有净化抽入空气的过滤组件300，使用过滤组件300将外部空气净化，干净的空气在风机109的作用下吹向两侧夹持组件200夹持的基材，对基材表面附着的灰尘和杂质进行清除，使得灰尘落入镀膜箱100内部底端，然后，将加热隔板107与真空箱101密封配合，电机103带动转盘204、夹持组件200和基材转动，在蒸发源105的作用下对基材进行镀膜，以此实现均匀镀膜，提高镀膜的效果。

首先对夹持组件200的具体结构进行公开，夹持组件200包括夹板201和丝杆202，夹板201转动连接丝杆202端部，且丝杆202螺纹连接固定在转盘204上的凸块，转盘204转动连接真空箱101内壁，转盘204一侧对称两端均设有弧形防坠板，夹板201将基材夹持时，端部粘合的垫片203与基材贴紧。

通过将基材保持与防坠板垂直，使得基材的端部压在防坠板上，然后，分别转动两侧的丝杆202端部的旋钮，由于丝杆202螺纹连接固定在转盘204上的凸块，于是，随着丝杆202的转动，丝杆202推动夹板201和丝杆202移动，直至垫片203与基材侧面接触，然后，两侧的垫片203将基材夹持固定，同时垫片203对基材进行保护，防止过度挤压造成基材的损坏。

其次，关闭箱门，在风机109和过滤组件300的作用下，对基材表面附着的杂质进行清除，清除后的杂质落入镀膜箱100内部底端，然后，打开镀膜箱100顶部的密封盖，加入镀膜原材料，关闭密封盖，再将加热隔板107插入镀膜箱100中形成真空环境，连接管102一侧通过连接的真空泵将真空箱101内部的空气抽出，电机103带动转盘204和基材转动，从而实现均匀镀膜，防止灰尘影响镀膜的效果。

进一步的，如上所述，过滤组件300用于对基材表面附着的杂质进行清除，因此对过滤组件300的具体结构进行公开，过滤组件300由过滤板301和吸附板302组成，过滤板301用于过滤抽入空气中的杂质，吸附板302中填充活性炭颗粒，风机109上方分别设有冷却管108和保护壳106，冷却管108上方通过开设多个通风槽的保护壳106包裹。

启动风机109，风机109从外部抽入的空气，经过过滤板301和吸附板302之后，空气中的杂质和水汽被过滤吸附，防止抽入空气中的灰尘影响镀膜的效果，接着，待镀膜结束后，抽出加热隔板107，冷却管108启动工作，对基材进行冷却，最后，将冷却之后的基材取出。

综上所示，本方案的工作原理如下：首先，通过将基材保持与防坠板垂直，使得基材的端部压在防坠板上，然后，分别转动两侧的丝杆202端部的旋钮，由于丝杆202螺纹连接固定在转盘204上的凸块，于是，随着丝杆202的转动，丝杆202推动夹板201和丝杆202移动，直至垫片203与基材侧面接触，然后，两侧的垫片203将基材夹持固定，同时垫片203对基材进行保护，防止过度挤压造成基材的损坏。

其次，关闭箱门，启动风机109，风机109从外部抽入的空气，经过过滤板301和吸附板302之后，空气中的杂质和水汽被过滤吸附，防止抽入空气中的灰尘影响镀膜的效果，然后，打开镀膜箱100顶部的密封盖，加入镀膜原材料，关闭密封盖，再将加热隔板107插入镀膜箱100中形成真空环境，连接管102一侧通过连接的真空泵将真空箱101内部的空气抽出，电机103带动转盘204和基材转动，从而实现均匀镀膜，接着，待镀膜结束后，抽出加热隔板107，冷却管108启动工作，对基材进行冷却，最后，将冷却之后的基材取出。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (5)

1.一种光电材料镀膜机，包括镀膜箱（100）和箱门，其特征在于：所述镀膜箱（100）内部顶端设有蒸发源（105），所述镀膜箱（100）内部的真空箱（101）中对称两侧均设有用于将基材夹持固定的夹持组件（200），所述真空箱（101）配合加热隔板（107）形成密封空间，且真空箱（101）连通连接管（102），真空箱（101）一旁设有的电机（103）带动真空箱（101）内部的转盘（204）和夹持组件（200）转动，所述镀膜箱（100）底部开设的多个连通风机（109）的进风槽（104），且进风槽（104）一旁均设有净化抽入空气的过滤组件（300）。

2.如权利要求1所述的光电材料镀膜机，其特征在于：所述夹持组件（200）包括夹板（201）和丝杆（202），所述夹板（201）转动连接丝杆（202）端部，且所述丝杆（202）螺纹连接固定在转盘（204）上的凸块。

3.如权利要求2所述的光电材料镀膜机，其特征在于：所述转盘（204）转动连接真空箱（101）内壁，所述转盘（204）一侧对称两端均设有弧形防坠板，所述夹板（201）将基材夹持时，端部粘合的垫片（203）与基材贴紧。

4.如权利要求1所述的光电材料镀膜机，其特征在于：所述过滤组件（300）由过滤板（301）和吸附板（302）组成，所述过滤板（301）用于过滤抽入空气中的杂质，所述吸附板（302）中填充活性炭颗粒。

5.如权利要求1所述的光电材料镀膜机，其特征在于：所述风机（109）上方分别设有冷却管（108）和保护壳（106），所述冷却管（108）上方通过开设多个通风槽的保护壳（106）包裹。