CN220866542U - 双z轴机械臂上料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了双Z轴机械臂上料机构，包括固定架，所述固定架的底部内壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过固定架固定连接有固定座，固定座的一侧开设有滑槽，滑槽内滑动连接有滑架，所述固定座的顶部固定连接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆伸缩部的一端延伸进滑槽内与滑架相固定，所述滑架的一端固定连接有第一固定板，第一固定板的底部开设有限位槽，限位槽内滑动连接有两个滑杆。本实用新型不需要人工装夹输送，节省了时间，提高了硅片传输的效率，而且能够挡住硅片篮的左右两侧，防止硅片掉落，提高硅片传输的稳定性，还能够防止夹板对硅片篮的表面造成损伤，提高了上料机构的使用效果。

Description

双Z轴机械臂上料机构

技术领域

本实用新型涉及机械臂技术领域，尤其涉及双Z轴机械臂上料机构。

背景技术

硅，指半导体制作材料是晶体硅，制作的元件叫做晶体管，在制作晶体管的过程中需要对硅进行输送上料。

如专利号为CN214136041U的专利一种硅片取放机械臂移动机构所公开的，现有技术中存在，硅片取放一般由人工装夹进行传输，人工传输效率低，无法满足现有的硅片传输要求，为了决绝此类问题，本申请提出了一种新结构的双Z轴机械臂上料机构。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的双Z轴机械臂上料机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

双Z轴机械臂上料机构，包括固定架，所述固定架的底部内壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过固定架固定连接有固定座，固定座的一侧开设有滑槽，滑槽内滑动连接有滑架，所述固定座的顶部固定连接有电动伸缩杆，且电动伸缩杆伸缩部的一端延伸进滑槽内与滑架相固定，所述滑架的一端固定连接有第一固定板，第一固定板的底部开设有限位槽，限位槽内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆的一侧均开设有滑孔，滑孔内滑动连接有导向杆，导向杆的一端固定连接有夹板，两个所述滑杆的两侧均固定连接有连接板，连接板的一侧固定连接有与夹板相固定的弹簧，所述第一固定板的两侧均设有推动夹板移动的驱动机构。

作为本实用新型再进一步的方案，所述驱动机构包括两个第二支架，两个所述第二支架分别固定在第一固定板的两侧，两个所述第二支架相邻的一侧均固定连接有液压缸，且液压缸的液压杆穿过第一固定板延伸进限位槽内与滑杆相固定。

作为本实用新型再进一步的方案，所述连接板的一侧固定连接有固定杆，固定杆的一端固定连接有滑板，且滑板穿过夹板。

作为本实用新型再进一步的方案，所述夹板的一侧固定连接有防护垫，且滑板穿过防护垫，所述夹板的外侧设有防腐涂层。

作为本实用新型再进一步的方案，所述滑板的一侧固定连接有两个与固定杆相固定的固定筋，使固定筋对固定杆和滑板之间进行加强。

作为本实用新型再进一步的方案，所述导向杆的另一端固定连接有抵挡块，使抵挡块对滑杆的移动进行限位。

作为本实用新型再进一步的方案，所述电动伸缩杆的圆周外壁固定连接有第一支架，且第一支架与固定座相固定。

作为本实用新型再进一步的方案，所述固定架的底部开设有多个均匀分布的安装孔，所述固定架的底部固定连接有橡胶垫。

本实用新型的有益效果为：

1.通过夹板的设置，驱动机构推动滑杆移动，滑杆会带动连接板移动，连接板通过弹簧推动夹板移动，使夹板对硅片篮进行夹取输送，不需要人工装夹输送，节省了时间，提高了硅片传输的效率。

2.通过滑板的设置，在夹板对硅片篮进行夹取时，驱动机构会继续推动滑杆移动，此时滑杆会通过连接板挤压弹簧，连接板会通过固定杆推动滑板移动，使滑板挡住硅片篮的左右两侧，防止硅片掉落，提高硅片传输的稳定性。

3.通过防护垫的设置，在夹板对硅片篮进行夹持时，防护垫可以对硅片篮进行防护，防止夹板对硅片篮的表面造成损伤，提高了上料机构的使用效果。

附图说明

图1为本实用新型提出的双Z轴机械臂上料机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的双Z轴机械臂上料机构的局部放大结构示意图；

图3为本实用新型提出的双Z轴机械臂上料机构的A部放大结构示意图。

图中：1、橡胶垫；2、安装孔；3、固定架；4、固定座；5、滑槽；6、第一支架；7、电动伸缩杆；8、滑架；9、第一固定板；10、连接板；11、防护垫；12、滑板；13、夹板；14、固定杆；15、固定筋；16、限位槽；17、液压缸；18、第二支架；19、抵挡块；20、防腐涂层；21、弹簧；22、导向杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1-图3，双Z轴机械臂上料机构，包括固定架3，固定架3的底部内壁通过螺栓固定有电机，电机输出轴的一端穿过固定架3通过螺栓固定有固定座4，固定座4的一侧开设有滑槽5，滑槽5内滑动连接有滑架8，固定座4的顶部通过螺栓固定有电动伸缩杆7，且电动伸缩杆7伸缩部的一端延伸进滑槽5内与滑架8相固定，滑架8的一端通过螺栓固定有第一固定板9，第一固定板9的底部开设有限位槽16，限位槽16内滑动连接有两个滑杆，两个滑杆的一侧均开设有滑孔，滑孔内滑动连接有导向杆22，导向杆22的一端焊接有夹板13，两个滑杆的两侧均通过螺栓固定有连接板10，连接板10的一侧焊接有与夹板13相固定的弹簧21，第一固定板9的两侧均设有推动夹板13移动的驱动机构，启动电动伸缩杆7伸长，电动伸缩杆7推动滑架8沿着滑槽5向下移动，滑架8带动第一固定板9向下移动，第一固定板9会带动两个滑杆向下移动，两个滑杆分别带动两个夹板13向下移动，当两个夹板13向下移动到位于硅片篮的两侧后，通过驱动机构推动两个滑杆沿着限位槽16进行相向移动，两个滑杆会分别带动与其连接的连接板10移动，连接板10会通过弹簧21推动夹板13移动，使夹板13对硅片篮进行夹持，当夹板13对硅片篮进行夹持固定后，液压缸17继续推动滑杆移动，此时由于夹板13对硅片篮进行夹持，然后启动电动伸缩杆7收缩，电动伸缩杆7会带动滑架8向上移动，然后启动电机，电机带动固定座4旋转，固定座4带动滑架8旋转，从而对硅片进行输送，不需要人工装夹输送，节省了时间，提高了硅片传输的效率。

本实用新型中，驱动机构包括两个第二支架18，两个第二支架18分别固定在第一固定板9的两侧，两个第二支架18相邻的一侧均通过螺栓固定有液压缸17，且液压缸17的液压杆穿过第一固定板9延伸进限位槽16内与滑杆相固定，启动两个液压缸17伸长，两个液压缸17会分别推动两个滑杆沿着限位槽16进行相向移动，连接板10的一侧焊接有固定杆14，固定杆14的一端通过螺栓固定有滑板12，且滑板12穿过夹板13，当夹板13对硅片篮进行夹持固定后，液压缸17继续推动滑杆移动，此时由于夹板13对硅片篮进行夹持，因此滑杆在移动时会使连接板10挤压弹簧21，弹簧21对夹板13施加作用力，使夹板13对硅片篮夹持的更加稳定，同时连接板10会推动固定杆14移动，固定杆14会推动滑板12移动，使滑板12闭合挡住硅片篮的左右两侧，防止硅片掉落，提高硅片传输的稳定性，夹板13的一侧粘接有防护垫11，且滑板12穿过防护垫11，防护垫11可以防止夹板13对硅片篮造成损伤，夹板13的外侧设有防腐涂层20，防腐涂层20可以增加夹板13的防腐性能，滑板12的一侧焊接有两个与固定杆14相固定的固定筋15，使固定筋15对固定杆14和滑板12之间进行加强，导向杆22的另一端焊接有抵挡块19，使抵挡块19对滑杆的移动进行限位，电动伸缩杆7的圆周外壁通过螺栓固定有第一支架6，且第一支架6与固定座4相固定，第一支架6可以对电动伸缩杆7进行支撑，固定架3的底部开设有多个均匀分布的安装孔2，固定架3的底部粘接有橡胶垫1。

工作原理：当需要使用时，启动电动伸缩杆7伸长，电动伸缩杆7推动滑架8沿着滑槽5向下移动，滑架8带动第一固定板9向下移动，第一固定板9会带动两个滑杆向下移动，两个滑杆分别带动两个夹板13向下移动，当两个夹板13向下移动到位于硅片篮的两侧后，启动两个液压缸17伸长，两个液压缸17会分别推动两个滑杆沿着限位槽16进行相向移动，两个滑杆会分别带动与其连接的连接板10移动，连接板10会通过弹簧21推动夹板13移动，使夹板13对硅片篮进行夹持，当夹板13对硅片篮进行夹持固定后，液压缸17继续推动滑杆移动，此时由于夹板13对硅片篮进行夹持，因此滑杆在移动时会使连接板10挤压弹簧21，弹簧21对夹板13施加作用力，使夹板13对硅片篮夹持的更加稳定，同时连接板10会推动固定杆14移动，固定杆14会推动滑板12移动，使滑板12闭合挡住硅片篮的左右两侧，防止硅片掉落，提高硅片传输的稳定性，然后启动电动伸缩杆7收缩，电动伸缩杆7会带动滑架8向上移动，然后启动电机，电机带动固定座4旋转，固定座4带动滑架8旋转，从而对硅片进行输送，不需要人工装夹输送，节省了时间，提高了硅片传输的效率。

此外，术语“设置”、“设有”、“连接”、“相连”、“套接”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可以是机械连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

Claims (8)

1.双Z轴机械臂上料机构，包括固定架(3)，其特征在于，所述固定架(3)的底部内壁固定连接有电机，电机输出轴的一端穿过固定架(3)固定连接有固定座(4)，固定座(4)的一侧开设有滑槽(5)，滑槽(5)内滑动连接有滑架(8)，所述固定座(4)的顶部固定连接有电动伸缩杆(7)，且电动伸缩杆(7)伸缩部的一端延伸进滑槽(5)内与滑架(8)相固定，所述滑架(8)的一端固定连接有第一固定板(9)，第一固定板(9)的底部开设有限位槽(16)，限位槽(16)内滑动连接有两个滑杆，两个所述滑杆的一侧均开设有滑孔，滑孔内滑动连接有导向杆(22)，导向杆(22)的一端固定连接有夹板(13)，两个所述滑杆的两侧均固定连接有连接板(10)，连接板(10)的一侧固定连接有与夹板(13)相固定的弹簧(21)，所述第一固定板(9)的两侧均设有推动夹板(13)移动的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述驱动机构包括两个第二支架(18)，两个所述第二支架(18)分别固定在第一固定板(9)的两侧，两个所述第二支架(18)相邻的一侧均固定连接有液压缸(17)，且液压缸(17)的液压杆穿过第一固定板(9)延伸进限位槽(16)内与滑杆相固定。

3.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述连接板(10)的一侧固定连接有固定杆(14)，固定杆(14)的一端固定连接有滑板(12)，且滑板(12)穿过夹板(13)。

4.根据权利要求3所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述夹板(13)的一侧固定连接有防护垫(11)，且滑板(12)穿过防护垫(11)，所述夹板(13)的外侧设有防腐涂层(20)。

5.根据权利要求3所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述滑板(12)的一侧固定连接有两个与固定杆(14)相固定的固定筋(15)，使固定筋(15)对固定杆(14)和滑板(12)之间进行加强。

6.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述导向杆(22)的另一端固定连接有抵挡块(19)，使抵挡块(19)对滑杆的移动进行限位。

7.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述电动伸缩杆(7)的圆周外壁固定连接有第一支架(6)，且第一支架(6)与固定座(4)相固定。

8.根据权利要求1所述的双Z轴机械臂上料机构，其特征在于，所述固定架(3)的底部开设有多个均匀分布的安装孔(2)，所述固定架(3)的底部固定连接有橡胶垫(1)。