CN220845934U - 一种可热加工节能玻璃 - Google Patents

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米永江
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戚越笙
莫益善
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Abstract

本实用新型涉及一种可热加工节能玻璃,包括玻璃基板、镀设于玻璃基板一表面的镀膜层,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层、吸收层、复合镀层、外介质层,复合镀层包括顺序设置的中间介质层、种子层、功能层、保护层,当复合镀层设有一个时,中间介质层与吸收层相邻设置;当复合镀层设有多个时,复合镀层还包括设置在保护层远离功能层一侧的AZO层,吸收层为金属氮化物层。本实用新型提供的可热加工节能玻璃,在玻璃基板一面采用内介质层、吸收层和中间介质层,通过金属氮化物较强的吸收特性减弱初始入射光强度,降低后续膜层分光导致的透过色偏绿问题;可有效减弱绿光波的透射,增加红光波的透过,使膜层获得中性透过色。

Description

一种可热加工节能玻璃
技术领域
本实用新型涉及一种可热加工节能玻璃。
背景技术
为获得更高的节能性以及满足异地加工需求,目前市场已开发的可热加工三银膜系为降低透光率通常通过增加阻挡层NiCr的厚度来实现,但因NiCr材料固有性质其对600nm附近的橙色光有明显的吸收作用,导致为获得低透光率加厚阻挡层NiCr后出现透过色偏绿的问题,使用者在室内观察室外景物时色彩出现明显偏差,色彩失真,极大地影响观感。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种可热加工节能玻璃,在降低产品透光率的同时仍然保持透过色中性,为使用者提供较好的室外景物色彩还原,提高用户舒适度。
为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种可热加工节能玻璃,包括玻璃基板、镀设于所述的玻璃基板一表面的镀膜层,所述的镀膜层包括自所述的玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层、吸收层、复合镀层、外介质层,所述的复合镀层包括顺序设置的中间介质层、种子层、功能层、保护层,当所述的复合镀层设置有一个时,所述的中间介质层与所述的吸收层相邻设置;当所述的复合镀层设置有多个时,所述的复合镀层还包括设置在所述的保护层远离所述的功能层一侧的AZO层,相邻两个所述的复合镀层的AZO层与中间介质层相邻设置,所述的吸收层为金属氮化物层。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的吸收层为NiCrNx层、CrNx层、TiNx层中的任意一个。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的内介质层、中间介质层、外介质层均为SiNx层、SiNxOy层、SiZrxNy层、SiOx层、ZnSnOx层、TiOx层中的任意一个。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的种子层为ZnOx层;所述的功能层为Ag层、Ag+Cu层、Ag+Cu+Ag层中的任意一个。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的保护层为NiCr层、Ti层、Cr层、Ni层中的任意一个。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的吸收层的厚度范围为1~10nm。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的内介质层的厚度范围为10~35nm;所述的中间介质层的厚度范围为10~80nm;所述的外介质层的膜层厚度范围为20~40nm;所述的保护层的厚度范围为0.5~5nm;所述的种子层的厚度范围为5~15nm。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的AZO层的厚度范围为5~15nm。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的复合镀层设置有两个,一个所述的复合镀层包括第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层,另一个所述的复合镀层包括第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层,所述的第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层依次设置在所述的吸收层与所述的外介质层之间,其中,所述的内介质层的厚度范围为10~35nm,所述的第一中间介质层的厚度范围为10~30nm,所述的第二中间介质层的厚度范围为40~60nm,所述的外介质层的厚度范围为20~40nm。
根据本实用新型的一些实施方面,所述的复合镀层设置有三个,一个所述的复合镀层包括第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层,另一个所述的复合镀层包括第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层,又一个所述的复合镀层包括第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层,所述的第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层、第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层依次设置在所述的吸收层与所述的外介质层之间,其中,所述的内介质层的厚度范围为10~35nm,所述的第一中间介质层的厚度范围为10~30nm,所述的第二中间介质层的厚度范围为40~60nm,所述的第三中间介质层的厚度范围为50~80nm,所述的外介质层的厚度范围为20~40nm
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:
本实用新型提供的可热加工节能玻璃,在玻璃基板一面采用内介质层、吸收层和中间介质层,通过金属氮化物较强的吸收特性减弱初始入射光强度,降低后续膜层分光导致的透过色偏绿问题;可有效减弱绿光波的透射,增加红光波的透过,使得膜层获得较中性的透过色;在降低产品透光率的同时仍然保持透过色中性,为使用者提供较好的室外景物色彩还原,提高用户舒适度;机械加工性能好,满足异地加工要求,可进行后续切、磨、钢、夹层等工艺加工,便于实现大面积生产且可以保证长期运输、储存过程中不易划伤、氧化等问题;提高生产效率,减少成本,提高成品率。
附图说明
附图1为本实用新型实施例1提供的可热加工节能玻璃的结构图;
附图2为本实用新型实施例2提供的可热加工节能玻璃的结构图;
附图3为本实用新型实施例3提供的可热加工节能玻璃的结构图。
以上附图中:1-玻璃基板;
201-内介质层,202-吸收层,203-中间介质层,204-种子层,205-功能层,206-保护层,207-外介质层;
301-内介质层,302-吸收层,303-第一中间介质层,304-第一种子层,305-第一功能层,306-第一保护层,307-第一AZO层,308-第二中间介质层,309-第二种子层,310-第二功能层,311-第二保护层,312-第二AZO层,313-外介质层;
401-内介质层,402-吸收层,403-第一中间介质层,404-第一种子层,405-第一功能层,406-第一保护层,407-第一AZO层,408-第二中间介质层,409-第二种子层,410-第二功能层,411-第二保护层,412-第二AZO层,413-第三中间介质层,414-第三种子层,415-第三功能层,416-第三保护层,417-第三AZO层,418-外介质层。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
可热加工节能玻璃包括玻璃基板、镀设于玻璃基板一表面的镀膜层,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层、吸收层、复合镀层、外介质层,复合镀层包括顺序设置的中间介质层、种子层、功能层、保护层,当复合镀层设置有一个时,中间介质层与吸收层相邻设置;当复合镀层设置有多个时,复合镀层还包括设置在保护层远离功能层一侧的AZO层,相邻两个所述的复合镀层的AZO层与中间介质层相邻设置,靠近吸收层的首个复合镀层的中间介质层与吸收层相邻设置,尾个复合镀层的AZO层与外介质层相邻设置,吸收层为金属氮化物层。
吸收层为NiCrNx层、CrNx层、TiNx层中的一种,玻璃基板一面采用内介质层、吸收层和中间介质层,内介质层、吸收层和中间介质层相较其它层更靠近玻璃基板一面,通过金属氮化物较强的吸收特性减弱初始入射光强度,降低后续膜层分光导致的透过色偏绿问题;可有效减弱绿光波的透射,增加红光波的透过,使得膜层获得较中性的透过色。从而实现在降低产品透光率的同时仍然保持透过色中性。为使用者提供较好的室外景物色彩还原,提高用户舒适度。
内介质层、中间介质层、外介质层均为SiNx层、SiZrxNy、SiNxOy层、SiOx层、ZnSnOx层、TiOx层中的任意一个,如内介质层优选为SiNx层,SiNx与玻璃具有良好的结合性能,且具有很强的抗腐蚀、抗机械划伤、抗高温氧化的性能,是一种化学稳定性极好的超强度、超硬度材料,中间介质层优选为SiNx层,可以起到提高功能层银层对玻璃表面附着力、保护功能银层、调节颜色、提高膜系的硬度的作用;使整个膜系在进行热加工时耐热性更好,机械加工性能更好,以此来改善传统Low-E玻璃膜层结合力不足、易划伤的问题。
ZnSnOx层作为介质层,具有良好的延展性,在烘弯过程中防止膜层之间因热延展系数不同而开裂,同时ZnSnOx是一种半导体材料的导电膜,能降低对红外线的辐射率;当膜层使用AZO层时,ZnSnOx层结合力强,有利于提高膜层整体的附着力。
种子层为ZnOx层,利用ZnOx作为种子层可提高膜层的平整度,为功能层提供一个没有污染的洁净表面,增加功能层金属在膜层中的附着力,使其更好的发挥性能。
功能层为Ag层、Ag+Cu层、Ag+Cu+Ag层中的任意一个,金属Ag具有非常好的导电性,可以使整个膜层的面电阻和辐射率降低,同时也起着调节膜层颜色和性能的作用;当设置Cu层,在保证导电性的同时可降低成本。
保护层为NiCr层、Ti层、Cr层、Ni层中的任意一个,保护层作为功能层的保护层及平整层,能够保护Ag层不被后续的溅射过程及加工过程氧化,提高Ag层的耐氧化性能;同时保护层与氧化物和氮化物的结合力比Ag与它们的结合力强,保护层的存在使Ag层在膜层中的附着力更加牢靠,提高Ag层的抗常温氧化和抗高温氧化性能。保护层也是光的强吸收层材料,可以起到调节膜层透光率的作用。
复合镀层设置有一个或多个,当复合镀层设置有两个,一个复合镀层包括第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层,另一个复合镀层包括第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层,第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层依次设置在吸收层与外介质层之间,其中,内介质层的厚度范围为10~35nm,第一中间介质层的厚度范围为10~30nm,第二中间介质层的厚度范围为40~60nm,外介质层的厚度范围为20~40nm。
当复合镀层设置有三个,一个复合镀层包括第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层,另一个复合镀层包括第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层,又一个复合镀层包括第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层,第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层、第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层依次设置在吸收层与外介质层之间,其中,内介质层的厚度范围为10~35nm,第一中间介质层的厚度范围为10~30nm,第二中间介质层的厚度范围为40~60nm,第三中间介质层的厚度范围为50~80nm,外介质层的厚度范围为20~40nm。
以下以复合镀层设置一个、两个、三个为例进行说明,参见实施例1-3,实施例1-3的玻璃基板均为6毫米普通浮法玻璃。
实施例1
参见图1,复合镀层设置一个,没有设置AZO层,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层201、吸收层202、中间介质层203、种子层204、功能层205、保护层206、外介质层207,其中,内介质层201为SiNx层,厚度为30nm;吸收层202为CrNx层,厚度为6.4nm;中间介质层203为SiNx层,厚度为11nm;种子层204为ZnOx层,厚度为5nm;功能层205为Ag层,厚度为10.2nm;保护层206为NiCr层,厚度为2.5nm;外介质层207为SiNx层,厚度为36nm。
本例的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据如下表1:
表1实施例1的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据
透过色a* 透过色b*
热加工前 -2.53 -1.86
热加工后 -1.03 0.11
由以上数据可知,本实施例所示的热加工后的玻璃产品透过颜色呈中性色,其颜色接近自然色。
实施例2
参见图2,复合镀层设置两个,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层301、吸收层302、第一中间介质层303、第一种子层304、第一功能层305、第一保护层306、第一AZO层307、第二中间介质层308、第二种子层309、第二功能层310、第二保护层311、第二AZO层312、外介质层313,其中,内介质层301为SiNx层,厚度为35nm;吸收层302为CrNx层,厚度为2.8nm;第一中间介质层303为SiNx层,厚度为17nm;第一种子层304为ZnOx层,厚度为19.2nm;第一功能层305为Ag层,厚度为5.9nm;第一保护层306为NiCr层,厚度为1.3nm;第一AZO层307厚度为6nm;第二中间介质层308为SiNx层,厚度为63.8nm;第二种子层309为ZnOx层,厚度为7nm;第二功能层310为Ag层,厚度为12nm;第二保护层311为NiCr层,厚度为0.8nm;第二AZO层312厚度为6nm;外介质层313为SiNx层,厚度为40nm。
本例的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据如下表2:
表2实施例2的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据
透过色a* 透过色b*
热加工前 -3.33 -1.06
热加工后 -0.86 -0.21
由以上数据可知,本实施例所示的热加工后的玻璃产品透过颜色呈中性色,其颜色接近自然色。
实施例3
参见图3,复合镀层设置三个,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层401、吸收层402、第一中间介质层403、第一种子层404、第一功能层405、第一保护层406、第一AZO层407、第二中间介质层408、第二种子层409、第二功能层410、第二保护层411、第二AZO层412、第三中间介质层413、第三种子层414、第三功能层415、第三保护层416、第三AZO层417、外介质层418,其中,内介质层401为SiNx层,厚度为35nm;吸收层402为NiCrNx层,厚度为4nm;第一中间介质层403为SiNx层,厚度为10nm;第一种子层404为ZnOx层,厚度为5nm;第一功能层405为Ag层,厚度为7.7nm;第一保护层406为NiCr层,厚度为2nm;第一AZO层407的厚度为8nm;第二中间介质层408为SiNx层,厚度为50nm;第二种子层409为ZnOx层,厚度为5nm;第二功能层410为Ag层,厚度为10.5nm;第二保护层411为NiCr层,厚度为1nm;第二AZO层412的厚度为8nm;第三中间介质层413为ZnSnOx层,厚度为67nm;第三种子层414为ZnOx层,厚度为5nm;第三功能层415Ag层,厚度为13.6nm;第三保护层416为NiCr层,厚度为2.5nm;第三AZO层417的厚度为8nm;外介质层418为SiNx层,厚度为27nm。
本例的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据如下表3:
表3实施例3的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据
透过色a* 透过色b*
热加工前 -4.71 -1.1
热加工后 -1.60 -0.2
由以上数据可知,本实施例所示的热加工后的玻璃产品透过颜色呈中性色,其颜色接近自然色。
实施例4
复合镀层设置三个,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层、吸收层、第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层、第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层、外介质层,其中,内介质层为SiNx层,厚度为20nm;吸收层为CrNx层,厚度为1.5nm;第一中间介质层为SiNx层,厚度为11nm;第一种子层为ZnOx层,厚度为5nm;第一功能层为Ag层,厚度为11.3nm;第一保护层为NiCr层,厚度为2nm;第一AZO层的厚度为8nm;第二中间介质层为SiNx层,厚度为45.7nm;第二种子层为ZnOx层,厚度为8nm;第二功能层为Ag层,厚度为16.3nm;第二保护层为NiCr层,厚度为1.5nm;第二AZO层的厚度为8nm;第三中间介质层为ZnSnOx层,厚度为72.5nm;第三种子层为ZnOx层,厚度为5nm;第三功能层Ag层,厚度为17.1nm;第三保护层为NiCr层,厚度为2.5nm;第三AZO层的厚度为8nm;外介质层为SiNx层,厚度为27.5nm。
本例的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据如下表4:
表4实施例4的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据
透过色a* 透过色b*
热加工前 -4.3 -0.8
热加工后 -2.0 0.2
由以上数据可知,本实施例所示的热加工后的玻璃产品透过颜色呈中性色,其颜色接近自然色。
实施例5
复合镀层设置三个,镀膜层包括自玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层、吸收层、第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层、第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层、外介质层,其中,内介质层为SiNx层,厚度为29nm;吸收层为TiNx层,厚度为2nm;第一中间介质层为SiNx层,厚度为12nm;第一种子层为ZnOx层,厚度为5nm;第一功能层为Ag层,厚度为9.8nm;第一保护层为NiCr层,厚度为2nm;第一AZO层的厚度为8nm;第二中间介质层为SiNx层,厚度为59nm;第二种子层为ZnOx层,厚度为5nm;第二功能层为Ag层,厚度为16.7nm;第二保护层为NiCr层,厚度为2nm;第二AZO层的厚度为8nm;第三中间介质层为ZnSnOx层,厚度为73nm;第三种子层为ZnOx层,厚度为8nm;第三功能层Ag层,厚度为16.4nm;第三保护层为NiCr层,厚度为3nm;第三AZO层的厚度为8nm;外介质层为SiNx层,厚度为30nm。
本例的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据如下表5:
表5实施例5的加工前和热加工后的玻璃的透过色数据
透过色a* 透过色b*
热加工前 -3.8 -2.5
热加工后 -0.73 -1.62
由以上数据可知,本实施例所示的热加工后的玻璃产品透过颜色呈中性色,其颜色接近自然色。
实施例1-5的经热加工后的玻璃透过颜色中性,透过色为中性灰,其中透过色a*值的范围是[-2,-1],b*值的范围是[-2,2];(备注1:目前市场上的可热加工的三银产品透过色a*值一般在[-13,-5]范围内,b*值的范围是[-8,-4]。
备注:为了能定量的说明和衡量颜色,在国际上一般采用CIE1976L*a*b*色度空间来测量颜色:一般用L或者R来表示亮度,两者有一定的换算关系,数值在0-100范围内,数值越大表示亮度越高;用a*表示红绿度,a*为负表示绿,a*为正表示红,绝对值越大表示绿或者红的程度越大;用b*表示黄蓝度,b*为负表示蓝,b*为正表示黄,绝对值越大表示黄或者蓝的程度越大;a*和b*越接近于零表示透过色越中性)。
上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种可热加工节能玻璃,其特征在于,包括玻璃基板、镀设于所述的玻璃基板一表面的镀膜层,所述的镀膜层包括自所述的玻璃基板一表面由内到外依次设置的内介质层、吸收层、复合镀层、外介质层,所述的复合镀层包括顺序设置的中间介质层、种子层、功能层、保护层,当所述的复合镀层设置有一个时,所述的中间介质层与所述的吸收层相邻设置;当所述的复合镀层设置有多个时,所述的复合镀层还包括设置在所述的保护层远离所述的功能层一侧的AZO层,相邻两个所述的复合镀层的AZO层与中间介质层相邻设置,所述的吸收层为金属氮化物层。
2.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的吸收层为NiCrNx层、CrNx层、TiNx层中的任意一个。
3.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的内介质层、中间介质层、外介质层均为SiNx层、SiZrxNy、SiNxOy层、SiOx层、ZnSnOx层、TiOx层中的任意一个。
4.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的种子层为ZnOx层;所述的功能层为Ag层、Ag+Cu层、Ag+Cu+Ag层中的任意一个。
5.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的保护层为NiCr层、Ti层、Cr层、Ni层中的任意一个。
6.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的吸收层的厚度范围为1~10nm。
7.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的内介质层的厚度范围为10~35nm;所述的中间介质层的厚度范围为10~80nm;所述的外介质层的膜层厚度范围为20~40nm;所述的保护层的厚度范围为0.5~5nm;所述的种子层的厚度范围为5~15nm。
8.根据权利要求1所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的AZO层的厚度范围为5~15nm。
9.根据权利要求1至8任意一项所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的复合镀层设置有两个,一个所述的复合镀层包括第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层,另一个所述的复合镀层包括第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层,所述的第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层依次设置在所述的吸收层与所述的外介质层之间,其中,所述的内介质层的厚度范围为10~35nm,所述的第一中间介质层的厚度范围为10~30nm,所述的第二中间介质层的厚度范围为40~60nm,所述的外介质层的厚度范围为20~40nm。
10.根据权利要求1至8任意一项所述的可热加工节能玻璃,其特征在于,所述的复合镀层设置有三个,一个所述的复合镀层包括第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层,另一个所述的复合镀层包括第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层,又一个所述的复合镀层包括第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层,所述的第一中间介质层、第一种子层、第一功能层、第一保护层、第一AZO层、第二中间介质层、第二种子层、第二功能层、第二保护层、第二AZO层、第三中间介质层、第三种子层、第三功能层、第三保护层、第三AZO层依次设置在所述的吸收层与所述的外介质层之间,其中,所述的内介质层的厚度范围为10~35nm,所述的第一中间介质层的厚度范围为10~30nm,所述的第二中间介质层的厚度范围为40~60nm,所述的第三中间介质层的厚度范围为50~80nm,所述的外介质层的厚度范围为20~40nm。
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