CN220836749U - 一种残膜检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种残膜检测设备，包括机架、设于机架上用于传送产品的辊道、用于先对产品进行检测的检测机构、以及后对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构；该检测机构包括设于辊道上下方的相对的Y轴直线驱动模组、和由Y轴直线驱动模组驱动的相机，所述缓存机构包括Z轴直线驱动模组、由Z轴直线驱动模组驱动的料仓。该设备结构简单、使用方便、提高了效率。

Description

一种残膜检测设备

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体涉及一种残膜检测设备。

背景技术

半导体生产I C载板生产过程中，有一道撕膜的工艺，就是把产品I C载板表面的PET膜去除。如果产品上得PET膜没有去除干净并且流到下一道工艺，会造成产品报废。

目前检测残膜是依靠撕膜机的检查功能，但是这样只能检查产品侧面两边各20mm宽的范围内有没有残留。而现有I C载板的尺寸达到510mmX515mm，这样不足以保证其它位置没有残留，会有损失的风险。如果采用专门岗位的人对产品一一确认是否有残留，这样既增加了人工成本，效率也比较低，不利于大批量生产；而且产品对洁净度要求都很高，每一次人为接触都增加了被沾污的风险，严重的会造成产品报废。所以有一台专门对I C载板进行残膜检查的设备是很有必要的。

实用新型内容

基于此，针对上述问题，本实用新型提供一种残膜检测设备。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种残膜检测设备，包括机架、设于机架上用于传送产品的辊道，还包括用于对产品进行检测的检测机构和对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构；该检测机构包括设于辊道上下方的相对的Y轴直线驱动模组、和Y轴直线驱动模组驱动的相机，所述缓存机构包括Z轴直线驱动模组、由Z轴直线驱动模组驱动的料仓。

作为本实用新型进一步的方案：所述辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子。

作为本实用新型进一步的方案：每根所述辊子上间隔设置有多个滚轮。

作为本实用新型进一步的方案：所述料仓包括升降架，所述升降架中有多个间隔设置且能在两个所述辊子之间上下穿行的竖杆，每个所述竖杆上沿竖向方向间隔设置有多个水平支撑杆，该水平支撑杆与所述辊子平行且能够在两个辊子之间上下穿行，其中，每行的支撑杆形成用于承载产品的隔料层。

作为本实用新型进一步的方案：每个所述支撑杆上间隔设置有多个支撑头。

作为本实用新型进一步的方案：所述辊道的两侧均设有若干限位轮，若干限位轮均转动安装在机架内侧且沿着机架的长度方向等距分布，可以对产品行进过程中左、右限位。

本实用新型的有益效果：该设备结构简单、使用方便、提高了效率。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型一种残膜检测设备的结构示意图；

图2是本实用新型为缓存机构的结构示意图；

图3是本实用新型为料仓上升的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1所示，本实用新型为一种残膜检测设备，用于对产品(如I C载板)表面和底面进行检测识别，筛选出留有残膜的不合格产品，并将不合格产品暂时缓存。

残膜检测设备包括机架10、设于机架10上用于传送产品的辊道20、用于先对产品进行检测的检测机构30、以及后对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构40。

辊道20包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子21。每根辊子21上间隔设置有多个滚轮22。本实施例中，滚轮22为3个。这样的结构可以减少产品的被接触面，降低产品的沾污的风险，同时减少产品与滚轮22之间的摩擦，避免了产品的磨损。

检测机构30包括设于辊道20上下方的相对的Y轴直线驱动模组31、和由Y轴直线驱动模组31驱动的相机32。其中，两个相机32均与设备的控制器连接。当产品移动到检测机构30处，Y轴直线驱动模组31开始驱动相机32移动，然后辊道20带着产品继续行进，Y轴直线驱动模组31驱动的相机32往复移动，这样能够将产品的表面和底面完全都扫描到。两个相机32将拍摄好的照片传送给控制器，由控制器对照片中产品本身的颜色和残膜的颜色进行智能识别后，控制器会控制缓存机构40储存留有残膜的不合格产品，合格的产品通过辊道20流入下一道工序。本实施例中，Y轴直线驱动模组31采用伺服电机驱动的直线模组。

结合图2所示，缓存机构40包括Z轴直线驱动模组41、由Z轴直线驱动模组41驱动的料仓42。本实施例中，Z轴直线驱动模组41采用伺服电机驱动的直线模组。

料仓42包括升降架43。该升降架43中有多个间隔设置且能在两个辊子21之间上下穿行的竖杆431。每个竖杆431上沿竖向方向间隔设置有多个水平支撑杆44，该水平支撑杆44与辊子21平行且能够在两个辊子21之间上下穿行。其中，每行的水平支撑杆44形成用于承载产品的隔料层45。

每个支撑杆44上间隔设置多个支撑头46。本实施例中，支撑头46为3个。使用这样的结构，是为了减少支撑杆44与产品的接触面，从而减少对产品的沾污。

辊道20的两侧均设有若干限位轮11，若干限位轮11均转动安装在机架10内侧且沿着机架的长度方向等距分布，可以对产品行进过程中左、右限位。

结合图3所示，工作时，当产品传送到缓存机构40处，此时，产品的底面高于料仓42的上侧第一行支撑杆44的支撑头46的表面。如果产品检测为合格产品，则通过辊道20流入下一道工序，如果该产品检测为不合格产品，则辊道20会停止，同时Z轴直线驱动模组41启动驱动料仓42上升，直至不合格产品被料仓42的上侧第一行支撑杆44的所有支撑头46托住。然后，Z轴直线驱动模组41驱动料仓42略微上升。辊道20启动继续传送产品，这时，上侧第一行支撑杆44的底面要高于辊道20传送的产品表面，而料仓42的上侧第二行支撑杆44的支撑头46表面要低于该产品的底面。其中，料仓42储存下一不合格产品的过程，与上述过程一样，在此不再赘述。当料仓42所有隔料层45都储存满后，该设备会发出警报，工艺停止，生成人员对料仓42进行处理，处理结束后，生产继续。该设备结构简单、使用方便、提高了效率。

以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。

Claims (6)

1.一种残膜检测设备，包括机架、设于机架上用于传送产品的辊道，其特征在于：还包括用于对产品进行检测的检测机构和对检测不合格的产品进行缓存的缓存机构；该检测机构包括设于辊道上下方的相对的Y轴直线驱动模组、和Y轴直线驱动模组驱动的相机，所述缓存机构包括Z轴直线驱动模组、由Z轴直线驱动模组驱动的料仓。

2.根据权利要求1残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：所述辊道包括多根沿产品前进方向间隔设置的辊子。

3.根据权利要求2残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：每根所述辊子上间隔设置有多个滚轮。

4.根据权利要求2残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：所述料仓包括升降架，所述升降架中有多个间隔设置且能在两个所述辊子之间上下穿行的竖杆，每个所述竖杆上沿竖向方向间隔设置有多个水平支撑杆，该水平支撑杆与所述辊子平行且能够在两个辊子之间上下穿行，其中，每行的支撑杆形成用于承载产品的隔料层。

5.根据权利要求4残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：每个所述支撑杆上间隔设置多个支撑头。

6.根据权利要求1残膜检测设备所述的残膜检测设备,其特征在于：所述辊道的两侧均设有若干限位轮，若干限位轮均转动安装在机架内侧且沿着机架的长度方向等距分布，可以对产品行进过程中左、右限位。