CN220821530U - 一种晶圆承载托架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆承载托架，涉及承载托架技术领域。其技术方案要点是：包括底座，所述底座包括呈正多边形的底板，所述底板周侧的每个侧边均设置有竖直设置的侧板，所述侧板均开设有滑槽并滑动连接有托盘，所述托盘底部靠近底板中心的一端设置有导向块，所述底板的表面开设有供导向块滑动连接的导向槽，所述底板表面还设置有检测组件。本实用新型的目的在于提供一种晶圆承载托架。
Description
技术领域
本实用新型涉及承载托架技术领域，更具体地说，它涉及一种晶圆承载托架。
背景技术
半导体器件晶圆制作过程中的一些工艺，需将晶圆承载在晶圆托架上完成，通过物理或化学气相沉积的方式，在晶圆表面镀上薄膜。
现有技术中的晶圆托架大多采用一体式，其上有多处开孔，开孔处开设有凹槽，将晶圆放置在凹槽内，通过气相沉积方式时膜材料能够沉积到凹槽处的晶圆上。现有的晶圆托架无法对托架上的晶圆进行检测识别，再旋转过程中若晶圆脱离凹槽，无法及时的停止转动对其进行修复。
因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种晶圆承载托架。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种晶圆承载托架，包括底座，所述底座包括呈正多边形的底板，所述底板周侧的每个侧边均设置有竖直设置的侧板，所述侧板均开设有滑槽并滑动连接有托盘，所述托盘底部靠近底板中心的一端设置有导向块，所述底板的表面开设有供导向块滑动连接的导向槽，所述底板表面还设置有检测组件。
通过采用上述技术方案，在对晶圆进行加工时，通过将晶圆放置于托盘上，再将托盘滑入到底板托架内部，通过检测组件能够直接识别出晶圆是否正确的放置于托盘表面，从而方便工作人员能够及时对发生脱离的晶圆进行复位，以保证晶圆的正常加工工作。
本实用新型进一步设置为：所述检测组件包括固定连接于底板表面中心处的固定柱，所述固定柱的顶部设置有固定板，所述固定板位于托盘的上方均开设有通槽，所述固定板表面位于每个通槽处均设置有检测装置。
本实用新型进一步设置为：所述托盘的表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的底部开设有第二凹槽，所述第二凹槽表面靠近底板中心处的一端开设有贯穿其底部的检测槽，所述检测装置具体为红外线传感器。
本实用新型进一步设置为：所述导向槽为T型槽，所述导向块为配合于该T型槽的T型块。
本实用新型进一步设置为：所述侧板的表面开设有螺纹槽，所述托盘底部远离底板中心处的端部固定连接有支板，所述支板上开设有螺孔，所述螺孔与螺纹槽之间设置有螺栓。
本实用新型具有以下有益效果：在对晶圆进行加工时，通过将晶圆放置于托盘上，再将托盘滑入到底板托架内部，通过检测组件能够直接识别出晶圆是否正确的放置于托盘表面，从而方便工作人员能够及时对发生脱离的晶圆进行复位，以保证晶圆的正常加工工作。
附图说明
图1为本实施例的立体结构示意图；
图2为本实施例底座的立体结构示意图；
图3为本实施例托盘的结构示意图；
图4为本实施例检测组件的侧视图。
附图说明：1、底板；2、侧板；3、滑槽；4、托盘；5、导向块；6、导向槽；7、固定柱；8、固定板；9、检测装置；10、第一凹槽；11、第二凹槽；12、检测槽；13、螺纹槽；14、支板；15、螺孔；16、螺栓。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
如图所示，一种晶圆承载托架，包括底座，底座包括呈正八边形的底板1，底板1周侧的每个侧边均设置有竖直设置的侧板2，侧板2均开设有滑槽3并滑动连接有托盘4，托盘底部靠近底板1中心的一端设置有导向块5，底板1的表面开设有供导向块5滑动连接的导向槽6，底板1表面还设置有检测组件。
在对晶圆进行加工时，通过将晶圆放置于托盘4上，再将托盘4滑入到底板1托架内部，通过检测组件能够直接识别出晶圆是否正确的放置于托盘4表面，从而方便工作人员能够及时对发生脱离的晶圆进行复位，以保证晶圆的正常加工工作。
检测组件包括固定连接于底板1表面中心处的固定柱7，固定柱7的顶部设置有固定板8，固定板8位于托盘4的上方均开设有通槽，固定板8表面位于每个通槽处均设置有检测装置9。托盘4的表面开设有第一凹槽10，第一凹槽10的底部开设有第二凹槽11，第二凹槽11表面靠近底板1中心处的一端开设有贯穿其底部的检测槽12，检测装置9具体为红外线传感器。
红外线传感器通过朝向检测槽12发射红外线，当晶圆处于第一凹槽10内时，射出的红外线通过通槽射到晶圆表面后进行反射，检测到晶圆。由于在旋转离心力的作用下，晶圆易朝向外侧发生偏移，所以当晶圆在离心力作用下朝向外侧发生偏移后，红外线通过通槽并穿过检测槽12，未检测到晶圆并进行报警，以提示晶圆位置发生偏移。
导向槽6为T型槽，导向块5为配合于该T型槽的T型块，以提升托盘4滑动时的稳定性。
侧板2的表面开设有螺纹槽13，托盘底部远离底板1中心处的端部固定连接有支板14，支板14上开设有螺孔15，螺孔15与螺纹槽13之间设置有螺栓16，通过螺栓16以对托盘4起到固定作用，保证其在工作时的稳定性。
具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (5)
1.一种晶圆承载托架，其特征在于：包括底座，所述底座包括呈正多边形的底板，所述底板周侧的每个侧边均设置有竖直设置的侧板，所述侧板均开设有滑槽并滑动连接有托盘，所述托盘底部靠近底板中心的一端设置有导向块，所述底板的表面开设有供导向块滑动连接的导向槽，所述底板表面还设置有检测组件。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆承载托架，其特征在于：所述检测组件包括固定连接于底板表面中心处的固定柱，所述固定柱的顶部设置有固定板，所述固定板位于托盘的上方均开设有通槽，所述固定板表面位于每个通槽处均设置有检测装置。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆承载托架，其特征在于：所述托盘的表面开设有第一凹槽，所述第一凹槽的底部开设有第二凹槽，所述第二凹槽表面靠近底板中心处的一端开设有贯穿其底部的检测槽，所述检测装置具体为红外线传感器。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆承载托架，其特征在于：所述导向槽为T型槽，所述导向块为配合于该T型槽的T型块。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆承载托架，其特征在于：所述侧板的表面开设有螺纹槽，所述托盘底部远离底板中心处的端部固定连接有支板，所述支板上开设有螺孔，所述螺孔与螺纹槽之间设置有螺栓。
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- 2023-09-04 CN CN202322404301.8U patent/CN220821530U/zh active Active
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