CN214705872U - 一种硅片去边机新型暂存台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种硅片去边机新型暂存台，包括安装座和台板，所述安装座与去边机台面固定安装；所述支撑台通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板的高度和水平度。本实用新型所述的硅片去边机新型暂存台能够显示吸盘吸取硅片时，对暂存台不同方位的压力数值，可根据此压力数值，进行暂存台倾角的调整，使得调节过程可视化、数字化，也能够使调节更加准确。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片去边机暂存台技术领域，尤其是涉及一种硅片去边机新型暂存台。
背景技术
去边机暂存台工作原理：取片机械手将硅片从寻参仪移至暂存台，然后由吸盘将暂存台上的硅片吸走。因为不同的去边工艺要使用与之相匹配的不同的吸盘，所以去边机需要经常更换吸盘。更换吸盘后，需要重新调节暂存台的位置和水平倾角，使吸盘与暂存台同心且相对平行，以免吸取硅片时受力不均，将硅片压碎或者造成去边不稳。现有的暂存台无法进行位置和水平倾角的调整。
发明内容
有鉴于此，本实用新型旨在提出一种硅片去边机新型暂存台，以解决现有的暂存台无法进行位置和水平倾角的调整的问题。
为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种硅片去边机新型暂存台，包括安装座和台板，所述安装座与去边机台面固定安装；
所述支撑台通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板的高度和水平度。
进一步的，所述安装座包括底板和中层板，所述底板通过固定件与去边机台面固定安装；
所述中层板通过支撑件安装于底板的上方，所述升降柱安装于中层板上。
进一步的，所述升降柱为调节螺柱，所述调节螺柱为双头螺柱，双头螺柱的上、下端螺纹设置方向相反，所述中层板和台板上开有调节螺柱对应的螺纹孔。
进一步的，所述调节螺柱的数量为三根，等间距设置于台板的底部。
进一步的，所述支撑件为压力传感器，所述压力传感器的数量与调节螺柱的数量相同，且设置与调节螺柱的正下方，通过压力传感器用于测量台板工作时不同方位的压力值。
进一步的，所述固定件为紧固螺栓；
所述底板上开有与紧固螺栓对应的且用于调节底板横向位置的横向条形孔，所述去边机的台面开有与紧固螺栓对应的且用于调节底板纵向位置的纵向条形孔，所述横向条形孔与纵向条形孔垂直，所述紧固螺栓贯穿底板和去边机台面后与设置在去边机台面下方的锁紧螺母螺纹连接。
进一步的，所述底板上还对应设有顶紧螺丝，所述底板上开有与顶紧螺丝对应的螺纹孔，顶紧螺丝的低端与去边机台面的上表面抵接，用于防止底板与去边机台面相对移动。
相对于现有技术，本实用新型所述的硅片去边机新型暂存台具有以下优势：
本实用新型所述的硅片去边机新型暂存台能够显示吸盘吸取硅片时，对暂存台不同方位的压力数值，可根据此压力数值，进行暂存台倾角的调整，使得调节过程可视化、数字化，也能够使调节更加准确。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
图1为本实用新型实施例所述的暂存台整体结构图；
图2为本实用新型实施例所述的暂存台底部结构图。
附图标记说明：
1、吸盘；2、台板；3、调节螺柱；4、中层板；5、压力传感器；6、顶紧螺丝；7、紧固螺栓；8、锁紧螺母；9、去边机台面；91、纵向条形孔；10、底板。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
如图1所示，一种硅片去边机新型暂存台，包括安装座和台板2，所述安装座与去边机台面9固定安装；
所述支撑台通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板2的高度和水平度。
所述安装座包括底板10和中层板4，所述底板10通过固定件与去边机台面9固定安装；所述中层板4通过支撑件安装于底板10的上方，所述升降柱安装于中层板4上。
所述升降柱为调节螺柱3，所述调节螺柱3为双头螺柱，双头螺柱的上、下端螺纹设置方向相反，所述中层板4和台板2上开有调节螺柱3对应的螺纹孔。
所述调节螺柱3的数量为三根，等间距设置于台板2的底部。所述支撑件为压力传感器5，所述压力传感器5的数量与调节螺柱3的数量相同，且设置与调节螺柱3的正下方，通过压力传感器5用于测量台板2工作时不同方位的压力值。需要说明的是，本申请的压力传感器5采用现有的检测与显示一体的压力传感器5，但是本申请不限于此类型的压力传感器5，只要与本申请目的相同的压力检测元件均适用于本申请。
如图1、图2所示，所述固定件为紧固螺栓7；所述底板10上开有与紧固螺栓7对应的且用于调节底板10横向位置的横向条形孔，所述去边机的台面开有与紧固螺栓7对应的且用于调节底板10纵向位置的纵向条形孔91，所述横向条形孔与纵向条形孔91垂直，所述紧固螺栓7贯穿底板10和去边机台面9后与设置在去边机台面9下方的锁紧螺母8螺纹连接。
所述底板10上还对应设有顶紧螺丝6，所述底板10上开有与顶紧螺丝6对应的螺纹孔，顶紧螺丝6的低端与去边机台面9的上表面抵接，用于防止底板10与去边机台面9相对移动。
将暂存台安装到去边机台面9上时，因为暂存台和去边机台面9上的条形孔是互相垂直放置，所以暂存台可以相对于去边机台面9进行X、Y两个方向自由移动，和以紧固螺栓7为轴进行R方向转动，当调节至暂存台台面与吸盘1同心、暂存台台面上的缺口正对取片机械手方向时，拧紧紧固螺栓7和锁紧螺母8，使去边机台面9和暂存台底板10牢牢地紧固在一起。同时，拧紧紧定顶丝，防止暂存台和去边机台面9产生相对移动。
中层板4和底板10之间的3个微型压力传感器5可进行动静态拉压方向测量，当吸盘1压在暂存台台面上，吸取硅片时，这3个压力传感器5能显示出三个方位的压力大小。根据压力大小，通过旋动3根调节螺柱3(3根调节螺柱3可各自独立调整)，调节暂存台台面的水平的，使暂存台与吸盘1相对平行(3个力传感器所显示的压力值相等，且在标准范围内)。若压力传感器5显示的压力值偏大，则旋动调节螺柱3，将暂存台台面向下调整。反之，则向上调整。
本申请的暂存台克服了现有暂存台不方便进行水平和垂直方向调整的弊端。增加了压力显示功能，优化水平调节方式，使暂存台台面与吸盘的平行度调整更加精确。增加了水平和垂直调整功能，方便进行暂存台与吸盘的同心调整。该发明结构简单、易于制造、故障率低、安全可靠、便于操作。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种硅片去边机新型暂存台，其特征在于：包括安装座和台板，所述安装座与去边机台面固定安装；
所述台板通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板的高度和水平度。
2.根据权利要求1所述的硅片去边机新型暂存台，其特征在于：所述安装座包括底板和中层板，所述底板通过固定件与去边机台面固定安装；
所述中层板通过支撑件安装于底板的上方，所述升降柱安装于中层板上。
3.根据权利要求2所述的硅片去边机新型暂存台，其特征在于：所述升降柱为调节螺柱，所述调节螺柱为双头螺柱，双头螺柱的上、下端螺纹设置方向相反，所述中层板和台板上开有调节螺柱对应的螺纹孔。
4.根据权利要求3所述的硅片去边机新型暂存台，其特征在于：所述调节螺柱的数量为三根，等间距设置于台板的底部。
5.根据权利要求3所述的硅片去边机新型暂存台，其特征在于：所述支撑件为压力传感器，所述压力传感器的数量与调节螺柱的数量相同，且设置与调节螺柱的正下方，通过压力传感器用于测量台板工作时不同方位的压力值。
6.根据权利要求2所述的硅片去边机新型暂存台，其特征在于：所述固定件为紧固螺栓；
所述底板上开有与紧固螺栓对应的且用于调节底板横向位置的横向条形孔，所述去边机的台面开有与紧固螺栓对应的且用于调节底板纵向位置的纵向条形孔，所述横向条形孔与纵向条形孔垂直，所述紧固螺栓贯穿底板和去边机台面后与设置在去边机台面下方的锁紧螺母螺纹连接。
7.根据权利要求2所述的硅片去边机新型暂存台，其特征在于：所述底板上还对应设有顶紧螺丝，所述底板上开有与顶紧螺丝对应的螺纹孔，顶紧螺丝的低端与去边机台面的上表面抵接，用于防止底板与去边机台面相对移动。
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| CN112802784A (zh) * | 2021-02-01 | 2021-05-14 | 中环领先半导体材料有限公司 | 一种硅片去边机新型暂存台 |
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