CN208736351U - 一种玻璃基板偏移检测机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及玻璃基板加工制造技术领域,公开了一种玻璃基板偏移检测机构,该玻璃基板偏移检测机构包括基座以及设置在基座上的承载装置,承载装置用于承载玻璃基板;基座上还设有多个光传感器,且承载装置的边缘设有与多个光传感器一一对应的采光口,采光口在基座上的投影覆盖对应的光传感器;采光口用于使玻璃基板一侧的光线直接入射到对应的光传感器中,或使经过玻璃基板折射后的光线入射到对应的光传感器中,多个光传感器用于根据对应位置的光线强度检测玻璃基板是否发生偏移。
Description
技术领域
本实用新型涉及玻璃基板加工制造技术领域,尤其涉及一种玻璃基板偏移检测机构。
背景技术
在玻璃基板检测、加工等设备中,一般需要先对玻璃基板进行定位,然后再进行下一步动作,并且,在设备检测或加工过程中玻璃基板需保持在不变的位置以达到检测或加工的精度要求,这就要求玻璃基板在检测或加工过程中不能出现偏移现象,否则将会导致整个设备的精度较差,无法保证设备检测、加工的统一性。玻璃基板放置于承载装置上,而承载装置的面积略大于玻璃基板的面积,当玻璃基板偏移量较大时,玻璃基板伸出承载装置以外,玻璃基板容易与其它结构发生碰撞从而发生碎片的风险。
实用新型内容
本实用新型提供一种玻璃基板偏移检测机构,用以检测玻璃基板是否发生偏移,提高整个设备的精度,并防止玻璃基板发生碎片风险。
本实用新型实施例提供了一种玻璃基板偏移检测机构,该玻璃基板偏移检测机构包括基座以及设置在所述基座上的承载装置,所述承载装置用于承载玻璃基板;
所述基座上还设有多个光传感器,且所述承载装置的边缘设有与所述多个光传感器一一对应的采光口,所述采光口在所述基座上的投影覆盖对应的光传感器;
所述采光口用于使所述玻璃基板一侧的光线直接入射到对应的光传感器中,或使经过所述玻璃基板折射后的光线入射到对应的光传感器中,所述多个光传感器用于根据对应位置的光线强度检测所述玻璃基板是否发生偏移。
上述实施例中,通过将采光口设置在承载装置的边缘位置,使得当玻璃基板相对承载装置发生偏移时,采光口未被玻璃基板覆盖的面积与已被玻璃基板覆盖的面积之间的比例将发生变化,从而使得进入采光口的光线量发生变化,因此,一旦出现一个或多个光传感器检测到的光线强度处于正常的设定范围之外,则说明玻璃基板在承载装置上产生了偏移。
可选的,所述采光口为通孔或缺口。
可选的,所述基座上设有与所述多个光传感器一一对应的固定件,所述固定件用于固定对应的光传感器。
可选的,所述承载装置与所述基座之间设有支撑台,且所述支撑台与所述承载装置转动连接;
所述采光口到所述承载装置的中心距离相等,且沿圆周均匀分布。这样设置使得承载装置可以带动玻璃基板发生转动,以便于对玻璃基板进行检测等操作,同时,在转动后,使采光口与光传感器在竖直方向上仍能够保持重叠。
可选的,所述承载装置在所述基座上的投影为正方形,且所述承载装置上设有四个采光口。
可选的,所述四个采光口分别位于所述承载装置的四个端角。当玻璃基板发生偏移时,在端角位置的位移量较大,即端角位置处的光传感器接收到的光线强度的变化较为明显。
为提高玻璃基板的稳定性,所述承载装置上设有至少一个承载区,每个承载区的表面设有多个气孔,且所述每个承载区内设有与所述多个气孔连通的气道;
所述气道用于排出所述玻璃基板与所述承载装置之间的空气,使所述玻璃基板吸附在所述承载装置上,或用于向所述玻璃基板与所述承载装置之间输送空气,使所述玻璃基板在所述承载装置表面浮起。
可选的,所述基座内设有与所述每个承载区对应的真空气管以及设置在所述真空气管上的压力传感器,所述真空气管穿过所述支撑台并与对应的承载区内设置的气道连通,所述压力传感器用于检测所述玻璃基板与对应的承载区之间的压力。
可选的,所述承载装置上设有多个承载区,且所述多个承载区均匀分布。
可选的,所述承载装置上设有四个承载区,且所述四个承载区呈方阵排列。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的玻璃基板偏移检测机构的结构示意图;
图2为图1中示出的玻璃基板偏移检测机构的俯视图。
附图标记:
10-基座20-承载装置21-采光口30-玻璃基板
40-支撑台50-光传感器60-固定件
70-真空气管80-压力传感器
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面结合附图对本实用新型作进一步详细地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供了一种玻璃基板偏移检测机构,用于检测玻璃基板是否发生了偏移,该玻璃基板可以为空白的玻璃基板,也可以为经过其它工艺处理后的玻璃基板,如设置有电路的玻璃基板。玻璃基板在检测、加工过程中,可能会相对中心位置发生转动或产生水平方向的位移等,导致整个设备的精度较差,当玻璃基板的偏移量较大时甚至可能会发生碎片的风险。本实用新型实施例提供的玻璃基板偏移检测装置能够实时对玻璃基板的状态进行监控,一旦玻璃基板出现偏移现象则发出报警以避免设备检测或加工精度的降低和风险的发生。
具体的,该玻璃基板偏移检测机构包括基座以及设置在基座上的承载装置,承载装置用于承载玻璃基板;
基座上还设有多个光传感器,且承载装置的边缘设有与多个光传感器一一对应的采光口,采光口在基座上的投影覆盖对应的光传感器;
采光口用于使玻璃基板一侧的光线直接入射到对应的光传感器中,或使经过玻璃基板折射后的光线入射到对应的光传感器中,多个光传感器用于根据对应位置的光线强度检测玻璃基板是否发生偏移。
上述实施例中,采光口设置在承载装置的边缘位置,并可能被玻璃基板完全覆盖或部分覆盖,即玻璃基板一侧的光线可以直接入射到光传感器中,或通过玻璃基板的折射后入射到光传感器中,当玻璃基板相对承载装置发生偏移时,采光口未被玻璃基板覆盖的面积与已被玻璃基板覆盖的面积之间的比例将发生变化,从而使得进入采光口的光线量发生变化,而每个光传感器所采集的光照强度都具有正常的设定范围,一旦出现一个或多个光传感器检测到的光线强度处于正常的设定范围之外,则说明玻璃基板在承载装置上产生了偏移。
为了更加清楚地了解本实用新型实施例提供的玻璃基板偏移检测机构的具体结构,现结合附图进行详细的描述。
如图1所示,该玻璃基板偏移检测机构包括基座10以及设置在基座10上的承载装置20,承载装置20用于承载玻璃基板30,承载装置20一般设置成矩形或正方形,且略大于玻璃基板30的面积;基座10上还设有多个光传感器50,且承载装置20的边缘设有与这些光传感器50一一对应的采光口21,采光口21可以为通孔或缺口,且采光口21在基座10上的投影覆盖对应的光传感器50,光传感器50能够接收进入采光口21的光线,具体的,采光口21用于使玻璃基板30一侧的光线直接入射到对应的光传感器50中,或使经过玻璃基板30折射后的光线入射到对应的光传感器50中,而在具体生产过程中,采光口21可能被玻璃基板30完全覆盖或部分覆盖,当玻璃基板30相对承载装置20发生偏移时,玻璃基板30与采光口21之间的位置关系将发生变化,采光口21未被玻璃基板30覆盖的面积与已被玻璃基板30覆盖的面积之间的比例将发生变化,从而使得进入采光口21的光线量发生变化,即光传感器50能够灵敏得捕捉到通过采光口21所采集到的光照强度的变化,而每个光传感器50所采集的光照强度都具有正常的设定范围,一旦出现一个或多个光传感器50检测到的光线强度处于正常的设定范围之外,则说明玻璃基板30在承载装置20上产生了偏移。
具体设置时,采光口21可以设置在承载装置20的端角,当玻璃基板30发生偏移时,在端角位置的位移量较大,即端角位置处的光传感器50接收到的光线强度的变化较为明显,有利于提高检测的灵敏度与精度,当然,除承载装置20的端角位置外,还可以在其他边缘位置设置采光口21,在此不再详细说明。采光口21在基座10上的投影区域即光传感器50的设置区域,具体的,基座10上设有与光传感器50一一对应的固定件60,光传感器50通过固定件60固定在基座10上,其中,固定件60可以采用焊接、螺纹连接等方式设置在基座10上。
如图2所示,承载装置20与基座10之间设有支撑台40,且支撑台40与承载装置20转动连接,这样,在生产过程中,承载装置20可以带动玻璃基板30发生转动,以便于对玻璃基板30进行检测等操作。为了使得在转动后采光口21与光传感器50在竖直方向上仍能够保持重叠,采光口21到承载装置20的中心距离相等,且沿圆周均匀分布,在一个具体的实施例中,承载装置20在基座10上的投影为正方形,且承载装置20上设有四个采光口21,这四个采光口21的中心沿圆周均匀分布。进一步的,如图2所示,四个采光口21分别位于承载装置20的四个端角,当玻璃基板30发生偏移时,在端角位置的位移量较大,即端角位置处的光传感器50接收到的光线强度的变化较为明显,有利于提高检测的灵敏度与精度。具体设置时,通过采用多次玻璃基板30未偏移时光传感器50所采集的光线强度的平均值作为设定值,通过光传感器50的实时监测数据与该设定值做比较来判断玻璃基板30是否偏移,从而知道设备是否需要停机或继续进行检测。
另外,为了提高玻璃基板30的稳定性,承载装置20上设有至少一个承载区,每个承载区的表面设有多个气孔,且每个承载区内设有与这些气孔连通的气道;气道用于排出玻璃基板30与承载装置20之间的空气,使玻璃基板30吸附在承载装置20上,或用于向玻璃基板30与承载装置20之间输送空气,使玻璃基板30在承载装置20表面浮起。在加工或检测过程中,通过排出玻璃基板30与承载装置20之间的空气,使得玻璃基板30被牢牢吸附在承载装置20上,有利于提高加工以及检测过程中的精度;当将玻璃基板30从承载装置20上移走或放置在承载装置20上时,通过向玻璃基板30与承载装置20之间输送空气,使得玻璃基板30受到来自气流向上的支撑力,从而在承载装置20表面浮起,使得玻璃基板30在移动过程中免受机械损伤。
具体设置时,基座10内设有与每个承载区对应的真空气管70以及设置在真空气管70上的压力传感器80,真空气管70穿过支撑台40并与对应的承载区内设置的气道连通,压力传感器80用于检测玻璃基板30与对应的承载区之间的压力。当压力传感器80检测到的压力值为玻璃基板30被吸附在承载装置20上的正常压力时,则说明玻璃基板30达到了稳定要求,若压力传感器80检测到的压力值小于玻璃基板30被吸附在承载装置20上的正常压力时,则需检测玻璃基板30与承载装置20之间是否存在杂质、或玻璃基板30是否发生碎裂等原因。具体的,承载装置20设有多个承载区,且这些承载区均匀分布,如图2所示,承载装置20上设有四个承载区,这四个承载区呈方阵排列,相应的,基座10内部设有四个真空气管70,每个真空气管70上设有一个压力传感器80,通过在承载装置20上设置多个承载区,减小了气道在向气孔输送空气时产生的压降,使承载区内气压均匀。
通过上述描述可以看出,本实用新型实施例提供的玻璃基板偏移检测装置通过将在承载装置20的边缘位置设置采光口21,使得当玻璃基板30相对承载装置20发生偏移时,采光口21未被玻璃基板30覆盖的面积与已被玻璃基板30覆盖的面积之间的比例将发生变化,从而使得进入采光口21的光线量发生变化,并在基座10上相对应的位置设置光传感器50来检测采光口21的光线强度,一旦出现一个或多个光传感器50检测到的光线强度处于正常的设定范围之外,则说明玻璃基板30在承载装置20上产生了偏移。
显然,本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样,倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内,则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,包括基座以及设置在所述基座上的承载装置,所述承载装置用于承载玻璃基板;
所述基座上还设有多个光传感器,且所述承载装置的边缘设有与所述多个光传感器一一对应的采光口,所述采光口在所述基座上的投影覆盖对应的光传感器;
所述采光口用于使所述玻璃基板一侧的光线直接入射到对应的光传感器中,或使经过所述玻璃基板折射后的光线入射到对应的光传感器中,所述多个光传感器用于根据对应位置的光线强度检测所述玻璃基板是否发生偏移。
2.如权利要求1所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述采光口为通孔或缺口。
3.如权利要求1所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述基座上设有与所述多个光传感器一一对应的固定件,所述固定件用于固定对应的光传感器。
4.如权利要求1所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述承载装置与所述基座之间设有支撑台,且所述支撑台与所述承载装置转动连接;
所述采光口到所述承载装置的中心距离相等,且沿圆周均匀分布。
5.如权利要求4所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述承载装置在所述基座上的投影为正方形,且所述承载装置上设有四个采光口。
6.如权利要求5所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述四个采光口分别位于所述承载装置的四个端角。
7.如权利要求4~6任一项所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述承载装置上设有至少一个承载区,每个承载区的表面设有多个气孔,且所述每个承载区内设有与所述多个气孔连通的气道;
所述气道用于排出所述玻璃基板与所述承载装置之间的空气,使所述玻璃基板吸附在所述承载装置上,或用于向所述玻璃基板与所述承载装置之间输送空气,使所述玻璃基板在所述承载装置表面浮起。
8.如权利要求7所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述基座内设有与所述每个承载区对应的真空气管以及设置在所述真空气管上的压力传感器,所述真空气管穿过所述支撑台并与对应的承载区内设置的气道连通,所述压力传感器用于检测所述玻璃基板与对应的承载区之间的压力。
9.如权利要求7所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述承载装置上设有多个承载区,且所述多个承载区均匀分布。
10.如权利要求9所述的玻璃基板偏移检测机构,其特征在于,所述承载装置上设有四个承载区,且所述四个承载区呈方阵排列。
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CN112490164A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-03-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 真空机械手 |
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GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
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Address after: 230013 Southwest District of Hefei City, Anhui Province Patentee after: Hefei xinyihua Intelligent Machine Co.,Ltd. Address before: 230013 Southwest District of Hefei City, Anhui Province Patentee before: HEFEI SINEVA INTELLIGENT MACHINE Co.,Ltd. |
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CP01 | Change in the name or title of a patent holder |