CN220819923U - 晶圆检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备，包括固定底座、支撑架、检测头和检测台，还包括除尘组件，除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件，连接座与固定底座固定连接，喷头与连接座固定连接，支撑座与固定底座固定连接，吸尘罩与支撑座固定连接，喷气构件设置在固定底座上，并与喷头连接，吸气构件设置在固定底座上，并与吸尘罩连接，转动构件设置在固定底座上，并与检测台连接，通过将检测台上晶圆上吹起的灰尘吸入到吸尘罩内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。

Description

晶圆检测设备

技术领域

本实用新型属于晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测设备。

背景技术

传统的晶圆检测方式通过超声检测设备进行检测，但在利用超声检测设备进行例如气泡缺陷检测时，由于可见光无法穿透一片晶圆的厚度，工程师无法看到晶圆上芯粒的结构。

现有技术中CN110690137B公开了一种晶圆检测设备及晶圆检测方法，通过第一超声扫描探头对晶圆进行超声预扫描，获取芯粒信息，将该芯粒信息作为超声扫描的定位坐标，实现超声扫描的精准定位；在使用第二超声扫描探头对晶圆进行精准超声扫描之后，获取包括芯粒信息的缺陷信息，根据该缺陷信息形成晶圆的缺陷图。由此使得缺陷图中包含晶圆的芯粒信息，根据芯粒信息，能够精确定位缺陷在晶圆中的具体芯粒位置，使得缺陷分析达到芯粒级别，便于缺陷的精准定位分析，从而协助分析缺陷的形成原因，及时调整集成电路的制造工艺，提高晶圆产品良率。

但现有的设备在对检测台上的晶圆进行检测时，通常检测台上的晶圆会吸附上灰尘，从而使得在设备对其晶圆进行检测时，吸附的灰尘会影响到晶圆的检测结果，进而影响装置检测时的准确性。

实用新型内容

本实用新型的目的是：旨在提供一种晶圆检测设备，现有的设备在对检测台上的晶圆进行检测时，通常检测台上的晶圆会吸附上灰尘，从而使得在设备对其晶圆进行检测时，吸附的灰尘会影响到晶圆的检测结果，进而影响装置检测时的准确性。

为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：包括固定底座、支撑架、检测头和检测台，所述支撑架与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧，所述检测头设置在所述支撑架上，并位于所述支撑架的一侧，所述检测台设置在所述固定底座上，并位于所述固定底座靠近所述检测头的一侧，

还包括除尘组件，

所述除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件，所述连接座与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧，所述喷头与所述连接座固定连接，并位于所述连接座靠近所述检测台的一侧，所述支撑座与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧，所述吸尘罩与所述支撑座固定连接，并位于所述支撑座靠近所述检测台的一侧，所述喷气构件设置在所述固定底座上，并与所述喷头连接，所述吸气构件设置在所述固定底座上，并与所述吸尘罩连接，所述转动构件设置在所述固定底座上，并与所述检测台连接。

其中，所述喷气构件包括喷气泵和喷气软管，所述喷气泵与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧；所述喷气软管与所述喷气泵连接，并与所述喷头连通，且位于所述喷气泵靠近所述喷头的一侧。

其中，所述吸气构件包括吸气泵和吸气软管，所述吸气泵与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧；所述吸气软管与所述吸气泵连接，并与所述吸尘罩连通，且位于所述吸气泵靠近所述吸尘罩的一侧。

其中，所述转动构件包括驱动电机和转动轴，所述驱动电机与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧；所述转动轴的一端与所述驱动电机的输出端连接，所述转动轴的另一端与所述检测台固定连接，所述转动轴位于所述驱动电机靠近所述检测台的一侧。

其中，所述除尘组件还包括过滤构件，所述过滤构件包括排出壳和过滤网，所述排出壳与所述固定底座固定连接，并与所述吸气泵连接，且位于所述固定底座靠近所述吸气泵的一侧；所述过滤网与所述排出壳固定连接，并位于所述排出壳的一侧。

本实用新型的一种晶圆检测设备，通过所述喷气构件能够将环境中的空气抽入到所述喷头中并能够从所述喷头的喷口处快速喷出，从而能够将所述检测台上固定的晶圆上的灰尘吹起，同时通过所述吸气构件能够使得所述吸尘罩产生吸力，使得所述检测台上晶圆上吹起的灰尘吸入到所述吸尘罩内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。

附图说明

本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明。

图1是本实用新型第一实施例的晶圆检测设备的结构示意图。

图2是本实用新型第一实施例的除尘组件的结构示意图。

图3是本实用新型第二实施例的晶圆检测设备的结构示意图。

图4是本实用新型第二实施例的过滤构件的结构示意图。

图中：101-固定底座、102-支撑架、103-检测头、104-检测台、105-除尘组件、106-连接座、107-喷头、108-支撑座、109-吸尘罩、110-喷气泵、111-喷气软管、112-吸气泵、113-吸气软管、114-驱动电机、115-转动轴、201-过滤构件、202-排出壳、203-过滤网。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。

实施例一：

如图1-2所示，其中图1是本实用新型第一实施例的晶圆检测设备的结构示意图，图2是本实用新型第一实施例的除尘组件的结构示意图。

本实用新型提供一种晶圆检测设备，包括固定底座101、支撑架102、检测头103、检测台104和除尘组件105，所述除尘组件105包括连接座106、喷头107、支撑座108、吸尘罩109、喷气构件、吸气构件和转动构件，所述喷气构件包括喷气泵110和喷气软管111，所述吸气构件包括吸气泵112和吸气软管113，所述转动构件包括驱动电机114和转动轴115。通过前述方案解决了现有的设备在对检测台上的晶圆进行检测时，通常检测台上的晶圆会吸附上灰尘，从而使得在设备对其晶圆进行检测时，吸附的灰尘会影响到晶圆的检测结果，进而影响装置检测时的准确性，可以理解的是，前述方案可以用在需要对晶圆上的灰尘进行清理的情况下。

在本实施方式中，所述支撑架102螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述支撑架102的连接支撑，所述检测头103设置在所述支撑架102上，通过所述支撑架102实现对所述检测头103的连接支撑，所述检测台104设置在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述检测台104的连接支撑，通过所述检测台104能够对晶圆进行夹持固定，从而便于设备通过所述检测头103对所述检测台104上的晶圆进行检测。

其中，所述连接座106与所述固定底座101固定连接，并位于所述固定底座101的一侧，所述喷头107与所述连接座106固定连接，并位于所述连接座106靠近所述检测台104的一侧，所述支撑座108与所述固定底座101固定连接，并位于所述固定底座101的一侧，所述吸尘罩109与所述支撑座108固定连接，并位于所述支撑座108靠近所述检测台104的一侧，所述喷气构件设置在所述固定底座101上，并与所述喷头107连接，所述吸气构件设置在所述固定底座101上，并与所述吸尘罩109连接，所述转动构件设置在所述固定底座101上，并与所述检测台104连接，所述连接座106螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述连接座106的连接支撑，所述喷头107螺栓固定安装在所述连接座106上，通过所述连接座106能够实现对所述喷头107的连接支撑，所述喷头107的喷口朝向所述检测台104上，所述支撑座108螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述支撑座108的连接支撑，所述吸尘罩109螺栓固定安装在所述支撑座108上，通过所述支撑座108实现对所述吸尘罩109的连接支撑，所述吸尘罩109的槽口朝向所述检测台104的方向，通过所述吸尘罩109能够将吹起的灰尘吸入到所述吸尘罩109中，所述喷气构件设置在所述固定底座101上，并与所述喷头107连接，通过所述喷气构件能够将环境中的空气抽入到所述喷头107中并能够从所述喷头107的喷口处快速喷出，所述吸气构件设置在所述固定底座101上，并与所述吸尘罩109连接，通过所述吸气构件能够使得所述吸尘罩109产生吸力，从而使得所述检测台104上晶圆上吹起的灰尘吸入到所述吸尘罩109内，所述转动构件设置在所述固定底座101上，并与所述检测台104连接，通过所述转动构件能够使得所述检测台104进行转动，从而使得所述检测台104多方位的将所述检测台104上的晶圆上的灰尘进行吹起并吸入，从而实现了通过所述喷气构件能够将环境中的空气抽入到所述喷头107中并能够从所述喷头107的喷口处快速喷出，从而能够将所述检测台104上固定的晶圆上的灰尘吹起，同时通过所述吸气构件能够使得所述吸尘罩109产生吸力，使得所述检测台104上晶圆上吹起的灰尘吸入到所述吸尘罩109内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。

其次，所述喷气泵110与所述固定底座101固定连接，并位于所述固定底座101的一侧；所述喷气软管111与所述喷气泵110连接，并与所述喷头107连通，且位于所述喷气泵110靠近所述喷头107的一侧，所述喷气泵110螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述喷气泵110的连接支撑，所述喷气软管111连接在所述喷气泵110的输出端，所述喷气软管111连通在所述喷头107上，通过所述喷气泵110的驱动输出从而能够将环境中的空气快速导入到所述喷气软管111中，从而能够使得气体导入到所述喷头107中并能够从所述喷头107的喷口处快速喷出到所述检测台104上。

同时，所述吸气泵112与所述固定底座101固定连接，并位于所述固定底座101的一侧；所述吸气软管113与所述吸气泵112连接，并与所述吸尘罩109连通，且位于所述吸气泵112靠近所述吸尘罩109的一侧，所述吸气泵112螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述吸气泵112的连接支撑，吸气软管113连接在所述吸气泵112上，所述吸气软管113连通在所述吸尘罩109上，通过所述吸气软管113的连接能够将所述吸尘罩109产生吸力，从而能够达到将所述喷头107扬起的灰尘吸入到所述吸尘罩109中进行对灰尘的收集处理。

最后，所述驱动电机114与所述固定底座101固定连接，并位于所述固定底座101的一侧；所述转动轴115的一端与所述驱动电机114的输出端连接，所述转动轴115的另一端与所述检测台104固定连接，所述转动轴115位于所述驱动电机114靠近所述检测台104的一侧，所述驱动电机114螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述驱动电机114的连接支撑，所述转动轴115的一端连接在所述驱动电机114的输出端，通过所述驱动电机114的驱动输出从而能够带动所述转动轴115的转动，所述转动轴115的另一端螺栓固定安装在所述检测台104上，通过所述转动轴115的转动能够带动所述检测台104进行转动的目的。

使用本实施的一种晶圆检测设备时，通过所述喷气构件能够将环境中的空气抽入到所述喷头107中并能够从所述喷头107的喷口处快速喷出，从而能够将所述检测台104上固定的晶圆上的灰尘吹起，同时通过所述吸气构件能够使得所述吸尘罩109产生吸力，使得所述检测台104上晶圆上吹起的灰尘吸入到所述吸尘罩109内进行收集，避免灰尘再次掉落到晶圆上，从而避免晶圆上堆积吸附的灰尘影响检测结果，进而提高装置检测时的准确性。

实施例二：

在第一实施例的基础上，请参阅图3和图4，图3是本实用新型第二实施例的晶圆检测设备的结构示意图，图4是本实用新型第二实施例的过滤构件的结构示意图。

本实用新型提供一种晶圆检测设备还包括过滤构件201，所述过滤构件201包括排出壳202和过滤网203。

所述排出壳202与所述固定底座101固定连接，并与所述吸气泵112连接，且位于所述固定底座101靠近所述吸气泵112的一侧；所述过滤网203与所述排出壳202固定连接，并位于所述排出壳202的一侧，所述排出壳202螺栓固定安装在所述固定底座101上，通过所述固定底座101实现对所述排出壳202的连接支撑，所述排出壳202为空心结构，所述排出壳202连接在所述吸气泵112的出气端，通过所述吸气泵112排出的带有灰尘的气体能够进入到所述排出壳202中，所述过滤网203螺栓固定安装在所述排出壳202上，通过所述过滤网203能够将所述排出壳202内的空气中的灰尘进行阻挡吸附，从而再通过所述过滤网203将空气排出，进而防止灰尘排出进入周围环境中影响操作人员身体健康。

上述实施例仅示例性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (5)

1.一种晶圆检测设备，包括固定底座、支撑架、检测头和检测台，所述支撑架与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧，所述检测头设置在所述支撑架上，并位于所述支撑架的一侧，所述检测台设置在所述固定底座上，并位于所述固定底座靠近所述检测头的一侧，其特征在于，

还包括除尘组件，

所述除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件，所述连接座与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧，所述喷头与所述连接座固定连接，并位于所述连接座靠近所述检测台的一侧，所述支撑座与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧，所述吸尘罩与所述支撑座固定连接，并位于所述支撑座靠近所述检测台的一侧，所述喷气构件设置在所述固定底座上，并与所述喷头连接，所述吸气构件设置在所述固定底座上，并与所述吸尘罩连接，所述转动构件设置在所述固定底座上，并与所述检测台连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：

所述喷气构件包括喷气泵和喷气软管，所述喷气泵与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧；所述喷气软管与所述喷气泵连接，并与所述喷头连通，且位于所述喷气泵靠近所述喷头的一侧。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：

所述吸气构件包括吸气泵和吸气软管，所述吸气泵与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧；所述吸气软管与所述吸气泵连接，并与所述吸尘罩连通，且位于所述吸气泵靠近所述吸尘罩的一侧。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测设备，其特征在于：

所述转动构件包括驱动电机和转动轴，所述驱动电机与所述固定底座固定连接，并位于所述固定底座的一侧；所述转动轴的一端与所述驱动电机的输出端连接，所述转动轴的另一端与所述检测台固定连接，所述转动轴位于所述驱动电机靠近所述检测台的一侧。

5.根据权利要求3所述的晶圆检测设备，其特征在于：

所述除尘组件还包括过滤构件，所述过滤构件包括排出壳和过滤网，所述排出壳与所述固定底座固定连接，并与所述吸气泵连接，且位于所述固定底座靠近所述吸气泵的一侧；所述过滤网与所述排出壳固定连接，并位于所述排出壳的一侧。