CN220818585U - 一种用于气相沉积炉的循环冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，气相沉积炉炉内温度上升至设定高温时开始保温并通气进行化学反应，一段时间(比如四小时)后需要降至某一特定较低温度再次保温一段时间(比如四小时)，随后开始继续降温，由于现有的气相沉积炉缺少炉内强制冷却装置，降温方法通常是自然冷却，一般需要四天左右时间才能达到拆炉条件，导致生产周期过长，为解决上述技术问题，提供的技术方案为一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，包括闭式水箱、炉内管式冷却器、水泵、风冷散热器及水冷散热器，所述闭式水箱底部通过管道与水泵进口连接，所述水泵出口通过管道分别与风冷散热器进口、水冷散热器进口连接。

Description

一种用于气相沉积炉的循环冷却装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，具体是指一种用于气相沉积炉的循环冷却装置。

背景技术

气相沉积炉炉内温度上升至设定高温时开始保温并通气进行化学反应，一段时间(比如四小时)后需要降至某一特定较低温度再次保温一段时间(比如四小时)，随后开始继续降温，由于现有的气相沉积炉缺少炉内强制冷却装置，降温方法通常是自然冷却，一般需要四天左右时间才能达到拆炉条件，导致生产周期过长。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服上述技术的缺陷，提供一种用于气相沉积炉的循环冷却装置。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案为一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，包括闭式水箱、炉内管式冷却器、水泵、风冷散热器及水冷散热器，所述闭式水箱底部通过管道与水泵进口连接，所述水泵出口通过管道分别与风冷散热器进口、水冷散热器进口连接，所述风冷散热器出口、所述水冷散热器出口并联后通过管道与滤网入口连接，所述滤网出口通过管道与炉内管式冷却器进口连接，所述炉内管式冷却器出口通过管道与闭式水箱连接。

作为改进，所述水泵设置不少于两组，所述水泵并列设置，所述水泵进口管道设有进口阀，所述水泵出口管道设有出口逆止阀。

作为改进，所述水冷散热器冷却水侧分别与开式水进水管、开式水出水管连接。

作为改进，所述滤网进、出口连接管道之间设有旁路管，所述旁路管管道安装设有截止阀。

本实用新型的有益效果

炉体外侧加装冷却器，大幅度缩短了炉体冷却时间和生产周期，技术效果非常突出，经济效益非常显著。

附图说明

图1是循环冷却装置系统示意图；

如图1所示：1、闭式水箱，2、炉内管式冷却器，3、水泵，301、进口阀，302、出口逆止阀，4、风冷散热器，5、水冷散热器，501、开式水进水管，502、开式水出水管，6、滤网，601、旁路管，7、自动调节阀。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，若出现术语“中心”、“上”、“下”、“右”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，若出现术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型实施例的描述中，“多个”代表至少2个。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，若出现术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，做进一步的详细说明。

结合附图1，一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，包括闭式水箱1、炉内管式冷却器2、水泵3、风冷散热器4及水冷散热器5，所述闭式水箱1底部通过管道与水泵3进口连接，所述水泵3出口通过管道分别与风冷散热器4进口、水冷散热器5进口连接，所述风冷散热器4出口、所述水冷散热器5出口并联后通过管道与滤网6入口连接，所述滤网6出口通过管道与炉内管式冷却器2进口连接，所述炉内管式冷却器2出口通过管道与闭式水箱1连接。

作为本实施例较佳实施方案的是，所述水泵3设置不少于两组，所述水泵3并列设置，所述水泵3进口管道设有进口阀301，所述水泵3出口管道设有出口逆止阀302。

作为本实施例较佳实施方案的是，所述水冷散热器5冷却水侧分别与开式水进水管501、开式水出水管502连接。

作为本实施例较佳实施方案的是，所述滤网6进、出口连接管道之间设有旁路管601，所述旁路管601管道安装设有截止阀。

本实用新型在具体实施时，闭式水箱1内闭式冷却水通过管道与并列设置的水泵3进口连接，水泵3在系统正常工作情况下，一台水泵运行，另外一台水泵备用；水泵出口连接的母管管体设有自动调节阀7，自动调节阀7可以根据设定的温度进行闭式水流量调节；自动调节阀7出口通过管道与并列设置的风冷散热器4、水冷散热器5进口连接，系统正常运行时，风冷散热器4、水冷散热器5中的一个散热器运行，另一套散热器备用，散热器出口通过管道与炉内管式冷却器2连接，炉内管式冷却器出水管与闭式水箱回水接口连接。

以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，其特征在于：包括闭式水箱(1)、炉内管式冷却器(2)、水泵(3)、风冷散热器(4)及水冷散热器(5)，所述闭式水箱(1)底部通过管道与水泵(3)进口连接，所述水泵(3)出口通过管道分别与风冷散热器(4)进口、水冷散热器(5)进口连接，所述风冷散热器(4)出口、所述水冷散热器(5)出口并联后通过管道与滤网(6)入口连接，所述滤网(6)出口通过管道与炉内管式冷却器(2)进口连接，所述炉内管式冷却器(2)出口通过管道与闭式水箱(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，其特征在于：所述水泵(3)设置不少于两组，所述水泵(3)并列设置，所述水泵(3)进口管道设有进口阀(301)，所述水泵(3)出口管道设有出口逆止阀(302)。

3.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，其特征在于：所述水冷散热器(5)冷却水侧分别与开式水进水管(501)、开式水出水管(502)连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于气相沉积炉的循环冷却装置，其特征在于：所述滤网(6)进、出口连接管道之间设有旁路管(601)，所述旁路管(601)管道安装设有截止阀。