CN220783873U - 抛光垫保湿柜 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种抛光垫保湿柜，其包括柜体、保湿装置、导流槽和储水槽，所述柜体内部分隔为多个容置腔，每一所述容置腔均设有一个放置工位，用于承载转盘及抛光垫，所述放置工位与所述容置腔的内壁滑动连接，并能够沿y方向移动伸出至所述柜体外部；所述保湿装置用于滴水保湿，所述导流槽的底壁倾斜设置，并于所述底壁在z方向的最低处设置漏水口排水，所述储水槽位于所述柜体底部并与所述漏水口连通储水；本实用新型所述的抛光垫保湿柜设置能够抽拉的放置工位，便于转盘和抛光垫整体取放，提供更大的操作空间；设置导流槽和储水槽能够提升柜内湿度环境的控制精度，及时排水避免溢水故障或水路堵塞影响保湿效果。

Description

抛光垫保湿柜

技术领域

本实用新型涉及收集柜技术领域，尤其是指一种抛光垫保湿柜。

背景技术

抛光垫是化学机械抛光中的重要辅料，其配合抛光液的化学作用对晶圆进行表面处理，控制表面平坦度和表面缺陷；抛光垫的一侧表面与待抛光面接触，另一侧表面通过背胶等固定于转盘，抛光作业时转盘与抛光垫同时转动。

为提高抛光效率并节约耗材，通常将固定好的抛光垫与转盘同时收纳，并要求收纳环境具备一定湿度；现有技术中使用能够持续滴水的收集柜进行敞开式收纳，由于固定好的转盘和抛光垫整体重量较大，取放搬运和移位均较为困难，搬运时易砸伤或夹手，存在较大安全隐患；同时由于现有的收集柜为敞开式，保湿度较难控制，滴水过程中易发生溢水或放水管路堵塞，影响收纳装置的使用寿命。

实用新型内容

为此，本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术中固定好的抛光垫和转盘的收纳装置不便取放，难以控制保湿度的技术难点，提供一种抛光垫保湿柜，便于取放搬运和控制收纳环境的保湿度。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种抛光垫保湿柜，其包括，

柜体，所述柜体包括柜板和柜架；所述柜板能够围合成一封闭空间，所述柜架将所述柜体内部分隔为沿z方向平行排列的多层存储空间，并将每层所述存储空间分隔形成沿x方向排列的多个容置腔，每一所述容置腔均设有一个放置工位，所述放置工位用于承载转盘及固定于所述转盘表面的抛光垫，所述放置工位与所述容置腔的内壁滑动连接，并能够沿y方向移动伸出至所述柜体外部；

保湿装置，所述保湿装置包括湿气散发管和喷嘴，每一所述放置工位顶部均设有一个所述喷嘴用于滴水保湿；

导流槽，每层所述存储空间底部均设置有一个所述导流槽，所述导流槽的底壁倾斜设置，并于所述底壁在z方向的最低处设置漏水口；

储水槽，所述储水槽位于所述柜体底部并与所述漏水口连通；所述柜体底部还设置有架空层，所述架空层位于所述储水槽内部并用于支撑所述柜体。

在本实用新型的一个实施例中，所述导流槽的槽口紧贴所述柜架设置，所述导流槽底壁沿y方向的一侧连接所述槽口，沿y方向的另一侧向远离该层所述柜架的方向倾斜设置，并设置有至少两个所述漏水口。

在本实用新型的一个实施例中，所述漏水口均外接有排水管，所述排水管的另一端位于其连接的所述漏水口下方的所述存储空间内，或者，所述排水管的另一端位于所述储水槽内。

在本实用新型的一个实施例中，所述储水槽内设置有液位检测组件，所述柜体顶部设置有三色警示灯，所述三色警示灯连接所述液位检测组件。

在本实用新型的一个实施例中，还包括控制装置，所述控制装置的信号输入端连接能够设置参数的控制面板和所述液位检测组件，所述控制装置的信号输出端连接所述保湿装置。

在本实用新型的一个实施例中，所述放置工位包括放置架和固定座，所述放置架设置于xoy平面，所述固定座位于所述放置架顶面并支撑于所述转盘底部，所述放置架两侧设置有动轨与所述容置腔侧壁的定轨滑动连接。

在本实用新型的一个实施例中，所述放置工位还包括抽拉把手，所述抽拉把手位于所述放置架在y方向上靠近所述柜体开口的一侧端面。

在本实用新型的一个实施例中，至少部分所述柜板设置为能够开合的结构，能够开合的所述柜板设置为PET板。

在本实用新型的一个实施例中，所述架空层在z方向的高度大于等于所述储水槽槽体深度。

在本实用新型的一个实施例中，所述架空层在z方向的高度为所述储水槽槽体深度的1～1.2倍。

本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本实用新型所述的抛光垫保湿柜设置能够抽拉的放置工位，便于转盘和抛光垫整体取放，在搬运时提供更大的操作空间，降低安全隐患并提升生产效率；设置导流槽和储水槽能够提升柜内湿度环境的控制精度，及时排水避免溢水故障或水路堵塞影响保湿效果和保湿柜使用寿命。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚的理解，下面根据本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中：

图1是本实用新型优选实施例中抛光垫保湿柜的轴测示意图；

图2是本实用新型优选实施例中抛光垫保湿柜内部的整体结构示意图；

图3是图2中一个放置工位的结构示意图；

图4是本实用新型优选实施例中抛光垫保湿柜内部的部分结构示意图；

图5是图4通过设置放置工位收纳转盘及抛光垫的结构示意图。

说明书附图标记说明：1、柜体；11、柜板；12、柜架；13、容置腔；14、定轨；2、放置工位；21、放置架；22、固定座；23、抽拉把手；24、转盘及抛光垫；3、湿气散发管；4、喷嘴；5、导流槽；51、漏水口；52、排水管；6、储水槽；61、液位检测组件；7、架空层；8、三色警示灯；9、控制装置。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

实施例

参照图1～图5所示，本实用新型提供一种抛光垫保湿柜，用于收纳转盘及抛光垫，所述抛光垫固定于所述转盘表面，所述抛光垫保湿柜能够控制收纳所需要的保湿度，相较于现有的滴水收集柜更便于所述转盘及抛光垫24的取放，不易发生堵塞或溢水，收纳效果好、使用寿命长。

具体地，参照图1、图2和图4所示，所述抛光垫保湿柜包括柜体1、保湿装置、导流槽5、储水槽6和控制装置9；所述转盘及抛光垫24收纳于所述柜体1内部，所述柜体1能够封闭设置，由所述保湿装置和控制装置9调节控制柜内的保湿度，所述导流槽5和所述储水槽6控制水流，避免水路堵塞或溢水，辅助实现智能管理。进一步地，现有技术中使用的滴水收集柜为敞开式收纳，经本案发明人研究发现，敞开式收纳虽能够随时取放抛光垫，但抛光垫表面及其与转盘的缝隙易进入污染物影响抛光效果，且内部的保湿度难以准确控制，据此，在本实用新型优选实施例中，所述柜体1包括柜板11和柜架12，所述柜板11能够将所述柜体1围合成一封闭空间，且至少部分所述柜板11设置为能够开合的结构，需要进行转盘及抛光垫24取放时打开柜板11进行，收纳时所述柜体1封闭隔绝空气，便于保持抛光垫洁净。在一些实施例中，至少能够开合的所述柜板11设置为PET板，便于在所述柜体1封闭时观察柜内滴水情况。

进一步地，参照图2～图4所示，所述柜架12将所述柜体1内部分隔为沿z方向平行排列的多层存储空间，并将每层所述存储空间分隔形成沿x方向排列的多个容置腔13，每一所述容置腔13内均设有一个放置工位2，所述放置工位2用于承载转盘及固定于所述转盘表面的抛光垫；在本实用新型实施例中，所述柜体1内部设置有三行三列共九个所述容置腔13，在其他实施例中所述容置腔13的排列方式和数量能够根据需要保湿的转盘及抛光垫设计，不限于此；所述放置工位2与所述容置腔13的内壁滑动连接，并能够沿y方向移动伸出至所述柜体1外部；所述放置工位2包括放置架21和固定座22，所述放置架21设置于xoy平面，所述固定座22位于所述放置架21顶面并支撑于所述转盘底部，所述放置架21两侧设置有动轨与所述容置腔13侧壁的定轨14滑动连接，形成抽拉式结构在搬运取放所述转盘及抛光垫24时更省力；所述放置工位2还包括抽拉把手23，所述抽拉把手23位于所述放置架21在y方向上靠近所述柜体1开口的一侧端面，通过所述抽拉把手23将所述放置工位2拉出至所述容置腔13外部进行取放，操作空间更大，解决现有收集柜在进行人工搬运时需要伸入柜体1内部，空间狭窄易夹手、放置后不便调整位置的问题。

具体地，参照图4和图5所示，所述抛光垫保湿柜还包括保湿装置，所述保湿装置包括湿气散发管3和喷嘴4，每一所述放置工位2顶部均设有一个所述喷嘴4连接进水用于滴水保湿，能够独立进行湿度流量调节和流量关断，使抛光垫在一定湿度环境下收纳。

进一步地，由于所述保湿装置持续向抛光垫表面滴水保湿，因此本实用新型还设置有导流槽5和储水槽6用于导流排水和储水避免柜体1溢水堵塞。参照图4和图5所示，每层所述存储空间底部均设置有一个所述导流槽5，所述导流槽5的底壁倾斜设置，并于所述底壁在z方向的最低处设置漏水口51用于排水，所述储水槽6位于所述柜体1底部并与所述漏水口51连通用于储水，所述柜体1底部还设置有架空层7，所述架空层7位于所述储水槽6内部并用于支撑所述柜体1；所述架空层7在z方向的高度大于等于所述储水槽6槽体深度，能够支撑所述柜体1远离所述储水槽6，避免所述储水槽6内水位较高或发生溢水时浸入所述柜体1内部影响柜内保湿和收纳。所述架空层7高度过高时滴落入所述储水槽6内的水会发生溅射，且导致所述柜体1高度较高，因此在一些实施例中，所述架空层7在z方向的高度为所述储水槽6槽体深度的1～1.2倍。

进一步地，由于所述放置架21交叉设置，其底部存在能够沥水的空隙，滴水至抛光垫表面后水滴会沿所述转盘及抛光垫24向下滴落，通过所述放置架21的间隙滴落至所述导流槽5内，设置所述放置架21及导流槽5能够避免所述转盘与抛光垫的固定处存水，便于柜内的湿度控制。参照图4所示，所述导流槽5的槽口紧贴所述柜架12设置，所述导流槽5底壁沿y方向的一侧连接所述槽口，沿y方向的另一侧向远离该层所述柜架12的方向倾斜设置，并在该侧x方向的两端各设置有至少一个所述漏水口51，便于滴落至所述导流槽5内的水及时沿斜面流至所述漏水口51，加快排水速度；所述漏水口51均外接有排水管52，上层所处存储空间的所述导流槽5均通过排水管52将水导流至相邻的下层所述存储空间中，所述排水管52的一端连接所述导流槽5的漏水口51，所述排水管52的另一端位于其连接的所述漏水口51下方的所述存储空间内；位于z方向底层的所述导流槽5通过排水管52将水导流至所述储水槽6中，所述排水管52的一端连接所述导流槽5的漏水口51，所述排水管52的另一端位于所述储水槽6内。

具体地，参照图3所示，所述抛光垫保湿柜还包括控制装置9，所述储水槽6内设置有液位检测组件61，所述柜体1顶部设置有三色警示灯8，所述三色警示灯8连接所述液位检测组件61，当所述储水槽6内液位较高时触发所述三色警示灯8报警提示；所述控制装置9的信号输入端连接能够设置参数的控制面板和所述液位检测组件61，所述控制装置9的信号输出端连接所述保湿装置，一方面所述控制装置9能够根据所述控制面板预设的保湿度需要控制所述保湿装置进行滴水保湿，调节滴水量和滴水速度，另一方面所述控制装置9还能够根据所述储水槽6内的液位检测结果控制所述保湿装置的滴水量和滴水速度，避免溢水或堵塞，实现智能漏液检测和溢流智能断电。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种抛光垫保湿柜，其特征在于，包括，

柜体，所述柜体包括柜板和柜架；所述柜板能够围合成一封闭空间，所述柜架将所述柜体内部分隔为沿z方向平行排列的多层存储空间，并将每层所述存储空间分隔形成沿x方向排列的多个容置腔，每一所述容置腔均设有一个放置工位，所述放置工位用于承载转盘及固定于所述转盘表面的抛光垫，所述放置工位与所述容置腔的内壁滑动连接，并能够沿y方向移动伸出至所述柜体外部；

保湿装置，所述保湿装置包括湿气散发管和喷嘴，每一所述放置工位顶部均设有一个所述喷嘴用于滴水保湿；

导流槽，每层所述存储空间底部均设置有一个所述导流槽，所述导流槽的底壁倾斜设置，并于所述底壁在z方向的最低处设置漏水口；

储水槽，所述储水槽位于所述柜体底部并与所述漏水口连通；所述柜体底部还设置有架空层，所述架空层位于所述储水槽内部并用于支撑所述柜体。

2.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述导流槽的槽口紧贴所述柜架设置，所述导流槽底壁沿y方向的一侧连接所述槽口，沿y方向的另一侧向远离该层所述柜架的方向倾斜设置，并设置有至少两个所述漏水口。

3.根据权利要求2所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述漏水口均外接有排水管，所述排水管的另一端位于其连接的所述漏水口下方的所述存储空间内，或者，所述排水管的另一端位于所述储水槽内。

4.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述储水槽内设置有液位检测组件，所述柜体顶部设置有三色警示灯，所述三色警示灯连接所述液位检测组件。

5.根据权利要求4所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：还包括控制装置，所述控制装置的信号输入端连接能够设置参数的控制面板和所述液位检测组件，所述控制装置的信号输出端连接所述保湿装置。

6.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述放置工位包括放置架和固定座，所述放置架设置于xoy平面，所述固定座位于所述放置架顶面并支撑于所述转盘底部，所述放置架两侧设置有动轨与所述容置腔侧壁的定轨滑动连接。

7.根据权利要求6所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述放置工位还包括抽拉把手，所述抽拉把手位于所述放置架在y方向上靠近所述柜体开口的一侧端面。

8.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：至少部分所述柜板设置为能够开合的结构，能够开合的所述柜板设置为PET板。

9.根据权利要求1所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述架空层在z方向的高度大于等于所述储水槽槽体深度。

10.根据权利要求9所述的抛光垫保湿柜，其特征在于：所述架空层在z方向的高度为所述储水槽槽体深度的1～1.2倍。