CN220774395U - 一种硅片高温板链式输送装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片高温板链式输送装置，属于硅片输送技术领域，包括加热腔体，设置在加热腔体下方的板链式输送机，加热腔体底端沿长度方向贯穿设有通槽，板链式输送机的链条上并排设有多个下层托架，多个下层托架顶部侧面设有插槽，多个插槽中插接连接有上层托架，多个上层托架顶端穿过通槽延伸至加热腔体内部且并排设有多个支撑杆，多个支撑杆顶端外侧插接连接有陶瓷帽，多个下层托架顶部螺纹连接有将上层托架底部固定在插槽中的紧固件，硅片在运载过程中不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，板链式输送机远离加热腔体，防止受高温影响发生形变，不会产生粉尘，满足了加热腔体洁净度的要求，提高了适用范围。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片输送技术领域，尤其是一种硅片高温板链式输送装置。
背景技术
在现有的光伏电池生产过程中，在某些特定工段，硅片会经历1000℃左右甚至以上高温工艺，在满足高温工艺需求的同时要实现硅片在运输时的平稳性，减少硅片表面划伤；
目前比较先进的采用耐高温材质的滚轴输送硅片的方式，但当工艺温度超过800℃时，由于在超高温环境下，滚轴极易发生变形，硅片与滚轴表面会出现相互摩擦而出现划伤；
还有一种使用较多的是网带输送硅片，这种工况一般对于加热腔体内的洁净度要求不高，原因是网带材质一般采取金属材质才能防止在高温下快速变形、断裂问题，且网带下方均需要耐磨支撑条，这样网带和支撑条之间会出现磨损掉粉，金属粉尘会污染加热腔体内部；导致一些洁净度要求高的工段无法使用该方案输送硅片。
发明内容
实用新型目的：提供一种硅片高温板链式输送装置，以解决现有技术存在的上述问题。
技术方案：一种硅片高温板链式输送装置，包括加热腔体，设置在加热腔体下方的板链式输送机，所述加热腔体底端沿长度方向贯穿设有通槽，所述板链式输送机的链条上并排设有多个下层托架，多个所述下层托架顶部侧面设有插槽，多个所述插槽中插接连接有上层托架，多个所述上层托架顶端穿过通槽延伸至加热腔体内部且并排设有多个支撑杆，多个所述支撑杆顶端外侧插接连接有陶瓷帽，多个所述下层托架顶部螺纹连接有将上层托架底部固定在插槽中的紧固件。
通过采用上述技术方案，上层托架为耐高温材质，上层托架与陶瓷帽可承受1000℃以上高温而不发生变形，通过板链式输送机带动下层托架、上层托架、陶瓷帽同步移动来运载硅片，硅片在运载过程中不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，而板链式输送机远离加热腔体，防止受高温影响发生形变，不会产生粉尘，满足了加热腔体洁净度的要求，提高了适用范围。
优选的，多个所述上层托架底部设有腰孔，多个所述腰孔位于紧固件外侧。
优选的，所述紧固件包括螺纹连接在下层托架顶部的多个螺栓，多个所述螺栓的端部穿过腰孔后螺纹连接有螺母，多个所述螺母侧面压紧在上层托架底部侧面。
优选的，多个陶瓷帽底部垂直于轴向方向贯穿设有第一通孔，多个所述支撑杆顶部贯穿设有与第一通孔为同一轴心的第二通孔，多个所述第二通孔内部设有钢丝，多个所述钢丝的两端穿过第一通孔延伸至陶瓷帽外侧。
优选的，多个所述钢丝的两端穿过第一通孔延伸至陶瓷帽外侧后竖直向下折弯。
综上所述，本实用新型的有益效果是：
1、通过板链式输送机带动下层托架、上层托架、陶瓷帽同步移动来运载硅片，硅片在运载过程中不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片；
2、板链式输送机远离加热腔体，防止受高温影响发生形变，不会产生粉尘，满足了加热腔体洁净度的要求，提高了适用范围。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的上层托架与陶瓷帽的连接结构示意图；
图3是本实用新型的上层托架与下层托架的连接结构示意图；
图4是本实用新型的上层托架的结构示意图。
附图标记为：1、板链式输送机；2、下层托架；3、插槽；4、上层托架；5、支撑杆；6、第一通孔；7、腰孔；8、陶瓷帽；9、第二通孔；10、螺栓；11、螺母；12、钢丝；13、加热腔体；14、通槽。
具体实施方式
在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本实用新型更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本实用新型可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
一种硅片高温板链式输送装置，如图1和图2，包括加热腔体13，设置在加热腔体13下方的板链式输送机1，加热腔体13底端沿长度方向贯穿设有通槽14，板链式输送机1的链条上并排设有多个下层托架2，如图3，多个下层托架2顶部侧面设有插槽3，多个插槽3中插接连接有上层托架4，多个上层托架4顶端穿过通槽14延伸至加热腔体13内部且并排设有多个支撑杆5，多个支撑杆5顶端外侧插接连接有陶瓷帽8，多个下层托架2顶部螺纹连接有将上层托架4底部固定在插槽3中的紧固件。
如图1和图2，通过板链式输送机1带动下层托架2、上层托架4、陶瓷帽8同步移动来运载硅片，这样硅片在运载过程中就不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，而板链式输送机1远离加热腔体13，防止受高温影响发生形变，不会产生粉尘，满足了加热腔体13洁净度的要求，提高了适用范围。
如图3和图4，多个上层托架4底部设有腰孔7，多个腰孔7位于紧固件外侧，此设置便于调整上层托架4的高度，进而调整陶瓷帽8的高度，使陶瓷帽8位于同一水平面上，提高硅片运载时的稳定性。
如图3，紧固件包括螺纹连接在下层托架2顶部的多个螺栓10，多个螺栓10的端部穿过腰孔7后螺纹连接有螺母11，多个螺母11侧面压紧在上层托架4底部侧面。
如图2和图4，多个陶瓷帽8底部垂直于轴向方向贯穿设有第一通孔6，多个支撑杆5顶部贯穿设有与第一通孔6为同一轴心的第二通孔9，多个第二通孔9内部设有钢丝12，多个钢丝12的两端穿过第一通孔6延伸至陶瓷帽8外侧，通过钢丝12将陶瓷帽8固定在支撑杆5顶部，简单方便。
如图2，多个钢丝12的两端穿过第一通孔6延伸至陶瓷帽8外侧后竖直向下折弯，这样就不会因反复高温影响而松动，提高钢丝12安装稳定性。
工作原理：通过板链式输送机1带动下层托架2、上层托架4、陶瓷帽8同步移动来运载硅片，硅片在运载过程中不会发生相对位移，防止磨损、划伤硅片，在上层托架4底部设置腰孔7便于调整上层托架4的高度，进而调整陶瓷帽8的高度，使陶瓷帽8位于同一水平面上，进而提高硅片运载时的稳定性，陶瓷帽8与通过钢丝12固定在支撑杆5顶部，简单方便，同时将钢丝12的两端竖直向下折弯，这样就不会因反复高温影响而松动，提高钢丝12安装稳定性，而板链式输送机1远离加热腔体13，防止受高温影响发生形变，不会产生粉尘，满足了加热腔体13洁净度的要求，提高了适用范围。
以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种等同变换，这些等同变换均属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种硅片高温板链式输送装置，包括加热腔体(13)，设置在加热腔体(13)下方的板链式输送机(1)，其特征在于，所述加热腔体(13)底端沿长度方向贯穿设有通槽(14)，所述板链式输送机(1)的链条上并排设有多个下层托架(2)，多个所述下层托架(2)顶部侧面设有插槽(3)，多个所述插槽(3)中插接连接有上层托架(4)，多个所述上层托架(4)顶端穿过通槽(14)延伸至加热腔体(13)内部且并排设有多个支撑杆(5)，多个所述支撑杆(5)顶端外侧插接连接有陶瓷帽(8)，多个所述下层托架(2)顶部螺纹连接有将上层托架(4)底部固定在插槽(3)中的紧固件。
2.根据权利要求1所述的一种硅片高温板链式输送装置，其特征在于，多个所述上层托架(4)底部设有腰孔(7)，多个所述腰孔(7)位于紧固件外侧。
3.根据权利要求2所述的一种硅片高温板链式输送装置，其特征在于，所述紧固件包括螺纹连接在下层托架(2)顶部的多个螺栓(10)，多个所述螺栓(10)的端部穿过腰孔(7)后螺纹连接有螺母(11)，多个所述螺母(11)侧面压紧在上层托架(4)底部侧面。
4.根据权利要求1所述的一种硅片高温板链式输送装置，其特征在于，多个陶瓷帽(8)底部垂直于轴向方向贯穿设有第一通孔(6)，多个所述支撑杆(5)顶部贯穿设有与第一通孔(6)为同一轴心的第二通孔(9)，多个所述第二通孔(9)内部设有钢丝(12)，多个所述钢丝(12)的两端穿过第一通孔(6)延伸至陶瓷帽(8)外侧。
5.根据权利要求4所述的一种硅片高温板链式输送装置，其特征在于，多个所述钢丝(12)的两端穿过第一通孔(6)延伸至陶瓷帽(8)外侧后竖直向下折弯。
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