CN220765400U - 一种精抛液回收用存储装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种精抛液回收用存储装置，包括底座，所述底座的上方中部固定连接有固定架，所述固定架的一侧固定连接有安装座，所述安装座的上方固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转杆，所述转杆上固定连接有第一齿轮，所述安装座的上方设置有连接架，所述连接架的内部转动连接有分液管，所述连接架与分液管的连接处设置有轴承，所述分液管上固定连接有第二齿轮，本实用新型通过设置驱动组件以及齿轮组件能够带动上端的分液管进行转动，并且通过设置隔板能够将分液箱隔成两个腔室，通过分液管的转动能够将精抛液以及清洗液进行分别排放，使得该装置能够对抛光精抛液进行回收，避免浪费。

Description

一种精抛液回收用存储装置

技术领域

本实用新型涉及精抛液回收领域，特别是涉及一种精抛液回收用存储装置。

背景技术

现在使用的精抛液在精抛的过程中大盘上注入新的精抛液，下端直接当成废液排掉了，单次抛光使用量接近20升，浪费十分严重，摊薄到每片晶片的成本也不菲；

精抛机在抛光作业时注入的是精抛液，在上料和待机时注入的是纯水，精抛液和纯水都需要经过相同的路径和管路通过相同的排液管排出设备，直接回收会把精抛液和纯水混合，后续无法利用。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是精抛液和纯水都需要经过相同的路径和管路通过相同的排液管排出设备，直接回收会把精抛液和纯水混合，后续无法利用。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种精抛液回收用存储装置，包括底座，所述底座的上方中部固定连接有固定架，所述固定架的一侧固定连接有安装座，所述安装座的上方固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有转杆，所述转杆上固定连接有第一齿轮，通过第一齿轮与第二齿轮之间的啮合作用能够使得第一齿轮带动上方的分液管进行转动，从而对其排液角度进行调节，增加装置的便捷性以及实用性；

所述安装座的上方设置有连接架，所述连接架的内部转动连接有分液管，所述连接架与分液管的连接处设置有轴承，所述分液管上固定连接有第二齿轮

优选的，所述固定架的另一端固定连接有分液箱，所述分液箱的内侧中部固定连接有隔板，通过在分液箱的内部设置隔板能够将其分割成两个腔室，从而能够进行纯水以及精抛液的排放。

优选地，所述分液箱的内部一端设置有集液室，所述分液箱的内部另一端设置有集水室。

优选的，所述集液室与集水室的底部贯穿设置有排液管，所述排液管的内部设置有控制阀，通过排液管能够将纯水以及精抛液进行排放，并且通过设置控制阀能够控制排液管的启闭作业。

优选的，所述集液室与集水室的内部固定连接有限位板，所述集液室与集水室的内部设置有滤网，所述滤网的一端固定连接有把手，通过两端的限位板以及把手能够对滤网进行快速安装，同时设置滤网能够对纯水以及精抛液进行过滤，从而能够便于其后期的循环利用。

优选的，所述分液箱的上方两端设置有螺孔，所述把手上螺纹连接有定位螺栓，所述定位螺栓与螺孔相互对应，通过设置定位螺栓能够确保滤网在使用时的稳定性，底座与固定架的连接处设置有加强筋，在加强筋的作用下能够确保整个固定架在使用时的稳定性。

优选的，所述底座与固定架的连接处设置有加强筋。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过设置驱动组件以及齿轮组件能够带动上端的分液管进行转动，并且通过设置隔板能够将分液箱隔成两个腔室，通过分液管的转动能够将精抛液以及清洗液进行分别排放，使得该装置能够对抛光精抛液进行回收，避免浪费。

附图说明

图1为本实用新型一种精抛液回收用存储装置的主视图；

图2为本实用新型一种精抛液回收用存储装置的分液箱结构示意图；

图3为本实用新型一种精抛液回收用存储装置的滤网结构示意图；

图4为本实用新型一种精抛液回收用存储装置的限位板结构示意图

图中：1、分液管；2、分液箱；3、排液管；4、底座；5、加强筋；6、控制阀；7、转杆；8、安装座；9、驱动电机；10、第一齿轮；11、连接架；12、轴承；13、第二齿轮；14、固定架；15、隔板；16、滤网；17、定位螺栓；18、把手；19、集液室；20、集水室；21、螺孔；22、限位板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

请参阅图1和图2，一种精抛液回收用存储装置，包括底座4，底座4的上方中部固定连接有固定架14，固定架14的一侧固定连接有安装座8，安装座8的上方固定连接有驱动电机9，驱动电机9的输出端固定连接有转杆7，转杆7上固定连接有第一齿轮10，通过启动驱动电机9能够使得带动第一齿轮10进行转动；

安装座8的上方设置有连接架11，连接架11的内部转动连接有分液管1，连接架11与分液管1的连接处设置有轴承12，在轴承12的作用下能够确保分液管1在连接架11以及固定架14上进行稳定的转动作业，分液管1上固定连接有第二齿轮13，通过第一齿轮10与第二齿轮13之间的啮合作用能够使得第一齿轮10带动上方的分液管1进行转动，从而对其排液角度进行调节，增加装置的便捷性以及实用性；

固定架14的另一端固定连接有分液箱2，分液箱2的内侧中部固定连接有隔板15，分液箱2的内部一端设置有集液室19，分液箱2的内部另一端设置有集水室20，通过在分液箱2的内部设置隔板15能够将其分割成两个腔室，从而能够进行纯水以及精抛液的排放；

集液室19与集水室20的底部贯穿设置有排液管3，排液管3的内部设置有控制阀6，通过排液管3能够将纯水以及精抛液进行排放，并且通过设置控制阀6能够控制排液管3的启闭作业；

请参阅图3和图4，集液室19与集水室20的内部固定连接有限位板22，集液室19与集水室20的内部设置有滤网16，滤网16的一端固定连接有把手18，通过两端的限位板22以及把手18能够对滤网16进行快速安装，同时设置滤网16能够对纯水以及精抛液进行过滤，从而能够便于其后期的循环利用；

分液箱2的上方两端设置有螺孔21，把手18上螺纹连接有定位螺栓17，定位螺栓17与螺孔21相互对应，通过设置定位螺栓17能够确保滤网16在使用时的稳定性，底座4与固定架14的连接处设置有加强筋5，在加强筋5的作用下能够确保整个固定架14在使用时的稳定性。

本实用新型在使用时，抛光机运行时待机状态下抛光机注入的是纯水，纯水会经过精抛液分液管1排出，当系统检测到抛光机处于待机状态时，启动驱动电机9能够使得转杆7带动第一齿轮10进行转动，在啮合的作用下能够带动上方的第二齿轮13以及分液管1进行转动，使得分液管1的排液方向与集水室20相对应，从而能够将纯水排放至集水室20的内部进行收集，而当系统检测到抛光机上料准备抛光运行时，抛光机注入的是精抛液，系统将延时一定时间，待管道中的纯水全部通过分液管1排出后，再次启动驱动电机9能够使得分液管1向集液室19的方向进行转动，从而能够将精抛液排入至集液室19的内部进行收集，而精抛液以及纯水在进入到分液箱2的内部时，通过内部的滤网16能够对内部的杂质进行过滤，确保其整个存储装置在使用时的稳定性，集液室19中储存的精抛液中不含纯水，经过过滤后即可回收再利用，使得该装置能够对抛光精抛液进行回收，避免浪费。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种精抛液回收用存储装置，包括底座(4)，其特征在于：所述底座(4)的上方中部固定连接有固定架(14)，所述固定架(14)的一侧固定连接有安装座(8)，所述安装座(8)的上方固定连接有驱动电机(9)，所述驱动电机(9)的输出端固定连接有转杆(7)，所述转杆(7)上固定连接有第一齿轮(10)；

所述安装座(8)的上方设置有连接架(11)，所述连接架(11)的内部转动连接有分液管(1)，所述连接架(11)与分液管(1)的连接处设置有轴承(12)，所述分液管(1)上固定连接有第二齿轮(13)。

2.根据权利要求1所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述固定架(14)的另一端固定连接有分液箱(2)，所述分液箱(2)的内侧中部固定连接有隔板(15)。

3.根据权利要求2所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述分液箱(2)的内部一端设置有集液室(19)，所述分液箱(2)的内部另一端设置有集水室(20)。

4.根据权利要求3所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述集液室(19)与集水室(20)的底部贯穿设置有排液管(3)，所述排液管(3)的内部设置有控制阀(6)。

5.根据权利要求3所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述集液室(19)与集水室(20)的内部固定连接有限位板(22)，所述集液室(19)与集水室(20)的内部设置有滤网(16)，所述滤网(16)的一端固定连接有把手(18)。

6.根据权利要求5所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述分液箱(2)的上方两端设置有螺孔(21)，所述把手(18)上螺纹连接有定位螺栓(17)，所述定位螺栓(17)与螺孔(21)相互对应。

7.根据权利要求1所述的一种精抛液回收用存储装置，其特征在于：所述底座(4)与固定架(14)的连接处设置有加强筋(5)。