CN220763124U - 晶棒转运装置及晶棒加工系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶棒转运装置及晶棒加工系统，包括回转夹持单元和转运平移单元，回转夹持单元包括回转框架，回转框架的一个侧面上设置有第一晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第一升降驱动组件，以驱动组件驱动第一晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；回转框架的另一侧面上设置有第二晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第二升降驱动组件，以驱动第二晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；回转框架内部固定设置有回转驱动单元，回转驱动单元与转运平移单元转动连接，可驱动回转框架在转运平移单元上旋转，以使第一晶棒夹爪组件或第二晶棒夹爪组件处于晶棒取放工位上。本实用新型减小了上下料时间节拍，且结构紧凑、体积小，运行稳定。

Description

晶棒转运装置及晶棒加工系统

技术领域

本实用新型涉及材料加工设备领域，尤其涉及一种晶棒转运装置及晶棒加工系统。

背景技术

目前，晶体硅太阳能电池因其转换效率高被广泛应用于光伏发电领域，晶体硅太阳能电池是在高质量硅片上制成的，这种硅片是从提拉或浇铸的硅棒通过线锯切割等一系列加工工序制作而成。

现有的对晶棒加工系统进行上下料的晶棒转运装置只有一个晶棒夹爪，在对晶棒加工工位进行上下料时，需要先将工位上的加工后晶棒转运走，再在将待加工晶棒转运到加工工位上，即晶棒转运装置需要等待至少三个上下料的行程才能实施加工操作，其因上下料时间节拍过长，降低了晶棒加工系统的加工效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶棒转运装置及晶棒加工系统，以使能够解决晶棒加工系统上下料时间节拍过长造成的效率低问题。具体技术方案如下：

本实用新型实施例提供的晶棒转运装置，包括回转夹持单元和转运平移单元，

回转夹持单元包括回转框架，回转框架的一个侧面上设置有第一晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第一升降驱动组件，第一升降驱动组件与第一晶棒夹爪组件连接，以驱动第一晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；

回转框架的另一侧面上设置有第二晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第二升降驱动组件，第二升降驱动组件与第二晶棒夹爪组件连接，以驱动第二晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；

回转框架内部固定设置有回转驱动单元，回转驱动单元与转运平移单元转动连接，可驱动回转框架在转运平移单元上旋转，以使第一晶棒夹爪组件或第二晶棒夹爪组件处于晶棒取放工位上。

进一步地，第一晶棒夹爪组件包括上夹爪模块和下夹爪模块，上夹爪模块和下夹爪模块均包括对称设置的两个夹爪，夹爪的夹持表面与晶棒的形状相适配。

进一步地，第二晶棒夹爪组件包括对称设置的两个夹爪，夹爪底端设置有托台，以从晶棒底部端面托起晶棒，夹爪的夹持表面与晶棒的形状相适配。

进一步地，回转框架上滑动设置有夹爪底板，夹爪设置在夹爪底板的外侧面上，夹爪底板的内侧面设置有夹爪驱动组件，夹爪驱动组件驱动两个夹爪沿夹爪底板滑动，以实现晶棒的夹紧与松开，夹爪底板上活动设置有同步反向运动齿轮，两个夹爪分别通过齿条与夹爪同步反向运动齿轮连接，以使两个夹爪的运动行程相同。

进一步地，上夹爪模块与第一升降驱动组件固定连接，以在第一升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与第一升降驱动组件离合连接，下夹爪模块与第一升降驱动组件固定连接时，下夹爪模块可在第一升级驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与第一升降驱动组件脱离连接时，下夹爪模块可维持在回转框架上的预设位置。

进一步地，上夹爪模块与第一升降驱动组件固定连接，以在第一升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与第一升降驱动组件离合连接，下夹爪模块与第一升降驱动组件固定连接时，下夹爪模块可在第一升级驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与第一升降驱动组件脱离连接时，下夹爪模块可维持在回转框架上的预设位置。

进一步地，第一升降驱动组件包括回转链条和回转链条驱动组件，上夹爪模块与回转链条固定连接，下夹爪模块与回转链条离合连接，回转链条驱动组件通过驱动回转链条转动，以实现上夹爪模块和下夹爪模块往复运动。

进一步地，下夹爪模块通过链条离合装置与回转链条离合连接，链条离合装置包括链条固定座和链条离合座，下夹爪模块与链条离合座固定连接，链条离合座上活动设置有锁紧滑块，锁紧滑块与链条固定座之间形成中间空隙，回转链条从中间空隙内穿过，锁紧滑块可相对链条固定座前后移动，以实现与回转链条的锁紧与分离。

进一步地，第一升降驱动组件还包括链条涨紧装置，链条涨紧装置包括涨紧框架，涨紧框架上设置有涨紧轴，涨紧轴可在涨紧框架上移动，涨紧轴上设置有传动链轮，回转链条绕设在传动链轮上，通过调节涨紧轴在涨紧框架上的位置，可调节回转链条的延伸长度，以对回转链条进行涨紧或放松调节。

进一步地，第二升降驱动组件包括升降驱动电机，升降驱动电机上转动连接有升降丝杠，第二晶棒夹爪组件上固定连接有丝杠螺母座，丝杠螺母座与升降丝杠连接，通过升降驱动电机驱动升降丝杠旋转，以实现第二晶棒夹爪组件的往复运动。

进一步地，第一晶棒夹爪组件和/或第二晶棒夹爪组件上设置有限位撞块，回转框架上分别设置有与各个限位撞块对应的限位块，限位撞块与限位块抵接以限第一晶棒夹爪组件和/或第二晶棒夹爪组件的下限位置。

进一步地，运平移单元包括转运平移底座和滑动连接在转运平移底座上的回转底座，回转驱动单元可转动连接在回转底座上，回转底座可在平移底座上沿第一水平方向移动。

进一步地，晶棒转运装置还包括沿第二水平方向延伸设置的平移导轨，转运平移底座的一端与平移导轨可滑动连接，以实现回转夹持单元随转运平移底座沿第二水平方向的移动。

本实用新型的另一方面，还提供了一种晶棒加工系统，包括上述各项所述的晶棒转运装置。

进一步地，晶棒加工系统包括旋转载料台和多个晶棒加工工位，晶棒转运装置设置于旋转载料台和晶棒加工工位之间，以将旋转载料台上的待加工晶棒运送至晶棒加工工位，或将晶棒加工工位上的加工后晶棒运送至旋转载料台。

本实用新型提供的晶棒转运装置及晶棒加工系统具有以下有点：

1、在回转框架上设置第一晶棒夹爪组件和第二晶棒夹爪组件以夹持不同形状的晶棒，并通过旋转控制实现第一晶棒夹爪组件或第二晶棒夹爪组件处于晶棒取放工位上，以实现一次上下料行程中同时完成上料和下料，减小上下料时间节拍。

2、通过将第一晶棒夹爪组件的第一升降驱动组件和第二晶棒夹爪组件的第二升降驱动组件，以及旋转驱动组件同时内设到回转框架内部，充分利用回转框架内部空间的同时，使回转框架结构紧凑、体积小，使设备运行更加稳定。

附图说明

图1为本实用新型实施例的转运装置的立体图。

图2为本实用新型实施例的转运平移单元的立体图。

图3为本实用新型实施例的回转夹持单元的立体图。

图4为本实用新型实施例的回转框架的立体图。

图5为本实用新型实施例的回转框架的剖视图。

图6为本实用新型实施例的第一升降驱动组件的立体图。

图7为本实用新型实施例的回转链条的立体图；

图8为本实用新型实施例的回转链条的一个视角的侧视图；

图9为本实用新型实施例的回转链条另一视角的侧视图；

图10为本实用新型实施例的上夹爪模块的立体图；

图11为本实用新型实施例的上夹爪模块另一视角的立体图；

图12为本实用新型实施例的上夹爪模块的正面视图；

图13为本实用新型实施例的上夹爪模块的背面视图；

图14为本实用新型实施例的下夹爪模块的立体图；

图15为本实用新型实施例的链条离合装置的立体图；

图16为本实用新型实施例的第二晶棒夹爪组件的立体图；

图17为本实用新型实施例的第二晶棒夹爪组件的背面视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

本实用新型实施例提供的晶棒转运装置用于实现晶棒加工系统的晶棒上下料，本实用新型的一个具体实施例的晶棒加工系统用于对竖向放置的圆形的晶棒进行竖向切割，对圆形晶棒进行竖向切割后形成方形晶棒，晶棒转运装置便用于夹持方形晶棒和圆形晶棒实现晶棒加工系统的上下料，其中本实用新型的一个优选实施例中，晶棒加工系统包括至少两个晶棒加工工位。

进一步地，本实用新型实施例提供的晶棒转运装置将圆棒运送至晶棒加工系统的加工工位，并将加工工位上的方棒夹持取走，因此晶棒转运装置需要在圆棒备料库与各个晶棒加工工位之间进行平移移动，以完成晶棒的上下料。本申请的晶棒转运装置可同时夹持圆棒和方棒，通过圆棒和方棒在晶棒转运装置上的暂存，以在一次上下料平移行程中同时实现圆棒上料和方棒下料。

本实用新型的一个具体实施例中，晶棒加工系统还包括旋转载料台，旋转载料台可同时夹持多根晶棒，晶棒加工系统具有多个晶棒加工工位，晶棒转运装置3设置于旋转载料台和晶棒加工工位之间，且晶棒转运装置3可在旋转载料台和各个晶棒加工工位之间移动，以将旋转载料台上的待加工晶棒运送至晶棒加工工位，或将晶棒加工工位上的加工后晶棒运送至旋转载料台。本实用新型通过旋转载料台同时夹持多根待加工晶棒和暂时存储加工后晶棒，通过晶棒转运装置3为各个晶棒加工工位进行上下料，实现晶棒加工系统的快速上下料，缩短了整体的上下料时间节拍，提高了晶棒加工系统的加工效率。

下面对本实用新型实施例的晶棒转运装置的各个功能模块的作用和具体结构进行详细介绍。如图1所示，本实用新型实施例提供的晶棒转运装置包括回转夹持单元31和转运平移单元32，其中：

回转夹持单元31包括回转框架311，回转框架311的一个侧面上设置有第一晶棒夹爪组件312，回转框架311内部固定设置有第一升降驱动组件313，第一升降驱动组件313与第一晶棒夹爪组件312连接，以驱动第一晶棒夹爪组件312在回转框架311上往复运动；回转框架311的另一侧面上设置有第二晶棒夹爪组件314，回转框架311内部固定设置有第二升降驱动组件315，第二升降驱动组件315与第二晶棒夹爪组件314连接，以驱动第二晶棒夹爪组件314在回转框架311上往复运动；其中，第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314用于夹持不同形状的晶棒。

在本实用新型的一个具体实施例中，第一晶棒夹爪组件312用于夹持圆棒，第二晶棒夹爪组件314用于夹持方棒，通过控制回转框架311整体旋转，以分别将第一晶棒夹爪组件312或第二晶棒夹爪组件314旋转至晶棒取放工位执行晶棒的取放操作。

进一步地，回转框架311内部固定设置有回转驱动单元316，回转驱动单元316与转运平移单元32转动连接，可驱动回转框架311在转运平移单元32上旋转，以使第一晶棒夹爪组件312或第二晶棒夹爪组件314处于晶棒取放工位上。

本实用新型实施例的回转框架311如图4、图5所示，回转框架311为框架类结构，模块化的各个夹爪模块安装到回转框架311上，回转框架311内部安装驱动组件，在充分利用回转框架311内部空间的同时，使回转夹持单元31整体结构紧凑，所占空间小，有利于进行旋转和夹持控制。

进一步地，本实用新型实施例的第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314可以为一对，背对背设置在回转框架311上，以在一次上下料平移运动中实现晶棒加工工位的上下料。第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314也可以为两对或多对，当第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314为一对或两对时，回转框架311为立方体结构。当第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314为多对时，回转框架311为多面体结构，以将第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314交错设置于回转框架311的不同侧面。

本实用新型实施例的回转框架311整体在整体框架上嵌入各个功能模块后，将整个回转框架311整体使用密封材料密封，保证回转框架311内部驱动组件不受外部水渍的影响，使设备运行更加稳定。

本实用新型提供的转运平移单元32如图2所示，包括转运平移底座321和滑动连接在转运平移底座321上的回转底座322，回转驱动单元316可转动连接在回转底座322上，回转底座322可在转运平移底座321上沿第一水平方向移动。回转底座322上设置有回转轴承323，回转驱动单元316与回转轴承323连接，以实现在回转底座322上的旋转控制。

进一步地，晶棒转运装置还包括沿第二水平方向延伸设置的平移导轨，转运平移底座321的一端与平移导轨(附图中未示出)可滑动连接，以实现回转夹持单元31随转运平移底座321沿第二水平方向的移动。

本实用新型提供的晶棒转运装置通过控制回转夹持单元31沿第二水平方向移动，以适应具有多个晶棒加工室的晶棒加工系统，通过在第一水平方向移动，进出切割室，通过在转运平移单元32上整体旋转，实现在晶棒加工工位上的下料和上料。其操作控制流程简单，适用多个晶棒加工室的晶棒加工系统。

进一步地，第一晶棒夹爪组件312包括上夹爪模块3121和下夹爪模块3122，上夹爪模块3121和下夹爪模块3122均包括对称设置的两个夹爪3101，夹爪3101的夹持表面与晶棒的形状相适配，且夹持表面设置有软质垫块，以增大与晶棒的接触面积和摩擦力。

进一步地，当第一晶棒夹爪组件312用于夹持圆棒时，上夹爪模块3121和下夹爪模块3122的两个夹爪3101的夹持表面与圆棒的侧面形状相适配，具体地，夹爪3101面为V形结构，以在夹持圆棒时与圆棒侧面贴合。

参照图10-图14，上夹爪模块3121和下夹爪模块3122均通过夹爪底板3100与回转框架311滑动连接，上夹爪模块3121和下夹爪模块3122的夹爪3101均设置于夹爪底板3100的外侧面。夹爪底板3100的内侧面设置有夹爪驱动组件，夹爪驱动组件驱动两个夹爪3101沿夹爪底板3100滑动，以实现晶棒的夹紧与松开，夹爪底板3100上活动设置有同步反向运动齿轮3102，两个夹爪3101分别通过齿条3103与夹爪3101同步反向运动齿轮3102连接，以使两个夹爪3101的运动行程相同。

进一步地，在两个夹爪3101中间还设置有晶棒探针3105，用于在夹爪3101夹住硅棒上料时对硅棒进行晶线检测。

进一步地，夹爪底板3100的内侧面设置有夹爪驱动组件，用于驱动两个夹爪3101的左右移动。夹爪驱动组件包括分别与两个夹爪3101连接的夹爪驱动气缸3104，夹爪驱动气缸3104的缸体与夹爪底板3100固定连接，夹爪驱动气缸3104的活动端与夹爪3101连接，通过控制夹爪驱动气缸3104的伸缩实现两个夹爪3101分别左右移动，以夹持和松开晶棒。

进一步地，夹爪底板3100的内侧面还设置有滑块连接座，通过滑块连接座与回转框架311上的夹爪模块滑轨3111连接，以实现夹爪3101模块在回转框架311的上的往复运动。

本实用新型实施例在各个夹爪模块的基本结构相同的基础上，对适应夹持不同的晶棒对夹爪模块用于夹持晶棒的夹爪3101做出了适应性调节。对于夹持圆棒的圆棒夹爪模块，其前端夹爪3101为V形结构，以增大与晶棒侧面的接触面积。对于夹持方棒的夹爪3101，其前端夹爪3101为平面结构，以增大与晶棒侧面的接触面积。此外各个夹爪3101的表面均设置有软质垫块以进一步增大与晶棒的摩擦力，实现晶棒的稳定可靠夹持。

进一步地，对于第一晶棒夹爪组件312由于其具有两个夹爪模块，需要通过调节两个夹爪模块之间的距离适应夹持不同长度的晶棒，并可以同时调节两个夹爪模块的位置，以实现晶棒的整体运动，因此本实用新型实施例上夹爪模块3121与第一升降驱动组件313固定连接，以在第一升降驱动组件313的驱动下往复运动，下夹爪模块3122与第一升降驱动组件313离合连接，下夹爪模块3122与第一升降驱动组件313固定连接时，下夹爪模块3122可在第一升降驱动组件313的驱动下往复运动，下夹爪模块3122与第一升降驱动组件313脱离连接时，下夹爪模块3122可维持在回转框架311上的预设位置。其中下夹爪模块3122的预设位置具体为下夹爪模块3122的下限位置。

参照图5-图9，本实用新型实施例的第一升降驱动组件313具体包括回转链条3131和回转链条驱动组件3132，上夹爪模块3121与回转链条3131通过固定连接座3134固定连接，下夹爪模块3122与回转链条3131离合连接，回转链条驱动组件3132通过驱动回转链条3131转动，以实现上夹爪模块3121和下夹爪模块3122往复运动。本实用新型实施例的回转链条3131为环状链条，回转链条3131两端可设置有一个传动链轮3133，通过驱动至少一个传动链轮3133转动，以实现回转链条3131的转动。

进一步地，上夹爪模块3121通过固定连接座3134与回转链条3131固定连接，下夹爪模块3122通过链条离合装置3135与回转链条3131离合连接，链条离合装置3135包括链条固定座31351和链条离合座31352，下夹爪模块3122与链条离合座31352固定连接，链条离合座31352上活动设置有锁紧滑块31353，锁紧滑块31353与链条固定座31351之间形成中间空隙，回转链条3131从中间空隙内穿过，锁紧滑块31353可相对链条固定座31351前后移动，其中锁紧滑块31353通过锁紧滑块驱动气缸31354实现前后移动，当锁紧滑块驱动气缸31354推动锁紧滑块31353向前移动时，锁紧滑块31353前端的齿状结构与回转链条3131啮合，与回转链条3131呈相互锁紧的状态，便可以随着回转链条3131的转动实现往复运动。当锁紧滑块驱动气缸31354带动锁紧滑块31353后移时，锁紧滑块31353前端的齿状结构脱离回转链条3131，实现与回转链条3131的分离，此时下夹爪模块3122维持在下夹爪模块3122的下限位置。

在本实用新型的具体实施例中，第一晶棒夹爪组件312用于夹持待加工的晶棒，更具体地可以为圆棒，通过单独调节上夹爪模块3121调节上夹爪模块3121与下夹爪模块3122之间的距离以适应不同长度的晶棒。通过同时驱动上夹爪模块3121和下夹爪模块3122一起运动实现晶棒的整体升降。本实用新型实施例提供的第一升降驱动组件313相比于具有同类功能的升降驱动组件控制更加简单，结构也更加简洁，更加有利于整体控制的稳定性。

进一步地，本实用新型实施例的第一升降驱动组件313还包括链条涨紧装置3136，链条涨紧装置3136可调节回转链条3131的延伸长度，以对回转链条3131进行涨紧或放松调节。

具体地，涨紧装置包括涨紧框架，涨紧框架上设置有涨紧轴31365，涨紧轴31365可在涨紧框架上移动，涨紧轴31365上设置有传动链轮3133，也即回转链条3131对应的一个传动链轮3133，回转链条3131绕设在传动链轮3133上，通过调节涨紧轴31365在涨紧框架上的位置，以调节回转链条3131的延伸长度。

进一步地，涨紧框架包括下座板31361和上顶板31363，以及连接在下座板31361和上顶板31363之间的涨紧板31362，涨紧板31362上设置有长孔，供涨紧轴31365穿过，涨紧轴31365与上顶板31363通过螺栓调节组件31364连接，螺栓调节组件31364可调节涨紧轴31365与上顶板31363的相对位置，以调节涨紧轴31365在涨紧框架上的位置。其中螺栓调节组件31364具体为带头螺杆和与带头螺杆配合的两个锁紧螺母，带头螺杆的头部与涨紧轴31365固定连接，带头螺杆的另一端带有螺纹，并穿过上顶板31363上的螺杆孔，两个锁紧螺母分别位于上顶板31363的两侧，通过调节两个锁紧螺母在带头螺杆上的位置，调节涨紧轴31365与上顶板31363的相对位置，以最终实现回转链条3131的涨紧与松开。当回转链条3131松弛需要涨紧时，松开带头螺杆上下两侧的锁紧螺母，将带头螺杆向靠近下座板31361的方向调整合适的距离后再将两锁紧螺母锁紧，从而涨紧链条。

本实用新型的一个具体实施例中，回转链条3131通过传动链轮3133设置于回转框架311的上下两端，其中一个传动链轮3133与链条涨紧装置连接，涨紧装置的下座板与回转框架311的一个端面固定连接，另一个传动链轮3133与回转链条驱动组件3132以驱动回转链条3131的整体旋转，回转链条驱动组件3132与回转框架311的另一个端面固定连接。

进一步地，回转链条驱动组件3132包括转动驱动组件，转动驱动组件的转轴端固定连接有主动链轮31323，主动链轮31323通过传动链条31325与第一从动链轮31324连接，回转链条3131绕设在传动链轮3133上，第一从动链轮31324与传动链轮3133通过链轮轴承31327连接，链轮轴承31327固定在回转框架311上，以限定传动链轮3133的位置。

进一步地，转动驱动组件包括链轮伺服电机31321和减速机31322，链轮伺服电机31323与链轮减速机31322连接，链轮减速机31322的转轴端固定连接有主动链轮31323，主动链轮31323通过传动链条31325与第一从动链轮31324连接，第一从动链轮31324与一个传动链轮3133通过链轮轴承31327连接。其中链轮伺服电机31321与链轮减速机31322通过电机支架31326与回转框架311固定连接。本申请通过设置传动链轮3133连接主动链轮31323和第一从动链轮31324，可以改变调节主动链轮31323与传动链轮3133的位置关系，以充分利用回转框架311的内部空间。本申请的链轮轴承31327为带座轴承，带座轴承与回转框架311的端面固定连接，以为回转链条3131提供稳定的支撑。

进一步地，本实用新型实施例的第二晶棒夹爪组件314包括对称设置的两个夹爪3101，夹爪3101底端设置有托台3141，以从晶棒底部端面托起晶棒，夹爪3101的夹持表面与晶棒的形状相适配，且夹持表面设置有软质垫块，以增大与晶棒的接触面积和摩擦力。

在本实用新型的一个具体实施例中，第二晶棒夹爪组件314用于夹持方棒，因此夹爪3101的夹持表面为平面结构，增加了晶棒夹持的摩擦力。而且由于方棒的底部端面为方形，在夹爪3101的底端设置托台3141可以托住方棒的两侧，对方棒进行稳定的夹持。此外，由于第二晶棒夹爪组件3141与方棒的接触面积更大，且底部设置的托台3141，所以申请的第二晶棒夹爪组件314只设置一个夹爪模块便可以满足夹持需求，简化了回转夹持单元31的整体结构，提高了回转夹持单元31的稳定性。

参照图16、图17，第二晶棒夹爪组件314的夹爪驱动、与回转框架311的连接、以及晶棒探测等结构与上夹爪模块3121和下夹爪模块3122基本相同，即通过夹爪底板3100与回转框架311滑动连接，夹爪底板3100的内侧面设置有夹爪驱动组件，夹爪驱动组件驱动两个夹爪3101沿夹爪底板3100滑动，以实现晶棒的夹紧与松开，夹爪底板3100上活动设置有同步反向运动齿轮3102，两个夹爪3101分别通过齿条3103与夹爪3101同步反向运动齿轮3102连接，以使两个夹爪3101的运动行程相同。在两个夹爪3101中间还设置有晶棒探针3105，用于在夹爪3101夹住硅棒上料时对硅棒进行晶线检测。夹爪底板3100的内侧面设置有夹爪驱动组件，用于驱动两个夹爪3101的左右移动。夹爪驱动组件包括分别于两个夹爪3101连接的的夹爪驱动气缸3104，夹爪驱动气缸3104的缸体与夹爪底板3100固定连接，夹爪驱动气缸3104的活动端与夹爪3101连接，通过控制夹爪驱动气缸3104的伸缩实现两个夹爪3101分别左右移动，以夹持和松开晶棒。夹爪底板3100的内侧面还设置有滑块连接座，通过滑块连接座与回转框架311上的的夹爪模块滑轨3111连接，以实现夹爪模块在回转框架311的上的往复移动。

进一步地，第二升降驱动组件315包括升降驱动电机3151，升降驱动电机3151上转动连接有升降丝杠3152，第二晶棒夹爪组件314上固定连接有丝杠螺母座，丝杠螺母座与升降丝杠3152连接，通过升降驱动电机3151驱动升降丝杠3152旋转，以实现第二晶棒夹爪组件314的往复运动。

由于本实用新型实施例中第二晶棒夹爪组件314只包含一个夹爪3101模块，无需分别控制夹爪3101模块，因此为了简化结构，本实用新型的一个优选实施例为第二晶棒夹爪组件314通过丝杠控制，在升降驱动电机3151工作时，驱动升降丝杠3152转动，丝杠螺母座在升降丝杠3152上往复运动，并带动着第二晶棒夹爪组件314实现往复运动。

此外，本实用新型实施例中还需要控制上夹爪模块3121、下夹爪模块3122以及第二晶棒夹爪组件314的下限位置。第一晶棒夹爪组件312和/或第二晶棒夹爪组件314上设置有限位撞块3107，回转框架311上分别设置有与各个限位撞块对应的限位块3112，限位撞块3107与限位块3112抵接以限定第一晶棒夹爪组件312和/或第二晶棒夹爪组件314的下限位置。

具体地，具有两个夹爪模块的第一晶棒夹爪组件312，回转框架311上设置有下夹爪限位块31121，下夹爪模块上设置有下夹爪限位撞块31071，下夹爪限位块31121与下夹爪限位撞块31071对应设置，以限定下夹爪下限位置，并在下夹爪模块3122与升降驱动组件313脱离连接关系时，将下夹爪模块3122维持在下夹爪下限位置。回转框架311上设置有上夹爪限位块31122，上夹爪模块3121上设置有上夹爪限位撞块31072，上夹爪限位块31122与上夹爪限位撞块对应设置，以限定上夹爪下限位置。

本实用新型提供的晶棒转运装置具有以下优点：

1、在回转框架311上设置第一晶棒夹爪组件312和第二晶棒夹爪组件314以夹持不同形状的晶棒，并通过旋转控制实现第一晶棒夹爪组件312或第二晶棒夹爪组件314处于晶棒取放工位上，以实现一次上下料行程中同时完成上料和下料，减小上下料时间节拍。

2、通过将第一晶棒夹爪组件312的第一升降驱动组件313和第二晶棒夹爪组件314的第二升降驱动组件315，以及旋转驱动组件同时内设到回转框架311内部，充分利用回转框架311内部空间的同时，使回转框架311结构紧凑、体积小，使设备运行更加稳定。

以上借助具体实施例对本实用新型做了进一步描述，但是应该理解的是，这里具体的描述，不应理解为对本实用新型的实质和范围的限定，本领域内的普通技术人员在阅读本说明书后对上述实施例做出的各种修改，都属于本实用新型所保护的范围。在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型实施例对各种可能的组合方式不再另行说明。

若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后......)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

Claims (14)

1.一种晶棒转运装置，其特征在于，包括回转夹持单元和转运平移单元，

回转夹持单元包括回转框架，回转框架的一个侧面上设置有第一晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第一升降驱动组件，第一升降驱动组件与第一晶棒夹爪组件连接，以驱动第一晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；

回转框架的另一侧面上设置有第二晶棒夹爪组件，回转框架内部固定设置有第二升降驱动组件，第二升降驱动组件与第二晶棒夹爪组件连接，以驱动第二晶棒夹爪组件在回转框架上往复运动；

回转框架内部固定设置有回转驱动单元，回转驱动单元与转运平移单元转动连接，可驱动回转框架在转运平移单元上旋转，以使第一晶棒夹爪组件或第二晶棒夹爪组件处于晶棒取放工位上。

2.根据权利要求1所述的晶棒转运装置，其特征在于，第一晶棒夹爪组件包括上夹爪模块和下夹爪模块，上夹爪模块和下夹爪模块均包括对称设置的两个夹爪，夹爪的夹持表面与晶棒的形状相适配。

3.根据权利要求1所述的晶棒转运装置，其特征在于，第二晶棒夹爪组件包括对称设置的两个夹爪，夹爪底端设置有托台，以从晶棒底部端面托起晶棒，夹爪的夹持表面与晶棒的形状相适配。

4.根据权利要求2或3所述的晶棒转运装置，其特征在于，回转框架上滑动设置有夹爪底板，夹爪设置在夹爪底板的外侧面上，夹爪底板的内侧面设置有夹爪驱动组件，夹爪驱动组件驱动两个夹爪沿夹爪底板滑动，以实现晶棒的夹紧与松开，夹爪底板上活动设置有同步反向运动齿轮，两个夹爪分别通过齿条与夹爪同步反向运动齿轮连接，以使两个夹爪的运动行程相同。

5.根据权利要求2所述的晶棒转运装置，其特征在于，上夹爪模块与第一升降驱动组件固定连接，以在第一升降驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与第一升降驱动组件离合连接，下夹爪模块与第一升降驱动组件固定连接时，下夹爪模块可在第一升级驱动组件的驱动下往复运动，下夹爪模块与第一升降驱动组件脱离连接时，下夹爪模块可维持在回转框架上的预设位置。

6.根据权利要求5所述的晶棒转运装置，其特征在于，第一升降驱动组件包括回转链条和回转链条驱动组件，上夹爪模块与回转链条固定连接，下夹爪模块与回转链条离合连接，回转链条驱动组件通过驱动回转链条转动，以实现上夹爪模块和下夹爪模块往复运动。

7.根据权利要求6所述的晶棒转运装置，其特征在于，下夹爪模块通过链条离合装置与回转链条离合连接，链条离合装置包括链条固定座和链条离合座，下夹爪模块与链条离合座固定连接，链条离合座上活动设置有锁紧滑块，锁紧滑块与链条固定座之间形成中间空隙，回转链条从中间空隙内穿过，锁紧滑块可相对链条固定座前后移动，以实现与回转链条的锁紧与分离。

8.根据权利要求6所述的晶棒转运装置，其特征在于，第一升降驱动组件还包括链条涨紧装置，链条涨紧装置包括涨紧框架，涨紧框架上设置有涨紧轴，涨紧轴可在涨紧框架上移动，涨紧轴上设置有传动链轮，回转链条绕设在传动链轮上，通过调节涨紧轴在涨紧框架上的位置，可调节回转链条的延伸长度，以对回转链条进行涨紧或放松调节。

9.根据权利要求1所述的晶棒转运装置，其特征在于，第二升降驱动组件包括升降驱动电机，升降驱动电机上转动连接有升降丝杠，第二晶棒夹爪组件上固定连接有丝杠螺母座，丝杠螺母座与升降丝杠连接，通过升降驱动电机驱动升降丝杠旋转，以实现第二晶棒夹爪组件的往复运动。

10.根据权利要求1或5或9所述的晶棒转运装置，其特征在于，第一晶棒夹爪组件和/或第二晶棒夹爪组件上设置有限位撞块，回转框架上分别设置有与各个限位撞块对应的限位块，限位撞块与限位块抵接以限第一晶棒夹爪组件和/或第二晶棒夹爪组件的下限位置。

11.根据权利要求1所述的晶棒转运装置，其特征在于，转运平移单元包括转运平移底座和滑动连接在转运平移底座上的回转底座，回转驱动单元可转动连接在回转底座上，回转底座可在转运平移底座上沿第一水平方向移动。

12.根据权利要求11所述的晶棒转运装置，其特征在于，晶棒转运装置还包括沿第二水平方向延伸设置的平移导轨，转运平移底座的一端与平移导轨可滑动连接，以实现回转夹持单元随转运平移底座沿第二水平方向的移动。

13.一种晶棒加工系统，其特征在于，包括权利要求1-12中任一项所述的晶棒转运装置。

14.根据权利要求13所述的晶棒加工系统，其特征在于，晶棒加工系统包括旋转载料台和多个晶棒加工工位，晶棒转运装置设置于旋转载料台和晶棒加工工位之间，以将旋转载料台上的待加工晶棒运送至晶棒加工工位，或将晶棒加工工位上的加工后晶棒运送至旋转载料台。