CN220762675U - 一种晶圆机械臂用承载机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种晶圆机械臂用承载机构，其提高移动时的稳定性，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，提高适用性，能够对晶圆保护，防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损；包括C型承载框和连接头，C型承载框的左侧壁上安装有连接头，连接头上设置有键槽，与机械臂连接；还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在C型承载框的前后两端，所述防护机构包括多个阻尼杆、多个缓冲弹簧和两个防护板，转动机构安装在C型承载框的内壁，所述转动机构包括伺服电机、转框和转座，夹持机构安装在转动机构上，所述夹持机构包括多个小型电动伸缩杆和两个夹板，夹持机构上安装有缓冲组件。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工的技术领域，特别是涉及一种晶圆机械臂用承载机构。
背景技术
随着经济的发展、社会的进步，人们对精密电子仪器的需求日益增长，集成电路的发展尤为迅速，晶圆作为集成电路的一种基础材料，在现代生产中的作用也越来越重要，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。晶圆在制造加工过程中，需要通过机械手臂进行位置的更改，因此机械手臂上需要晶圆承载装置。经检索，现有技术公开号CN212587473U提出的一种新型半导体生产用机械手臂上的晶圆承载装置，包括：载台本体，所述载台本体整体呈矩形结构设置且内部设有孔槽，所述孔槽呈圆柱形结构设置且孔槽的上端内径大于下端内径，所述载台本体的表面设有平台且平台的侧面设有挡块。本实用新型晶圆于平面的方式坐落在平台上，并与挡块之间相互接触，挡块与平台之间呈110度斜坡，可以把晶圆的位置固定在载台本体上，孔槽和挡块之间形成与晶圆半径一样的圆弧，并与晶圆之间相互贴合，在高速运动的过程中，因为圆弧半径和晶圆半径一样，同时边上有倾斜的挡块，可以把晶圆固定在载台本体上，避免产生相对运动和摩擦，也就不会产生颗粒，从而提高制程的质量。但是在运输过程中机械臂大多通过控制翻转角度来实现晶圆的翻转，的可靠性难以很好的保证，如果碰撞，则容易导致晶圆脱落，造成晶圆碎片、刮伤等问题，并且移动不同规格的晶圆时稳定性较差，适用性较差。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种提高移动时的稳定性，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，提高适用性，能够对晶圆保护，防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损的晶圆机械臂用承载机构。
本实用新型的一种晶圆机械臂用承载机构，包括C型承载框和连接头，C型承载框的左侧壁上安装有连接头，连接头上设置有键槽，与机械臂连接；还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在C型承载框的前后两端，转动机构安装在C型承载框的内壁，夹持机构安装在转动机构上，夹持机构上安装有缓冲组件；通过防护机构能够对C型承载框的前后两端进行防护，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，通过转动机构能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性，夹持机构能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性，缓冲组件能够对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象。
优选的，防护机构包括多个阻尼杆、多个缓冲弹簧和两个防护板，C型承载框的前后两端侧壁上均匀排列开设有多个安装槽，多个阻尼杆分别固定安装在安装槽内，阻尼杆的另一端固定安装有防护板，缓冲弹簧套装在阻尼杆的外壁上，缓冲弹簧的一端与安装槽连接，缓冲弹簧的一端与防护板的侧壁连接；通过防护板能够对C型承载框的前后两端进行防护，发生碰撞时，阻尼杆和缓冲弹簧对撞击力进行缓冲吸收，防止震动过大导致晶圆脱落。
优选的，还包括防护板的左端设置为圆弧状；防护板左端设置为圆弧状，能够对C型承载框的两角进行防护，增大防护面积，提高实用性。
优选的，转动机构包括伺服电机、转框和转座，伺服电机固定安装在C型承载框的内部后端，伺服电机的输出端与转框后端固定连接，转框的前端通过转座转动安装在C型承载框的内壁前端；使用时通过伺服电机带动转框在转座上转动，能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性。
优选的，夹持机构包括多个小型电动伸缩杆和两个夹板，多个小型电动伸缩杆分别均匀排列安装在转框的前后两端，小型电动伸缩杆相对的一端分别固定安装有夹板；通过多个小型电动伸缩杆带动两个夹板相互靠近，对晶圆进行夹持，能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性。
优选的，缓冲组件包括多个伸缩杆、两个载板和多个弹簧，两个夹板相对的一端开设有缓冲槽，多个伸缩杆均匀排列安装在缓冲槽内，伸缩杆的一端固定安装有载板，弹簧套装在伸缩杆的外壁上，弹簧的一端与缓冲槽内壁连接，弹簧的另一端与载板的外壁连接；夹板相互靠近时，带动两个载板相互靠近，载板与晶圆接触时压缩伸缩杆和弹簧，对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象。
优选的，还包括载板相对的一端开设有多个相对设置的定位槽；通过定位槽可以把晶圆固定在两个载板之间，使晶圆和载板之间不会产生相对运动，晶圆和载板之间不会产生摩擦，从而提高产品的质量。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为：通过防护机构能够对C型承载框的前后两端进行防护，避免发生碰撞，导致晶圆脱落，通过转动机构能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性，夹持机构能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性，缓冲组件能够对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是本实用新型的立体结构示意图；
图3是本实用新型的上视结构示意图；
图4是本实用新型的前视剖面结构示意图；
图5是本实用新型的右视剖面结构示意图；
附图中标记：1、C型承载框；2、连接头；3、阻尼杆；4、缓冲弹簧；5、防护板；6、伺服电机；7、转框；8、转座；9、小型电动伸缩杆；10、夹板；11、伸缩杆；12、载板；13、弹簧；14、定位槽。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
如图1至图5所示，所述C型承载框1的左侧壁上安装有连接头2，连接头2上设置有键槽，与机械臂连接，C型承载框1的前后两端侧壁上均匀排列开设有多个安装槽，多个阻尼杆3分别固定安装在安装槽内，阻尼杆3的另一端固定安装有防护板5，防护板5的左端设置为圆弧状，缓冲弹簧4套装在阻尼杆3的外壁上，缓冲弹簧4的一端与安装槽连接，缓冲弹簧4的一端与防护板5的侧壁连接，伺服电机6固定安装在C型承载框1的内部后端，伺服电机6的输出端与转框7后端固定连接，转框7的前端通过转座8转动安装在C型承载框1的内壁前端，多个小型电动伸缩杆9分别均匀排列安装在转框7的前后两端，小型电动伸缩杆9相对的一端分别固定安装有夹板10，两个夹板10相对的一端开设有缓冲槽，多个伸缩杆11均匀排列安装在缓冲槽内，伸缩杆11的一端固定安装有载板12，弹簧13套装在伸缩杆11的外壁上，弹簧13的一端与缓冲槽内壁连接，弹簧13的另一端与载板12的外壁连接，载板12相对的一端开设有多个相对设置的定位槽14；
通过防护板5能够对C型承载框1的前后两端进行防护，发生碰撞时，阻尼杆3和缓冲弹簧4对撞击力进行缓冲吸收，防止震动过大导致晶圆脱落，防护板5左端设置为圆弧状，能够对C型承载框1的两角进行防护，增大防护面积，提高实用性，使用时通过伺服电机6带动转框7在转座8上转动，能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，提高实用性，通过多个小型电动伸缩杆9带动两个夹板10相互靠近，对晶圆进行夹持，能够对不同规格的晶圆进行夹持移动，提高移动时的稳定性，提高适用性，夹板10相互靠近时，带动两个载板12相互靠近，载板12与晶圆接触时压缩伸缩杆11和弹簧13，对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，可以防止夹持臂对晶圆外缘造成磨损现象，通过定位槽14可以把晶圆固定在两个载板12之间，使晶圆和载板12之间不会产生相对运动，晶圆和载板12之间不会产生摩擦，从而提高产品的质量。
如图1至图5所示，本实用新型的一种晶圆机械臂用承载机构，其在工作时，通过连接头2将C型承载框1与机械臂连接，通过防护板5能够对C型承载框1的前后两端进行防护，发生碰撞时，阻尼杆3和缓冲弹簧4对撞击力进行缓冲吸收，防止震动过大导致晶圆脱落，通过伺服电机6带动转框7在转座8上转动，能够增大翻转角度来实现晶圆的翻转，通过多个小型电动伸缩杆9带动两个夹板10相互靠近，对晶圆进行夹持，夹板10相互靠近时，带动两个载板12相互靠近，载板12与晶圆接触时压缩伸缩杆11和弹簧13，对晶圆水平方向上的作用力进行缓冲，也能够实现对晶圆的保护，通过定位槽14可以把晶圆固定在两个载板12之间，使晶圆和载板12之间不会产生相对运动，晶圆和载板12之间不会产生摩擦。
本实用新型的一种晶圆机械臂用承载机构的伺服电机6和转座8为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可，而无需本领域的技术人员付出创造性劳动。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.一种晶圆机械臂用承载机构，包括C型承载框(1)和连接头(2)，C型承载框(1)的左侧壁上安装有连接头(2)，连接头(2)上设置有键槽，与机械臂连接；其特征在于，还包括防护机构、转动机构、夹持机构和缓冲组件，防护机构安装在C型承载框(1)的前后两端，转动机构安装在C型承载框(1)的内壁，夹持机构安装在转动机构上，夹持机构上安装有缓冲组件。
2.如权利要求1所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，防护机构包括多个阻尼杆(3)、多个缓冲弹簧(4)和两个防护板(5)，C型承载框(1)的前后两端侧壁上均匀排列开设有多个安装槽，多个阻尼杆(3)分别固定安装在安装槽内，阻尼杆(3)的另一端固定安装有防护板(5)，缓冲弹簧(4)套装在阻尼杆(3)的外壁上，缓冲弹簧(4)的一端与安装槽连接，缓冲弹簧(4)的一端与防护板(5)的侧壁连接。
3.如权利要求2所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，还包括防护板(5)的左端设置为圆弧状。
4.如权利要求1所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，转动机构包括伺服电机(6)、转框(7)和转座(8)，伺服电机(6)固定安装在C型承载框(1)的内部后端，伺服电机(6)的输出端与转框(7)后端固定连接，转框(7)的前端通过转座(8)转动安装在C型承载框(1)的内壁前端。
5.如权利要求4所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，夹持机构包括多个小型电动伸缩杆(9)和两个夹板(10)，多个小型电动伸缩杆(9)分别均匀排列安装在转框(7)的前后两端，小型电动伸缩杆(9)相对的一端分别固定安装有夹板(10)。
6.如权利要求5所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，缓冲组件包括多个伸缩杆(11)、两个载板(12)和多个弹簧(13)，两个夹板(10)相对的一端开设有缓冲槽，多个伸缩杆(11)均匀排列安装在缓冲槽内，伸缩杆(11)的一端固定安装有载板(12)，弹簧(13)套装在伸缩杆(11)的外壁上，弹簧(13)的一端与缓冲槽内壁连接，弹簧(13)的另一端与载板(12)的外壁连接。
7.如权利要求6所述的一种晶圆机械臂用承载机构，其特征在于，还包括载板(12)相对的一端开设有多个相对设置的定位槽(14)。
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