CN220760368U - 一种柜式80l腔体侧装微波源的微波等离子清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于微波等离子清洗机技术领域，提供了一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，包括柜体，所述柜体内安装有工作腔体，还包括：腔体门、真空泵系统、抽真空系统、载气管路和微波系统；所述腔体门设置在工作腔体上，所述腔体门用于打开或闭合工作腔体；所述微波系统包括冷却风机、风冷磁控管、导风管、冷却排风管、微波发生器、可拆卸法拉第网，所述微波发生器设置在工作腔体的右侧面，其内侧放置方形玻璃与工作腔体连接。本申请满足批量生产需求，用于材料表面小分子有机物干法清洗、材料表面活化、表面改性、表面材料去氧化、刻蚀、去胶、沉积等处理，具有高效和无损伤的特点。

Description

一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机

技术领域

本实用新型属于微波等离子清洗机技术领域，尤其涉及一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机。

背景技术

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质和其物理作用来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

现有微波等离子清洗机以国外品牌设备为主，国产化设备技术匮乏，并且因波导设计缺乏反馈和依据，在工作腔体中不能产生均匀稳定的等离子体。其他频率的等离子，比如40KHz，13.56MHz的等离子，工艺温度较高，物理溅射明显，损伤大，不能进行光学或者薄膜产品清洗。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，旨在解决现有装置使用时工艺温度较高，物理溅射明显，损伤大，不能进行光学或者薄膜产品清洗的问题。

本实用新型是这样实现的，一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，包括柜体，所述柜体内安装有工作腔体，还包括：腔体门、真空泵系统、抽真空系统、冷却系统、载气管路和微波系统；

所述腔体门设置在工作腔体上，所述腔体门用于打开或闭合工作腔体；

所述冷却系统包括冷却风机、风冷磁控管、导风管和冷却排风管，所述冷却风机连接风机连接管，所述风机连接管连接风冷磁控管，所述风冷磁控管连接导风管，所述导风管连接冷却排风管；

所述微波系统包括微波发生器和可拆卸法拉第网，所述风冷磁控管连接有波导天线，所述波导天线套入微波发生器内，所述风冷磁控管采用螺丝固定到微波发生器上，所述微波发生器设置在工作腔体的右侧面，其内侧放置方形玻璃与工作腔体连接，采用微波屏蔽条和真空密封圈防止微波泄漏与隔绝大气，所述可拆卸法拉第网在方形玻璃内侧与工作腔体连接；

所述载气管路包括工艺管路接头、气体质量流量计和电磁阀，所述工艺管路接头设置在柜体的后侧，所述工艺管路接头配管连接过滤器，所述过滤器配管通过电磁阀与气体质量流量计连接，所述气体质量流量计通过另一电磁阀配管连接工作腔体并连接弥散管；

所述抽真空系统包括真空管路接头、气动挡板阀和真空规，所述真空管路接头安装在柜体的背面，所述真空管路接头配管连接三通接头a，所述三通接头a的一端口配管连接气动挡板阀，所述三通接头a另一端口配管连接三通接头b，所述三通接头b余下两端分别配管连接电磁阀a与电磁阀b，所述电磁阀b配管连接三通接头c，所述三通接头c一端口配管连接真空规且另一端口配管通过电磁阀接入工作腔体，所述气动挡板阀配管连接三通接头d，所述三通接头d余下两端配管接入工作腔体构成真空管路系统;

所述真空泵系统包括真空泵油雾过滤器和真空泵，所述真空泵油雾过滤器设置在真空泵上方，所述真空泵配管连接真空管路接头，所述真空管路接头通过抽真空系统配管连接工作腔体，所述真空泵连接有真空泵电源接头，所述真空泵电源接头安装在柜体的背面，真空泵电源接头连接真空泵电源线实现真空泵运行控制；

所述柜体的上层设置有网口端口、触摸屏、总电源转换开关和急停旋转按钮。

进一步的技术方案，所述柜体的底部四角处设置有脚滑轮。

进一步的技术方案，所述腔体门包括观察窗、门板转轴和门锁把手，所述腔体门通过门板转轴转动连接到工作腔体上，所述门锁把手设置在门板上，所述门锁把手用于打开或闭合腔体门。

进一步的技术方案，所述观察窗包括门板、观察窗压盖和圆形玻璃，所述门板设置有阶梯式凹槽，且阶梯式凹槽内置微波屏蔽条和真空密封圈，圆形玻璃在门板阶阶梯式凹槽内，所述观察窗压盖在圆形玻璃外。

进一步的技术方案，所述柜体的顶部安装有排风扇和三色警报灯。

本实用新型实施例提供的一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，满足批量生产需求，用于材料表面小分子有机物干法清洗、材料表面活化、表面改性、表面材料去氧化、刻蚀、去胶、沉积等处理，具有高效和无损伤的特点。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的图1的主视结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的图1的左侧结构示意图。

附图中：工作腔体1、微波发生器2、工艺管路接头3、真空管路接头4、真空泵电源接头5、冷却风机6、风冷磁控管7、电磁阀8、真空规9、导风管10、冷却排风管11、排风扇12、网口端口13、触摸屏14、门板15、观察窗压盖16、门板转轴17、真空泵油雾过滤器18、真空泵19、脚滑轮20、柜体21、门锁把手22、总电源转换开关23、急停旋转按钮24、三色警报灯25。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。

如图1-图3所示，为本实用新型一个实施例提供的一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，包括柜体21，所述柜体21内安装有工作腔体1，还包括：腔体门、真空泵系统、抽真空系统、冷却系统、载气管路和微波系统；

所述腔体门设置在工作腔体1上，所述腔体门用于打开或闭合工作腔体1；

所述冷却系统包括冷却风机6、风冷磁控管7、导风管10和冷却排风管11，所述冷却风机6连接风机连接管，所述风机连接管连接风冷磁控管7，所述风冷磁控管7连接导风管10，所述导风管10连接冷却排风管11；

所述微波系统包括微波发生器2和可拆卸法拉第网，所述风冷磁控管7连接有波导天线，所述波导天线套入微波发生器2内，所述风冷磁控管7采用螺丝固定到微波发生器2上，所述微波发生器2设置在工作腔体1的侧面，所述微波发生器2内侧放置方形玻璃与工作腔体1连接，采用微波屏蔽条和真空密封圈防止微波泄漏与隔绝大气，所述可拆卸法拉第网在方形玻璃内侧与工作腔体1连接，其中安装法拉第网可用于屏蔽等离子体物理溅射，拆卸法拉第网清洗效果更佳；

所述载气管路包括工艺管路接头3、气体质量流量计和电磁阀8，所述工艺管路接头3设置在柜体21的背面，所述工艺管路接头3配管连接过滤器，所述过滤器配管通过电磁阀与气体质量流量计连接，所述气体质量流量计通过另一电磁阀8配管连接工作腔体1并连接弥散管；

所述抽真空系统包括真空管路接头4、气动挡板阀和真空规9，所述真空管路接头4安装在柜体21的背面，所述真空管路接头4配管连接三通接头a，所述三通接头a的一端口配管连接气动挡板阀，所述三通接头a另一端口配管连接三通接头b，所述三通接头b余下两端分别配管连接电磁阀a与电磁阀b，所述电磁阀b配管连接三通接头c，所述三通接头c一端口配管连接真空规9且另一端口配管通过电磁阀8接入工作腔体，所述气动挡板阀配管连接三通接头d，所述三通接头d余下两端配管接入工作腔体1构成真空管路系统;

所述真空泵系统包括真空泵油雾过滤器18和真空泵19，所述真空泵油雾过滤器18设置在真空泵19上方，所述真空泵19配管连接真空管路接头4，所述真空管路接头4通过抽真空系统连接工作腔体1，连接所述真空泵19连接有真空泵电源接头5，所述真空泵电源接头5安装在柜体21的背面，真空泵电源接头5连接真空泵电源线实现真空泵19运行控制；

所述柜体21的上层设置有网口端口13、触摸屏14、总电源转换开关23和急停旋转按钮24。

在本实用新型实施例中，步进电机连接减速机，随后连接联轴器，在随后连接磁封链接器连接到工作腔体1内侧托盘构成可旋转型载物台系统；在处理样品时，先将由真空泵油雾过滤器18、真空泵19构成的真空泵系统连接到由真空管路接头4配管接连接气动挡板阀、真空规9和电磁阀构成的抽真空系统，将真空泵系统电源接头连接真空泵电源接头5，在将样品放置到工作腔体1内载物台上，关闭由门板15、观察窗压盖16、门锁把手22、门板转轴17、构成的腔体门，打开总电源转换开关23启动设备，通过触摸屏14调节运行程序，启动抽真空系统对工作腔体1抽真空，通过由工艺管路接头3、质量流量计、电磁阀8和弥散管构成的载气管路充入气体，启动由微波发生器2、冷却风机6、导风管10、风冷磁控管7、冷却排风管11构成的微波系统产生微波，形成等离子体对样品进行处理，其中冷却风机6、导风管10、冷却排风管11对风冷磁控管7进行降温保护，在程序运行中三色警报灯25处于亮灯状态，当设备运行异常时按急停旋转按钮24设备程序运行停止。

如图3所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述柜体21的底部四角处设置有脚滑轮20，可以固定或移动整机。

如图1所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述腔体门包括观察窗、门板转轴17和门锁把手22，所述观察窗通过门板转轴17转动与工作腔体1连接，所述门锁把手22设置在工作腔体1上，所述门锁把手22用于打开或闭合腔体门，所述观察窗包括门板15、观察窗压盖16和圆形玻璃，所述门板15设置有阶梯式凹槽，且阶梯式凹槽内置微波屏蔽条和真空密封圈，圆形玻璃在门板15阶阶梯式凹槽内，所述观察窗压盖16在圆形玻璃外。

如图1所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述柜体21的顶部安装有排风扇12和三色警报灯25，实现机体散热和运行警报功能。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，包括柜体，所述柜体内安装有工作腔体，其特征在于，还包括：腔体门、真空泵系统、抽真空系统、冷却系统、载气管路和微波系统；

所述腔体门设置在工作腔体上，所述腔体门用于打开或闭合工作腔体；

所述冷却系统包括冷却风机、风冷磁控管、导风管和冷却排风管，所述冷却风机连接风机连接管，所述风机连接管连接风冷磁控管，所述风冷磁控管连接导风管，所述导风管连接冷却排风管；

所述微波系统包括微波发生器和可拆卸法拉第网，所述风冷磁控管连接有波导天线，所述波导天线套入微波发生器内，所述风冷磁控管采用螺丝固定到微波发生器上，所述微波发生器设置在工作腔体的右侧面，其内侧放置方形玻璃与工作腔体连接，采用微波屏蔽条和真空密封圈防止微波泄漏与隔绝大气，所述可拆卸法拉第网在方形玻璃内侧与工作腔体连接；

所述载气管路包括工艺管路接头、气体质量流量计和电磁阀，所述工艺管路接头设置在柜体的背面，所述工艺管路接头配管连接过滤器，所述过滤器配管通过电磁阀与气体质量流量计连接，所述气体质量流量计通过另一电磁阀配管连接工作腔体并连接弥散管；

所述抽真空系统包括真空管路接头、气动挡板阀和真空规，所述真空管路接头安装在柜体的后侧，所述真空管路接头配管连接三通接头a，所述三通接头a的一端口配管连接气动挡板阀，所述三通接头a另一端口配管连接三通接头b，所述三通接头b余下两端口分别配管连接电磁阀a与电磁阀b，所述电磁阀b配管连接三通接头c，所述三通接头c一端口配管连接真空规，另一端口通过电磁阀接入工作腔体，所述气动挡板阀配管连接三通接头d，所述三通接头d余下两端配管接入工作腔体构成真空管路系统；

所述真空泵系统包括真空泵油雾过滤器和真空泵，所述真空泵油雾过滤器设置在真空泵上方，所述真空泵配管连接真空管路接头，所述真空管路接头通过抽真空系统连接工作腔体，连接所述真空泵连接有真空泵电源接头，所述真空泵电源接头安装在柜体的后侧，真空泵电源接头连接真空泵电源线实现真空泵运行控制；

所述柜体的上层设置有网口端口、触摸屏、总电源转换开关和急停旋转按钮。

2.根据权利要求1所述的柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，其特征在于，所述柜体的底部四角处设置有脚滑轮。

3.根据权利要求1所述的柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，其特征在于，所述腔体门包括观察窗、门板转轴和门锁把手，所述腔体门通过门板转轴转动与工作腔体连接，所述门锁把手设置在腔体门上，所述门锁把手用于打开或闭合腔体门。

4.根据权利要求3所述的柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，其特征在于，所述观察窗包括门板、观察窗压盖和圆形玻璃，所述门板上设置有阶梯式凹槽，且阶梯式凹槽内置微波屏蔽条和真空密封圈，圆形玻璃在门板阶阶梯式凹槽内，所述观察窗压盖在圆形玻璃外。

5.根据权利要求1所述的柜式80L腔体侧装微波源的微波等离子清洗机，其特征在于，所述柜体的顶部安装有排风扇和三色警报灯。