CN220741084U - 气浮移动载台装置 - Google Patents

Abstract

一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元。所述平台单元包括顶面及两个安装面。所述基座单元包括主座体及两个侧滑座，每一个侧滑座具有侧浮面及第一导气道组。所述滑台单元具有顶座及两个侧座，每一个侧座具有底侧面、内侧面、第二导气道组及第三导气道组，对所述第一导气道组、所述第二导气道组及所述第三导气道组供气，能使所述平台单元与所述基座单元之间，以及所述滑台单元与所述平台单元、所述基座单元之间产生气膜。整体配合能达到精密移动及加工目的。

Description

气浮移动载台装置

技术领域

本实用新型涉及一种移动载台设备，特别是涉及一种气浮移动载台装置。

背景技术

现有一种气浮移动载台结构(中国台湾证书号M476019专利案)，包含座体、限位件、横向浮移件及载台。该载台能滑动的设于该横向浮移件，该横向浮移件受该限位件所牵制，于该载台及该横向浮移件分别设有数个气孔，以及连接于所述气孔使其相互贯通的数个气道，当于所述气道导入气压，能借由气压使该载台浮起，并移动于该横向浮移件，且使该横向浮移件移动于该限位件间，从而使该载台构成X轴及Y轴的移动，以供于该载台放置待加工物或待检测物，而利于待加工物或待检测物的精密作业。

上述的整体配置，该横向浮移件相对于该座体移动必须设置该限位件，才能达到限位，限位设计会增加成本。

另外，中国台湾证书号M475329专利案披露的气浮移动载台结构也有类似的问题。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能解决现有缺失的气浮移动载台装置。

本实用新型的气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元，所述平台单元包括顶面，以及两个与所述顶面相交连接的安装面，所述基座单元包括沿横轴向延伸且能滑动的设置于所述顶面的主座体，以及两个连接于所述主座体且能滑动的设置于所述安装面的侧滑座，所述主座体具有与所述顶面相对的底端面、相反于所述底端面的顶端面、两个相交连接于所述底端面与所述顶端面的侧端面，以及两个分别对应于所述安装面的端部，每一个侧滑座具有与所述安装面相对的侧浮面，以及连通所述侧浮面的第一导气道组，当对所述第一导气道组供气，能使所述侧浮面与所述安装面之间产生气膜，所述滑台单元能滑动的套设于所述基座单元，并具有设置于所述主座体上方的顶座，以及两个连接于所述顶座的侧座，每一个侧座具有相对于所述顶面的底侧面、相交连接于所述底侧面的内侧面、连通所述底侧面的第二导气道组，以及连通所述内侧面的第三导气道组，当对所述第二导气道组供气，能使所述底侧面与所述顶面之间产生气膜，当对所述第三导气道组供气，能使所述内侧面与所述侧端面之间产生气膜，所述第一驱动单元设置于所述平台单元与所述基座单元，且能驱动所述基座单元与所述滑台单元相对于所述平台单元沿垂直于所述横轴向的长轴向产生线性移动，所述第二驱动单元设置于所述基座单元与所述滑台单元，且能驱动所述能滑台单元相对于所述基座单元沿所述横轴向产生线性移动。

本实用新型所述的气浮移动载台装置，所述基座单元的每一个侧滑座还具有一对相交于所述侧浮面的侧表面，每一个第一导气道组具有至少两个分别由所述侧表面凹设的第一入气孔，以及至少两个分别由所述侧浮面凹设且连通至所对应的第一入气孔的第一出气孔，所述第一出气孔的出口端相邻于所述安装面。

本实用新型所述的气浮移动载台装置，所述滑台单元的侧座还分别具有相反于所述内侧面的外侧面，每一个第二导气道组具有沿所述横轴向延伸的连通孔、至少一个分别由所述外侧面连通至所述连通孔的第二入气孔，以及数个分别由所述底侧面连通至所述连通孔的第二出气孔，所述第二出气孔的出口端相邻于所述顶面。

本实用新型所述的气浮移动载台装置，所述滑台单元的每一个第三导气道组具有沿所述横轴向延伸且平行于所述连通孔的导气孔、由所述外侧面凹设且连通至所述导气孔的第三入气孔，以及数个分别由所述内侧面凹设且连通至所述导气孔的第三出气孔，所述第三出气孔的出口端相邻于所述侧端面。

本实用新型所述的气浮移动载台装置，所述第一驱动单元采用轴棒式线性马达，并具有一对安装于所述平台单元的安装面的第一磁铁圆柱轴，以及一对安装于所述基座单元的侧滑座且能滑动的分别套设于所述第一磁铁圆柱轴外部的第一线圈座。

本实用新型所述的气浮移动载台装置，所述第二驱动单元采用轴棒式线性马达，并具有安装于所述基座单元的第二磁铁圆柱轴，以及安装于所述滑台单元且能滑动的套设于所述第二磁铁圆柱轴外部的第二线圈座。

本实用新型的有益效果在于：利用所述第一导气道组、所述第二导气道组与所述第三导气道组的设置，使得所述基座单元能滑动的设置于所述平台单元，以及所述滑台单元能滑动的设置于所述基座单元，且利用所述平台单元的安装面提供所述基座单元的限位牵制，能减少限位设计、降低成本。

附图说明

图1是本实用新型气浮移动载台装置一个实施例的立体组合图；

图2是该实施例的一个滑台单元的立体分解示意图；

图3是该实施例的一个侧滑座的立体示意图；

图4是该实施例的前视平面图；

图5是该实施例的侧视平面图；

图6是沿图4中的直线Ⅵ-Ⅵ所取的剖视图；

图7是沿图4中的直线Ⅶ-Ⅶ所取的剖视图；

图8是沿图4中的直线Ⅷ-Ⅷ所取的剖视图；

图9是沿图7中的直线Ⅸ-Ⅸ所取的剖视图；

图10是沿图8中的直线Ⅹ-Ⅹ所取的剖视图。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1，本实用新型气浮移动载台装置的一实施例，包含一个平台单元10、一个基座单元20、一个滑台单元30、一个第一驱动单元40及一个第二驱动单元50。

该平台单元10包括一个顶面11，以及两个与该顶面11相交连接的安装面12。

该基座单元20包括沿一个横轴向Y延伸且能滑动的设置于该顶面11的一个主座体21，以及两个连接于该主座体21且能滑动的设置于该安装面12的侧滑座22。配合参图4、图5、图7及图8，该主座体21具有一个与该顶面11相对的底端面211、一个相反于该底端面211的顶端面212、两个相交连接于该底端面211与该顶端面212的侧端面213，以及两个分别对应于所述安装面12的端部214。进一步配合参考图3，每一个侧滑座22具有一个与该安装面12相对的侧浮面221、一对相交于该侧浮面221的侧表面222，以及一个连通该侧浮面221与该侧表面222的第一导气道组223。参图6，每一个第一导气道组223具有两个分别由所述侧表面222凹设的第一入气孔224、两个分别由该侧浮面221凹设且连通至所对应的第一入气孔224的第一出气孔225，以及两个分别安装于所述第一出气孔225的第一节气阀226，所述第一出气孔225的出口端相邻于该安装面12。

进一步配合图2，该滑台单元30能滑动的套设于该基座单元20，并具有一个设置于该主座体21上方的顶座31，以及两个连接于该顶座31的侧座32。每一个侧座32具有一个相对于顶面11的底侧面321、一个相交连接于该底侧面321的内侧面322、一个相反于该内侧面322的外侧面323、一个连通该底侧面321与该外侧面323的第二导气道组324，以及一个连通外侧面323与该内侧面322的第三导气道组325。参图8及图10，每一个第二导气道组324具有一个沿该横轴向Y延伸的连通孔326、一个由该外侧面323连通至该连通孔326的第二入气孔327，以及数个分别由所述底侧面321连通至该连通孔326的第二出气孔328，以及数个分别安装于所述第二出气孔328的第二节气阀331，所述第二出气孔328的出口端相邻于该顶面11，所述第二出气孔328沿一个垂直于该横轴向Y的纵轴向Z延伸。参图7及图9，每一个第三导气道组325具有一个沿该横轴向Y延伸且平行于该连通孔326的导气孔325’、一个由该外侧面323凹设且连通至该导气孔325’的第三入气孔329、数个分别由所述内侧面322凹设且连通至该导气孔325’的第三出气孔320，以及数个分别安装于所述第三出气孔320的第三节气阀332，所述第三出气孔320的出口端相邻于该侧端面213。所述第三出气孔320沿一个垂直于所述横轴向Y的长轴向X延伸。

配合参图5，该第一驱动单元40设置于该平台单元10与该基座单元20，且能驱动该基座单元20与该滑台单元30相对于该平台单元10沿该长轴向X产生线性移动。本实施例的第一驱动单元40采用轴棒式线性马达，并具有一对安装于该平台单元10的安装面12的第一磁铁圆柱轴41，以及一对安装于该基座单元20的侧滑座22且能滑动的分别套设于所述第一磁铁圆柱轴41外部的第一线圈座42。

该第二驱动单元50设置于该基座单元20与该滑台单元30，且能驱动该滑台单元30相对于该基座单元20沿该横轴向Y产生线性移动。本实施例的第二驱动单元50采用轴棒式线性马达，并具有一个安装于该基座单元20的其中一个侧端面213的第二磁铁圆柱轴51，以及一个安装于该滑台单元30且能滑动的套设于该第二磁铁圆柱轴51外部的第二线圈座52。

为供进一步了解本实用新型各组件配合所产生的作用、运用技术手段，以及所预期达成的功效，将再说明如下，相信当能由此而对本实用新型有更深入且具体的了解。

如图1、图4至图10所示，当整体组配完成时，该滑台单元30套设于该基座单元20的主座体21外部，且该基座单元20也设置于该平台单元10的顶面11上方。

当启动所述第一驱动单元40时，所述第一线圈座42通入电流，利用电流与磁场的相互作用，能驱动该基座单元20与该滑台单元30相对于该平台单元10沿该长轴向X产生线性移动。且通过该基座单元20的主座体21与所述侧滑座22构成倒U型的结构，且套设于该平台单元10上，利用该平台单元10的安装面12提供该基座单元20的限位牵制作用，能减少限位设计、降低成本。同时，将高压空气导入所述第一导气道组223，并分别通过所述第一节气阀226在该侧浮面221与该安装面12之间产生气膜。

当启动该第二驱动单元50时，所述第二线圈座52通入电流，利用电流与磁场的相互作用，能驱动该滑台单元30相对于该基座单元20且沿该横轴向Y产生线性移动。同时，将高压空气导入所述第二导气道组324与所述第三导气道组325，并分别通过所述第二节气阀331，在该底侧面321与该顶面11之间产生气膜。也通过所述第三节气阀332，在该内侧面322与该侧端面213之间产生气膜。且在该滑台单元30与该平台单元10之间、在该滑台单元30与该主座体21之间产生气浮作用，且提供该滑台单元30相对于该平台单元10、该滑台单元30相对于该基座单元20产生顺畅滑动。

因此，本实用新型的气浮移动载台装置，利用该基座单元20套设于该平台单元10上，能减少限位设计、降低成本。且在该滑台单元30与该平台单元10之间、在该滑台单元30与该基座单元20之间可以产生气膜，相对滑动面之间的摩擦小，且不会有沾黏现象，因此移动过程非常平顺。

值得一提的是，本实用新型还具有下列功效:

一、该基座单元20与该滑台单元30采用铝合金材质制成，可减少重量及降低成本。

二、针对小尺寸移动载台设计，长、宽只在1米以内。

综上所述，本实用新型的气浮移动载台装置，整体结构简单、移动运作顺畅，确实能达成本实用新型的目的。

Claims (6)

1.一种气浮移动载台装置，包含平台单元、基座单元、滑台单元、第一驱动单元及第二驱动单元，其特征在于：

所述平台单元，包括顶面，以及两个与所述顶面相交连接的安装面；

所述基座单元，包括沿横轴向延伸且能滑动的设置于所述顶面的主座体，以及两个连接于所述主座体且能滑动的设置于所述安装面的侧滑座，所述主座体具有与所述顶面相对的底端面、相反于所述底端面的顶端面、两个相交连接于所述底端面与所述顶端面的侧端面，以及两个分别对应于所述安装面的端部，每一个侧滑座具有与所述安装面相对的侧浮面，以及连通所述侧浮面的第一导气道组，当对所述第一导气道组供气，能使所述侧浮面与所述安装面之间产生气膜；

所述滑台单元，能滑动的套设于所述基座单元，并具有设置于所述主座体上方的顶座，以及两个连接于所述顶座的侧座，每一个侧座具有相对于所述顶面的底侧面、相交连接于所述底侧面的内侧面、连通所述底侧面的第二导气道组，以及连通所述内侧面的第三导气道组，当对所述第二导气道组供气，能使所述底侧面与所述顶面之间产生气膜，当对所述第三导气道组供气，能使所述内侧面与所述侧端面之间产生气膜；

所述第一驱动单元，设置于所述平台单元与所述基座单元，且能驱动所述基座单元与所述滑台单元相对于所述平台单元沿垂直于所述横轴向的长轴向产生线性移动；

所述第二驱动单元，设置于所述基座单元与所述滑台单元，且能驱动所述滑台单元相对于所述基座单元沿所述横轴向产生线性移动。

2.根据权利要求1所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述基座单元的每一个侧滑座还具有一对相交于所述侧浮面的侧表面，每一个第一导气道组具有至少两个分别由所述侧表面凹设的第一入气孔，以及至少两个分别由所述侧浮面凹设且连通至所对应的第一入气孔的第一出气孔，所述第一出气孔的出口端相邻于所述安装面。

3.根据权利要求2所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述滑台单元的所述侧座还分别具有相反于所述内侧面的外侧面，每一个第二导气道组具有沿所述横轴向延伸的连通孔、至少一个分别由所述外侧面连通至所述连通孔的第二入气孔，以及数个分别由所述底侧面连通至所述连通孔的第二出气孔，所述第二出气孔的出口端相邻于所述顶面。

4.根据权利要求3所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述滑台单元的每一个第三导气道组具有沿所述横轴向延伸且平行于所述连通孔的导气孔、由所述外侧面凹设且连通至所述导气孔的第三入气孔，以及数个分别由所述内侧面凹设且连通至所述导气孔的第三出气孔，所述第三出气孔的出口端相邻于所述侧端面。

5.根据权利要求1所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述第一驱动单元采用轴棒式线性马达，并具有一对安装于所述平台单元的安装面的第一磁铁圆柱轴，以及一对安装于所述基座单元的侧滑座且能滑动的分别套设于所述第一磁铁圆柱轴外部的第一线圈座。

6.根据权利要求1所述的气浮移动载台装置，其特征在于：所述第二驱动单元采用轴棒式线性马达，并具有安装于所述基座单元的第二磁铁圆柱轴，以及安装于所述滑台单元且能滑动的套设于所述第二磁铁圆柱轴外部的第二线圈座。