TWM651109U - 氣浮移動載台裝置 - Google Patents

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林文忠
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東佑達奈米系統股份有限公司
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Abstract

一種氣浮移動載台裝置,包含一平台單元、一基座單元、一滑軌單元、一滑台單元、一第一驅動單元及一第二驅動單元。該基座單元具有一底端面、一頂端面及二側端面,該滑軌單元包括一對導軌及至少一對滑塊,該滑台單元具有一底座、一頂座及二側座,該底座具有一底側面及一第一導氣道組。對該第一導氣道組供氣,可使該底側面與該平台單元的一頂面之間產生氣膜。該第一驅動單元可驅動該基座單元相對於該平台單元產生線性移動,該第二驅動單元可驅動該滑台單元相對於該基座單元產生線性移動。整體配合可達到精密移動及加工目的。

Description

氣浮移動載台裝置
本新型是有關於一種移動載台設備 ,特別是指一種氣浮移動載台裝置。
現有一種氣浮移動載台結構(中華民國證書號M476019專利案),包含一座體、一限位件、一橫向浮移件及一載台。該載台可滑動地設於該橫向浮移件,該橫向浮移件受該限位件所牽制,於該載台及該橫向浮移件分別設有複數之氣孔,以及連接於該等氣孔使其相互貫通之複數氣道,當該等氣道導入氣壓,可藉由氣壓使載台浮起,並移動於該橫向浮移件,且使該橫向浮移件移動於該限位件間,從而使該載台構成X軸及Y軸之移動,以供於該載台放置待加工物或待檢測物,而利於待加工物或待檢測物之精密作業。
上述的整體配置,該橫向浮移件相對於該座體移動必須設置該限位件,才能達到限位,限位設計會增加成本。
另外,中華民國證書號M475329專利案也有類似的問題。
因此,本新型的目的,即在提供一種可解決現有缺失的氣浮移動載台裝置。
於是,本新型的氣浮移動載台裝置,包含一平台單元、一基座單元、一滑軌單元、一滑台單元、一第一驅動單元及一第二驅動單元。該平台單元包括一頂面。該基座單元沿一橫軸向延伸且可滑動地設置於該平台單元,並具有一與該頂面相對且呈間隔設置的底端面、一相反於該底端面的頂端面,以及二相交連接於該底端面與該頂端面的側端面。該滑軌單元包括一對安裝於該頂面且沿一垂直於該橫軸向的長軸向延伸的導軌,以及至少一對安裝於該基座單元的底端面且分別可滑動地嵌套於所對應的導軌的滑塊。該滑台單元可滑動地套設於該基座單元,並具有一介於該基座單元與該平台單元之間的底座、一設置於該基座單元上方的頂座,以及二連接於該底座與該頂座之間的側座,該底座具有一相對於該頂面的底側面,以及一連通該底側面的第一導氣道組,對該第一導氣道組供氣,可使該底側面與該頂面之間產生氣膜。該第一驅動單元設置於該平台單元與該基座單元,且可驅動該基座單元與該滑台單元相對於該平台單元沿該長軸向產生線性移動。該第二驅動單元設置於該基座單元與該滑台單元,且可驅動該滑台單元相對於該基座單元沿該橫軸向產生線性移動。
本新型的功效在於:利用該滑軌單元的設置,提供該基座單元可滑動地設置於該平台單元上,該滑軌單元兼具導滑、限位等作用,可減少限位設計、降低成本。
參閱圖1,本新型氣浮移動載台裝置的一實施例,包含一平台單元10、一基座單元20、一滑軌單元30、一滑台單元40、一第一驅動單元50及一第二驅動單元60。
該平台單元10包括一頂面11,以及二與該頂面11相交連接的安裝面12。
配合參圖2至圖4,該基座單元20沿一橫軸向Y延伸且可滑動地設置於該平台單元10,並具有一與該頂面11相對且呈間隔設置的底端面21、一相反於該底端面21的頂端面22、二相交連接於該底端面21與該頂端面22的側端面23、二分別對應於該等安裝面12的端部24,以及二分別固接於該等端部24且位於該等安裝面12外側的固定側板25。
該滑軌單元30包括一對安裝於該頂面11且沿一垂直於該橫軸向Y的長軸向X延伸的導軌31,以及兩對分別安裝於該基座單元20的底端面21且分別可滑動地嵌套於所對應的導軌31的滑塊32。該等導軌31分別鄰近於該等安裝面12。
配合參圖2至圖5,該滑台單元40可滑動地套設於該基座單元20,並具有一介於該基座單元20與該平台單元10之間的底座41、一設置於該基座單元20上方的頂座42,以及二連接於該底座41與該頂座42之間的側座43。該底座41具有一相對於該頂面11的底側面411、一對相交於該底側面411的側表面412,以及二分別由該等側表面412連通至該底側面411的第一導氣道組413。配合圖參5及圖6,該第一導氣道組413具有二沿該橫軸向Y延伸的第一連通孔414、多數分別由該等側表面412連通至該等第一連通孔414的第一入氣孔415、多數分別由該等底側面411連通至該等第一連通孔414的第一出氣孔416,以及多數分別安裝於該等第一出氣孔416的第一節氣閥417。該等第一出氣孔416的出口端相鄰於該頂面11。
該等側座43分別具有一相對於該等側端面23的內側面431、一相反於該內側面431的外側面432,以及一由該外側面432連通至該內側面431的第二導氣道組433。配合參圖4,每一第二導氣道組433具有多數沿垂直於該橫軸向Y與該長軸向X的縱軸向Z延伸的第二連通孔434、多數分別由該等外側面432連通至該等第二連通孔434的第二入氣孔435、多數分別由該等內側面431連通至該等第二連通孔434的第二出氣孔436,以及多數分別安裝於該等第二出氣孔436的第二節氣閥437。該等第二出氣孔436的出口端相鄰於該側端面23。
該第一驅動單元50設置於該平台單元10與該基座單元20,且可驅動該基座單元20與該滑台單元40相對於該平台單元10沿該長軸向X產生線性移動。本實施例的第一驅動單元50採用軸棒式線性馬達,並具有一對安裝於該平台單元10的安裝面12的第一磁鐵圓柱軸51,以及一對安裝於該基座單元20的固定側板25且可滑動地分別套設於該等第一磁鐵圓柱軸51外部的第一線圈座52。
該第二驅動單元60設置於該基座單元20與該滑台單元40,且可驅動該滑台單元40相對於該基座單元20沿該橫軸向Y產生線性移動。本實施例的第二驅動單元60採用軸棒式線性馬達,並具有一安裝於該基座單元20其中一側端面23的第二磁鐵圓柱軸61,以及一安裝於該滑台單元40且可滑動地套設於該第二磁鐵圓柱軸61外部的第二線圈座62。
為供進一步瞭解本新型各元件配合所產生的作用、運用技術手段,以及所預期達成的功效,將再說明如下,相信當可由此而對本新型有更深入且具體的瞭解。
如圖1、圖3至圖6所示,當整體組配完成時,該滑台單元40套設於該基座單元20外部,且該基座單元20也跨設於該平台單元10的頂面11上方。
當啟動該等第一驅動單元50時,該等第一線圈座52通入電流,利用電流與磁場的相互作用,可驅動該基座單元20相對於該平台單元10且沿該長軸向X產生線性移動。且透過該滑軌單元30的設置,該滑軌單元30兼具導滑、限位等作用,並保持該滑軌單元30行走的直線度,可減少限位設計、降低成本。
當啟動該第二驅動單元60時,該等第二線圈座62通入電流,利用電流與磁場的相互作用,可驅動該滑台單元40相對於該基座單元20且沿該橫軸向Y產生線性移動。同時,將高壓空氣導入於該等第一導氣道組413,並分別透過該等第一節氣閥417,在該底側面411與該頂面11之間產生氣膜。也將高壓空氣導入於該等第二導氣道組433,並分別透過該等第二節氣閥437,在該等側端面23與該等內側面431之間產生氣膜。且在該滑台單元40與該平台單元10之間、在該滑台單元40與該基座單元20之間產生氣浮作用,且提供該滑台單元40相對於該平台單元10、該滑台單元40相對於該基座單元20產生順暢滑動。
因此,本新型的氣浮移動載台裝置,利用該滑軌單元30的設置,可減少限位設計、降低成本。且在該滑台單元40與該平台單元10之間、在該滑台單元40與該基座單元20之間可以產生氣膜,相對滑動面之間的摩擦小,且不會有沾黏現象,因此移動過程非常平順。
值得一提的是,本新型還具有下列功效:
一、該基座單元20與該滑台單元40採用鋁合金材質製成,可減少重量及降低成本。
二、該滑台單元40的截面呈口字型,且該底座41的底側面411相對於該頂面11呈整面氣浮,可增加氣浮面的穩定性。
三、針對小尺寸移動載台設計,長、寬只在1公尺以內。
綜上所述,本新型的氣浮移動載台裝置,整體結構簡單、移動運作順暢,確實能達成本新型的目的。
惟以上所述者,僅為本新型的實施例而已,當不能以此限定本新型實施的範圍,凡是依本新型申請專利範圍及專利說明書內容所作的簡單的等效變化與修飾,皆仍屬本新型專利涵蓋的範圍內。
10:平台單元 11:頂面 12:安裝面 20:基座單元 21:底端面 22:頂端面 23:側端面 24:端部 25:固定側板 30:滑軌單元 31:導軌 32:滑塊 40:滑台單元 41:底座 411:底側面 412:側表面 413:第一導氣道組 414:第一連通孔 415:第一入氣孔 416:第一出氣孔 417:第一節氣閥 42:頂座 43:側座 431:內側面 432:外側面 433:第二導氣道組 434:第二連通孔 435:第二入氣孔 436:第二出氣孔 437:第二節氣閥 50:第一驅動單元 51:第一磁鐵圓柱軸 52:第一線圈座 60:第二驅動單元 61:第二磁鐵圓柱軸 62:第二線圈座 X:長軸向 Y:橫軸向 Z:縱軸向
本新型的其他的特徵及功效,將於參照圖式的實施方式中清楚地呈現,其中: 圖1是本新型氣浮移動載台裝置一實施例的一立體組合圖; 圖2是該實施例的一滑台單元的一立體分解示意圖; 圖3是該實施例的一前視平面圖; 圖4是沿圖3中之線Ⅳ-Ⅳ的一剖面圖; 圖5是沿圖3中之線Ⅴ-Ⅴ的一剖面圖;及 圖6是沿圖5中之線Ⅵ-Ⅵ的一剖面圖。
10:平台單元
11:頂面
12:安裝面
20:基座單元
21:底端面
22:頂端面
23:側端面
24:端部
25:固定側板
30:滑軌單元
31:導軌
32:滑塊
40:滑台單元
41:底座
42:頂座
43:側座
50:第一驅動單元
51:第一磁鐵圓柱軸
52:第一線圈座
60:第二驅動單元
61:第二磁鐵圓柱軸
62:第二線圈座
X:長軸向
Y:橫軸向
Z:縱軸向

Claims (6)

  1. 一種氣浮移動載台裝置,包含: 一平台單元,包括一頂面; 一基座單元,沿一橫軸向延伸且可滑動地設置於該平台單元,並具有一與該頂面相對且呈間隔設置的底端面、一相反於該底端面的頂端面,以及二相交連接於該底端面與該頂端面的側端面; 一滑軌單元,包括一對安裝於該頂面且沿一垂直於該橫軸向的長軸向延伸的導軌,以及至少一對安裝於該基座單元的底端面且分別可滑動地嵌套於所對應的導軌的滑塊; 一滑台單元,可滑動地套設於該基座單元,並具有一介於該基座單元與該平台單元之間的底座、一設置於該基座單元上方的頂座,以及二連接於該底座與該頂座之間的側座,該底座具有一相對於該頂面的底側面,以及一連通該底側面的第一導氣道組,對該第一導氣道組供氣,可使該底側面與該頂面之間產生氣膜; 一第一驅動單元,設置於該平台單元與該基座單元,且可驅動該基座單元與該滑台單元相對於該平台單元沿該長軸向產生線性移動;及 一第二驅動單元,設置於該基座單元與該滑台單元,且可驅動該滑台單元相對於該基座單元沿該橫軸向產生線性移動。
  2. 如請求項1所述的氣浮移動載台裝置,其中,該滑台單元的底座還具有一對相交於該底側面的側表面,該第一導氣道組具有至少二第一連通孔、至少二分別由該等側表面連通至該等第一連通孔的第一入氣孔,以及至少二分別由該等底側面連通至該等第一連通孔的第一出氣孔,該等第一出氣孔的出口端相鄰於該頂面。
  3. 如請求項2所述的氣浮移動載台裝置,其中,該滑台單元的該等側座分別具有一相對於該等側端面的內側面,以及一連通該內側面的第二導氣道組,對該第二導氣道組供氣,可使該側端面與該內側面之間產生氣膜。
  4. 如請求項3所述的氣浮移動載台裝置,其中,該滑台單元的該等側座還分別具有一相反於該內側面的外側面,每一第二導氣道組具有多數第二連通孔、至少一由該等外側面連通至該等第二連通孔的第二入氣孔,以及多數分別由該等內側面連通至該等第二連通孔的第二出氣孔,該等第二出氣孔的出口端相鄰於該等側端面。
  5. 如請求項1所述的氣浮移動載台裝置,其中,該第一驅動單元採用軸棒式線性馬達,並具有一對安裝於該平台單元的第一磁鐵圓柱軸,以及一對安裝於該基座單元且可滑動地分別套設於該等第一磁鐵圓柱軸外部的第一線圈座。
  6. 如請求項1所述的氣浮移動載台裝置,其中,該第二驅動單元採用軸棒式線性馬達,並具有一安裝於該基座單元的第二磁鐵圓柱軸,以及一安裝於該滑台單元且可滑動地套設於該第二磁鐵圓柱軸外部的第二線圈座。
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