JPH11166508A

JPH11166508A - ロッドレスシリンダ

Info

Publication number: JPH11166508A
Application number: JP9331452A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Suzuki; 智鈴木; Mitsuhiro Someya; 満広染谷; Shinichi Honma; 伸一本間; Katsumi Iijima; 勝己飯島
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1997-12-02
Filing date: 1997-12-02
Publication date: 1999-06-22
Also published as: US6205906B1

Abstract

(57)【要約】【課題】高精度に組み付ける必要がなく、組付誤差があ
る場合にも塵埃等が発生する懸念を払拭することが可能
なロッドレスシリンダを提供する。【解決手段】ガイドシャフト１６ａ、１６ｂがスライダ
１８に対して矢印Ｃ方向にずれている場合、ガイド用ス
クレーパ９６ａ、９６ｂが押圧されてガイド用スクレー
パホルダ９０ａ、９０ｂが凹部８６ａ、８６ｂを摺動し
て矢印Ｃ方向に変位する。このため、ガイドシャフト１
６ａ、１６ｂの軸芯とガイド用スクレーパ９６ａ、９６
ｂの軸芯とは常に一致しており、ガイド用スクレーパ９
６ａ、９６ｂはガイドシャフト１６ａ、１６ｂに対して
均一なグリップ力を保持することができ、ガイド用スク
レーパ９６ａ、９６ｂが局所的に摩耗することに起因す
る発塵を防止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ピストンの往復動
作に伴ってスライダを変位させ、ワーク等を搬送するロ
ッドレスシリンダに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、例えば、ワークを移送するた
めの手段としてロッドレスシリンダが用いられている。
このロッドレスシリンダは、例えば、特開平９−２７３
５０６号公報に開示されているように、円筒状のシリン
ダチューブの内部にピストンがその軸線方向に摺動可能
に挿通され、該ピストンの外周には前記シリンダチュー
ブの内壁に面して複数の駆動用磁石が設けられる。一
方、シリンダチューブの外部には該シリンダチューブを
囲繞してスライダが摺動可能に設けられ、該スライダの
内部には、前記駆動用磁石と対向し、シリンダチューブ
から僅かに離間するように被駆動用磁石が配設される。
そして、前記スライダは前記シリンダチューブと平行に
設けられたガイド部材によってガイドされる。

【０００３】このシリンダチューブに圧縮空気の如き圧
力流体が導入されると、ピストンは前記シリンダチュー
ブの内部をその軸線方向に変位する。このとき、被駆動
用磁石は駆動用磁石と磁気的に引斥し、スライダがピス
トンの変位に応じてシリンダチューブの外部を摺動す
る。

【０００４】このロッドレスシリンダは、シリンダチュ
ーブとスライダとが離間しているため、塵埃等の発生を
少なくすることができ、医療、食品関連用や、半導体製
造工程のクリーンルーム等における使用に適している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来のロッドレスシリンダでは、ガイド部材やスライダ
の組付寸法の誤差、ワークからの荷重等により、ガイド
部材とスライダとの間の摺動抵抗が増大し、発塵するこ
とがある。このため、ガイド部材、スライダを高精度に
組み付ける必要があり、製造コストが高騰するという問
題があった。また、例えば、ガイド部材に発生した塵埃
等がロッドレスシリンダの外部に流出してしまい、この
ロッドレスシリンダが使用される環境を汚染してしまう
懸念があった。

【０００６】本発明は前記の課題を解決すべくなされた
ものであって、高精度に組み付ける必要がなく、組付誤
差がある場合にも塵埃等が発生する懸念を払拭すること
が可能なロッドレスシリンダを提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、シリンダチューブと、前記シリンダチ
ューブの内部に配設され、該シリンダチューブの長手方
向に沿って摺動自在なピストンと、前記ピストンに配設
された駆動用磁石と、前記シリンダチューブの外周部に
近接配置されるスライダと、前記スライダに設けられ、
前記駆動用磁石に対向して配置される被駆動用磁石と、
前記シリンダチューブと平行に配設され、前記スライダ
をガイドするガイドシャフトと、前記スライダに配置さ
れ、前記ガイドシャフトに摺接するガイド用スクレーパ
と、前記スライダに対して前記ガイドシャフトの軸線と
直交する方向に変位自在に設けられ、前記ガイド用スク
レーパを支持するガイド用スクレーパホルダと、を備え
ることを特徴とする。

【０００８】本発明によれば、前記ガイドシャフトに発
生した塵埃等が前記ガイド用スクレーパによって除去さ
れるため、発塵を防止することができる。この場合、前
記ガイドシャフトと前記スライダとの間に位置ずれ等が
あっても、前記ガイド用スクレーパホルダが軸線と直交
する方向に変位することによりこのずれ等が吸収される
ため、ロッドレスシリンダを高精度に組み付ける必要が
なく、このロッドレスシリンダの製造コストを低廉化す
ることができる。

【０００９】この場合、前記ガイド用スクレーパホルダ
と前記スライダとの間に、前記ガイド用スクレーパを前
記スライダに対して変位自在とする間隙が形成される
と、ロッドレスシリンダの構成を簡単にすることがで
き、好適である。

【００１０】また、この場合、前記間隙に可撓性を有す
る材料で形成されたシール部材が設けられると、前記ガ
イド用スクレーパホルダと前記スライダとの間隙から塵
埃等がロッドレスシリンダの外部に飛散する懸念がな
く、一層好適である。

【００１１】また、前記スライダに配設され、前記シリ
ンダチューブに摺接するシリンダ用スクレーパと、前記
スライダに対して前記シリンダチューブの軸線と直交す
る方向に変位自在に設けられ、前記シリンダ用スクレー
パを支持するシリンダ用スクレーパホルダと、を備える
ことを特徴とする。

【００１２】このように構成されると、前記シリンダチ
ューブに発生した塵埃等がシリンダ用スクレーパによっ
て除去されるため、発塵を防止することができる。ま
た、前記シリンダチューブと前記スライダとの間に位置
ずれ等があっても、前記シリンダ用スクレーパホルダが
軸線と直交する方向に変位することによりこの位置ずれ
等が吸収されるため、ロッドレスシリンダを高精度に組
み付ける必要がなく、このロッドレスシリンダの製造コ
ストを低廉化することができる。

【００１３】この場合、前記シリンダ用スクレーパホル
ダと前記スライダとの間に、前記シリンダ用スクレーパ
を前記シリンダに対して変位自在とする間隙が形成され
ると、ロッドレスシリンダの構成を簡単にすることがで
き、好適である。

【００１４】また、この場合、前記シリンダ用スクレー
パホルダと前記スライダとの間隙に可撓性を有する材料
で形成されたシール部材が設けられると、前記間隙から
塵埃等がロッドレスシリンダの外部に飛散する懸念がな
く、一層好適である。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明に係るロッドレスシリンダ
について、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照
しながら以下詳細に説明する。

【００１６】図１において、参照符号１０は、本発明の
第１の実施の形態に係るロッドレスシリンダを示す。こ
のロッドレスシリンダ１０は、長方形状の板状部材１２
ａ、１２ｂを備え、板状部材１２ａ、１２ｂに円筒状の
シリンダチューブ１４とガイドシャフト１６ａ、１６ｂ
の両端部が固着される。シリンダチューブ１４、ガイド
シャフト１６ａ、１６ｂはそれぞれ平行に配置され、略
直方体状に形成されたスライダ１８に挿通する。スライ
ダ１８はシリンダチューブ１４、ガイドシャフト１６
ａ、１６ｂに沿って変位可能である。

【００１７】前記シリンダチューブ１４の内部には、図
２、図３に示すように、シリンダチューブ１４の軸線方
向に摺動自在なピストン２０が設けられる。ピストン２
０はその中心に軸線方向に沿って長尺な棒状の芯部材２
２を備え、芯部材２２の両端部には雄ねじ２４ａ、２４
ｂが形成される。前記芯部材２２の外周には、図４に示
すように、磁性体としての鉄等の材料で形成された複数
のリング部材２８が設けられ、それぞれのリング部材２
８の間にはリング部材２８と略同径の駆動用磁石３０が
挟持され、それぞれの駆動用磁石３０はリング部材２８
によって隔離されている。駆動用磁石３０は一方の面が
Ｎ極、他方の面がＳ極に形成されている。前記芯部材２
２の外周にはリング部材２８および駆動用磁石３０を挟
持して円筒部材３２ａ、３２ｂが嵌装され、ナット３３
ａ、３３ｂを雄ねじ２４ａ、２４ｂに螺入することによ
り円筒部材３２ａ、３２ｂ、リング部材２８および駆動
用磁石３０が一体的に組み付けられる。円筒部材３２
ａ、３２ｂの外周にはシリンダチューブ１４の内周に摺
動自在なブシュ３４ａ、３４ｂが設けられる。また、円
筒部材３２ａ、３２ｂの外周にはパッキン３６ａ、３６
ｂが設けられ、パッキン３６ａ、３６ｂによって、シリ
ンダチューブ１４に導入される圧力流体の漏洩が遮断さ
れる。従って、シリンダチューブ１４の内側はピストン
２０によって一端側の室４０ａと他端側の室４０ｂとに
分離される。

【００１８】一方の板状部材１２ａには、図２に示すよ
うに、前記室４０ａと連通する第１ポート４２が設けら
れ、第１ポート４２は図示しない電磁弁を介して図示し
ない圧縮空気供給源に連通する。他方の板状部材１２ｂ
の内側には前記室４０ｂに連通する通路４６が画成さ
れ、通路４６はさらに一方のガイドシャフト１６ａの内
部にその軸線方向に沿って画成された通路４８と連通す
る。通路４８の一方の板状部材１２ａ側の開口部には第
２ポート５０が設けられ、第２ポート５０は図示しない
電磁弁を介して図示しない圧縮空気供給源に連通する。

【００１９】スライダ１８にはシリンダチューブ１４が
挿通する孔部５４が画成される。スライダ１８の孔部５
４側の内壁部には、図４に示すように、スペーサ５６
ａ、５６ｂを介して円筒部材５８が挿入され、円筒部材
５８はねじ５９ａ、５９ｂによってスライダ１８の両端
部に設けられたエンドプレート６０ａ、６０ｂに締結さ
れる。円筒部材５８の内部には開口部近傍に雌ねじ６１
ａ、６１ｂが形成され、雌ねじ６１ａ、６１ｂには外周
に雄ねじが形成されたリング部材６２ａ、６２ｂが螺入
される。リング部材６２ａと６２ｂとの間にはリング状
のスペーサ６４ａ、６４ｂを介して鉄等の材料で形成さ
れたリング部材６６が複数設けられる。それぞれのリン
グ部材６６は複数の被駆動用磁石６８を挟持し、従っ
て、被駆動用磁石６８はリング部材６６によって互いに
隔離されている。被駆動用磁石６８とリング部材６６の
内壁面はシリンダチューブ１４の外周面から僅かに離間
して形成されている。被駆動用磁石６８は駆動用磁石３
０の極性と同一の間隔で、一方の面がＳ極、他方の面が
Ｎ極に形成されており、従って、被駆動用磁石６８と駆
動用磁石３０は互いに引斥し合うように構成される。

【００２０】被駆動用磁石６８、リング部材６６は、リ
ング部材６２ａ、６２ｂを円筒部材５８の雌ねじ６１
ａ、６１ｂに締め付けることによりリング部材６２ａ、
６２ｂに強固に挟持され、また、被駆動用磁石６８が設
けられる円筒部材５８はねじ５９ａ、５９ｂを締め付け
ることによりスライダ１８に強固に支持される。従っ
て、被駆動用磁石６８、リング部材６６にがたが発生す
る懸念が払拭される。

【００２１】前記スライダ１８にはガイドシャフト１６
ａ、１６ｂが挿通する孔部７２ａ、７２ｂが画成され
る。孔部７２ａ、７２ｂの開口部にはリング部材７４
ａ、７４ｂが設けられ、リング部材７４ａ、７４ｂはエ
ンドプレート６０ａ、６０ｂによって抜け止めされる。
リング部材７４ａと７４ｂとの間には多数のボール７６
で構成されるボールブシュ７８が設けられており、従っ
て、スライダ１８はボールブシュ７８によって前記ガイ
ドシャフト１６ａ、１６ｂに支持され、その軸線方向に
少ない摩擦で摺動可能である。前記リング部材７４ａ、
７４ｂの外周にはＯリング８０が設けられる。リング部
材７４ａ、７４ｂの内周には段部８２ａ、８２ｂが形成
され、段部８２ａ、８２ｂとエンドプレート６０ａ、６
０ｂの一方の壁面８４ａ、８４ｂにより凹部８６ａ、８
６ｂが形成される。凹部８６ａ、８６ｂにはリング状の
ガイド用スクレーパホルダ９０ａ、９０ｂが嵌合し、凹
部８６ａ、８６ｂの段部８２ａ、８２ｂとガイド用スク
レーパホルダ９０ａ、９０ｂの外壁との間には間隙９１
ａ、９１ｂが形成される。このため、ガイド用スクレー
パホルダ９０ａ、９０ｂはその軸線と直交する方向に変
位可能である。ガイド用スクレーパホルダ９０ａ、９０
ｂの外周には可撓性のＯリング（シール部材）９２が設
けられ、一方、ガイド用スクレーパホルダ９０ａ、９０
ｂの内周に形成された周回する溝部９４ａ、９４ｂには
ガイド用スクレーパ９６ａ、９６ｂが係合する。ガイド
用スクレーパ９６ａ、９６ｂはガイドシャフト１６ａ、
１６ｂの外周に摺動自在である。

【００２２】第１の実施の形態に係るロッドレスシリン
ダ１０は、基本的には以上のように構成されるものであ
り、次にその動作並びに作用効果について説明する。

【００２３】図示しない電磁弁を作動させ、第１ポート
４２に圧縮空気を導入し、第２ポート５０を大気圧開放
状態にすると、シリンダチューブ１４の室４０ａに第１
ポート４２から圧縮空気が導入され、該圧縮空気の圧力
により、ピストン２０は矢印Ａ方向に摺動する。このた
め、駆動用磁石３０が変位して被駆動用磁石６８を磁気
的に引斥し、スライダ１８がガイドシャフト１６ａ、１
６ｂを矢印Ａ方向に摺動する。このとき、被駆動用磁石
６８とシリンダチューブ１４の外周面との間には僅かに
間隙が空いており、非接触であるため、摺動抵抗、摩耗
がなく、塵埃等の発生の懸念がない。また、被駆動用磁
石６８はリング部材６２ａ、６２ｂによって強固に挟持
され、被駆動用磁石６８が設けられる円筒部材５８もス
ライダ１８に強固に支持されているため、被駆動用磁石
６８、リング部材６６のがたに起因して塵埃等が発生す
ることもない。さらに、スライダ１８はガイドシャフト
１６ａ、１６ｂにボールブシュ７８で支持されているた
め、摺動抵抗が小さく、塵埃等の発生は僅かである。さ
らにまた、発生した僅かな塵埃等はガイド用スクレーパ
９６ａ、９６ｂによって除去され、ロッドレスシリンダ
１０の外部にこの塵埃等が飛散する懸念がない。

【００２４】次に、図示しない電磁弁を作動させ、第１
ポート４２を大気開放状態にし、第２ポート５０に圧縮
空気を導入すると、室４０ｂに圧縮空気が導入され、ピ
ストン２０は矢印Ｂ方向に摺動する。このため、前記と
同様に、被駆動用磁石６８が駆動用磁石３０に引きつけ
られてスライダ１８が矢印Ｂ方向に変位する。

【００２５】ここで、このロッドレスシリンダ１０を組
み付ける際、組付誤差によりガイドシャフト１６ａ、１
６ｂがその軸線方向と直交する方向に僅かにずれたり傾
斜してしまう場合がある。すなわち、ガイドシャフト１
６ａ、１６ｂの軸芯とスライダ１８の孔部７２ａ、７２
ｂの軸芯とが一致しないことがある。また、ワークの荷
重等によりガイドシャフト１６ａ、１６ｂが撓曲する懸
念がある。この場合、例えば、ガイドシャフト１６ａ、
１６ｂがスライダ１８に対して、図４中、矢印Ｃ方向に
変位していると、ガイド用スクレーパ９６ａ、９６ｂは
ガイドシャフト１６ａ、１６ｂによって矢印Ｃ方向に押
圧される。このとき、Ｏリング９２が変形し、ガイド用
スクレーパホルダ９０ａ、９０ｂが凹部８６ａ、８６ｂ
を構成する壁面８４ａ、８４ｂを摺動して矢印Ｃ方向に
変位する。従って、ガイド用スクレーパ９６ａ、９６ｂ
の軸芯とガイドシャフト１６ａ、１６ｂの軸芯は常に一
致しており、ガイド用スクレーパ９６ａ、９６ｂはガイ
ドシャフト１６ａ、１６ｂに対して均一なグリップ力を
保持することができ、摺動抵抗が増加してスライダ１８
の変位作用に支障を来す懸念もない。また、ガイド用ス
クレーパ９６ａ、９６ｂの一部分に大きな力がかかるこ
とがないため、ガイド用スクレーパ９６ａ、９６ｂが局
所的に摩耗することがなく、ガイド用スクレーパ９６
ａ、９６ｂから発塵することが防止される。

【００２６】従って、ロッドレスシリンダ１０のガイド
シャフト１６ａ、１６ｂ、スライダ１８を高精度に組み
付ける必要がなく、ロッドレスシリンダ１０の製造コス
トを低廉化することが可能となる。

【００２７】次に、第２の実施の形態に係るロッドレス
シリンダ１００について、図５を参照して説明する。な
お、第１の実施の形態と同様の構成要素には同一の参照
符号を付してその詳細な説明を省略する。

【００２８】このロッドレスシリンダ１００のスライダ
１８にはシリンダチューブ１４が挿通する孔部１０２が
画成される。孔部１０２の開口部にはリング部材１０４
ａ、１０４ｂが設けられ、リング部材１０４ａ、１０４
ｂの外周にはＯリング１０６が設けられる。リング部材
１０４ａ、１０４ｂの内周には段部１０８ａ、１０８ｂ
が形成され、段部１０８ａ、１０８ｂとエンドプレート
６０ａ、６０ｂの一方の壁面８４ａ、８４ｂとにより凹
部１１０ａ、１１０ｂが形成される。凹部１１０ａ、１
１０ｂにはリング状のシリンダ用スクレーパホルダ１１
２ａ、１１２ｂが嵌合し、凹部１１０ａ、１１０ｂの段
部１０８ａ、１０８ｂとシリンダ用スクレーパホルダ１
１２ａ、１１２ｂとの間には間隙１１３ａ、１１３ｂが
設けられる。このため、シリンダ用スクレーパホルダ１
１２ａ、１１２ｂはその軸線と直交する方向に変位自在
である。シリンダ用スクレーパホルダ１１２ａ、１１２
ｂの両側面にはＯリング１１４が設けられ、一方、シリ
ンダ用スクレーパホルダ１１２ａ、１１２ｂの内周に形
成された周回する溝部１１６ａ、１１６ｂにはシリンダ
用スクレーパ１１８ａ、１１８ｂが係合する。シリンダ
用スクレーパ１１８ａ、１１８ｂはシリンダチューブ１
４の外周に摺動自在である。

【００２９】孔部１０２の内部にはリング部材１０４ａ
と１０４ｂとの間に円筒部材１２０が設けられ、円筒部
材１２０の内部には該円筒部材１２０の内周から若干離
間してスペーサ１２２ａ、１２２ｂが配設される。スペ
ーサ１２２ａ、１２２ｂはリング部材１０４ａ、１０４
ｂに対してその軸線と直交する方向に摺動自在であり、
その内周にはシリンダチューブ１４に対して摺動自在な
ブシュ１２３ａ、１２３ｂが設けられる。スペーサ１２
２ａと１２２ｂとの間には鉄等の材料で形成された複数
のリング部材１２４が配設される。それぞれのリング部
材１２４は複数の被駆動用磁石１２６を挟持し、従っ
て、それぞれの被駆動用磁石１２６はリング部材１２４
によって互いに隔離されている。被駆動用磁石１２６、
リング部材１２４の内周はブシュ１２３ａ、１２３ｂに
よってシリンダチューブ１４の外周から若干離間するよ
うに支持される。

【００３０】次に、第２の実施の形態に係るロッドレス
シリンダ１００の動作並びに作用効果について説明す
る。

【００３１】このロッドレスシリンダ１００では、第１
の実施の形態に係るロッドレスシリンダ１０と同様に、
一方の室４０ａに圧縮空気が導入されるとピストン２０
が矢印Ａ方向に変位し、被駆動用磁石１２６が駆動用磁
石３０に引きつけられることによりスライダ１８が矢印
Ａ方向に変位される。また、他方の室４０ｂに圧縮空気
が導入されると、スライダ１８は矢印Ｂ方向に変位す
る。

【００３２】このとき、被駆動用磁石１２６はブシュ１
２３ａ、１２３ｂに支持されているためにシリンダチュ
ーブ１４の外周との間隙はごく僅かで済み、駆動用磁石
３０によって引きつけられる力が強くなるが、ブシュ１
２３ａ、１２３ｂがシリンダチューブ１４に接触してい
るため、両者の間の摩擦により発塵することがある。ま
た、被駆動用磁石１２６、リング部材１２４等の組み付
けにがたがある場合、これらの部品間から発塵すること
がある。しかしながら、このようにシリンダチューブ１
４とブシュ１２３ａ、１２３ｂとが接触する構造であっ
ても、塵埃等はシリンダ用スクレーパ１１８ａ、１１８
ｂによって除去される。従って、このシリンダチューブ
１４とブシュ１２３ａ、１２３ｂとの摺動により発生し
た塵埃、あるいは、被駆動用磁石１２６、リング部材１
２４のがたに起因して発生した塵埃等がロッドレスシリ
ンダ１００の外部に流出することが阻止される。

【００３３】ロッドレスシリンダ１００を組み付ける際
の組付誤差によりシリンダチューブ１４の軸芯とスライ
ダ１８の孔部１０２の軸芯との間にずれがある場合や、
ワークの荷重等によってシリンダチューブ１４が撓曲し
ている場合、例えば、シリンダチューブ１４がスライダ
１８に対して、図５中、矢印Ｃ方向に変位していると、
シリンダ用スクレーパ１１８ａ、１１８ｂがシリンダチ
ューブ１４によって矢印Ｃ方向に押圧され、シリンダ用
スクレーパホルダ１１２ａ、１１２ｂが凹部１１０ａ、
１１０ｂを構成する段部１０８ａ、１０８ｂおよび壁面
８４ａ、８４ｂを摺動して矢印Ｃ方向に変位する。従っ
て、シリンダ用スクレーパ１１８ａ、１１８ｂの軸芯と
シリンダチューブ１４の軸芯とは常に一致しており、シ
リンダ用スクレーパ１１８ａ、１１８ｂはシリンダチュ
ーブ１４に対して均一なグリップ力を保持することがで
き、摺動抵抗が増加してスライダ１８の変位作用に支障
を来す懸念もない。また、シリンダ用スクレーパ１１８
ａ、１１８ｂが局所的に摩耗して発塵することも防止さ
れる。

【００３４】このとき、ブシュ１２３ａ、１２３ｂがシ
リンダチューブ１４によって矢印Ｃ方向に押圧される
と、スペーサ１２２ａ、１２２ｂがリング部材１０４
ａ、１０４ｂを摺動して矢印Ｃ方向に変位する。このた
め、被駆動用磁石１２６はシリンダチューブ１４の外周
と接触することがなく、被駆動用磁石１２６とシリンダ
チューブ１４との接触に起因する発塵が防止され、しか
も、ブシュ１２３ａ、１２３ｂによって被駆動用磁石１
２６とシリンダチューブ１４の外周との間隙をごく僅か
に保持することができる。

【００３５】従って、ロッドレスシリンダ１００のシリ
ンダチューブ１４を高精度に組み付ける必要がなく、ロ
ッドレスシリンダ１００の製造コストを低廉化すること
が可能となる。

【００３６】第２の実施の形態のロッドレスシリンダ１
００では、シリンダ用スクレーパホルダ１１２ａ、１１
２ｂの両側面にＯリング１１４を設けたが、シリンダ用
スクレーパホルダ１１２ａ、１１２ｂの外周に可撓性の
Ｏリングを設けてもよい。

【００３７】

【発明の効果】本発明に係るロッドレスシリンダによれ
ば、以下のような効果ならびに利点が得られる。

【００３８】ガイドロッド、シリンダチューブに組付誤
差が生じたり撓曲したような場合であっても、ガイド用
スクレーパ、シリンダ用スクレーパはそれぞれガイドロ
ッド、シリンダチューブに沿ってその軸線と直交する方
向に変位自在であるため、ロッドレスシリンダのガイド
ロッド、シリンダチューブとスライダとを高精度に組み
付ける必要がなく、ロッドレスシリンダの製造コストを
低廉化することができる。

【００３９】また、ガイド用スクレーパ、シリンダ用ス
クレーパによって塵埃等が除去されるため、ロッドレス
シリンダの外部に塵埃等が飛散する懸念がなく、このロ
ッドレスシリンダを、医療、食品関連用や、半導体製造
工程のクリーンルーム等に使用することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係るロッドレスシ
リンダを示す斜視図である。

【図２】図１のロッドレスシリンダを示す縦断面図であ
る。

【図３】図２のロッドレスシリンダを示すＩＩＩ−ＩＩ
Ｉ線断面図である。

【図４】図２のロッドレスシリンダのピストンおよびス
ライダを示す一部拡大縦断面図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態に係るロッドレスシ
リンダのピストンおよびスライダを示す一部拡大縦断面
図である。

【符号の説明】

１０、１００…ロッドレスシリンダ１４…シリンダチューブ１６ａ、１６ｂ…ガイドシャフト１８…スライダ３０…駆動用磁石６８、１２６…被駆動用磁石８６ａ、８６ｂ、１１０ａ、１１０ｂ…凹部９０ａ、９０ｂ…ガイド用スクレーパホルダ９１ａ、９１ｂ、１１３ａ、１１３ｂ…間隙９６ａ、９６ｂ…ガイド用スクレーパ１１２ａ、１１２ｂ…シリンダ用スクレーパホルダ１１８ａ、１１８ｂ…シリンダ用スクレーパ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者飯島勝己茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２エスエムシー株式会社筑波技術センター内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】シリンダチューブと、前記シリンダチューブの内部に配設され、該シリンダチ
ューブの長手方向に沿って摺動自在なピストンと、前記ピストンに配設された駆動用磁石と、前記シリンダチューブの外周部に近接配置されるスライ
ダと、前記スライダに設けられ、前記駆動用磁石に対向して配
置される被駆動用磁石と、前記シリンダチューブと平行に配設され、前記スライダ
をガイドするガイドシャフトと、前記スライダに配置され、前記ガイドシャフトに摺接す
るガイド用スクレーパと、前記スライダに対して前記ガイドシャフトの軸線と直交
する方向に変位自在に設けられ、前記ガイド用スクレー
パを支持するガイド用スクレーパホルダと、を備えることを特徴とするロッドレスシリンダ。
【請求項２】請求項１記載のロッドレスシリンダにおい
て、前記ガイド用スクレーパホルダと前記スライダとの間に
は、前記ガイド用スクレーパを前記スライダに対して変
位自在とする間隙が形成されることを特徴とするロッド
レスシリンダ。
【請求項３】請求項２記載のロッドレスシリンダにおい
て、前記間隙には可撓性を有する材料で形成されたシール部
材が設けられることを特徴とするロッドレスシリンダ。
【請求項４】請求項１乃至３のいずれか１項に記載のロ
ッドレスシリンダにおいて、前記スライダに配設され、前記シリンダチューブに摺接
するシリンダ用スクレーパと、前記スライダに対して前記シリンダチューブの軸線と直
交する方向に変位自在に設けられ、前記シリンダ用スク
レーパを支持するシリンダ用スクレーパホルダと、を備えることを特徴とするロッドレスシリンダ。
【請求項５】請求項４記載のロッドレスシリンダにおい
て、前記シリンダ用スクレーパホルダと前記スライダとの間
には、前記シリンダ用スクレーパを前記シリンダに対し
て変位自在とする間隙が形成されることを特徴とするロ
ッドレスシリンダ。
【請求項６】請求項５記載のロッドレスシリンダにおい
て、前記間隙には可撓性を有する材料で形成されたシール部
材が設けられることを特徴とするロッドレスシリンダ。