CN220729154U - 同心度检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于步进式光刻设备技术领域，公开了同心度检测装置。该同心度检测装置包括放置座、反射板和刻度盘，放置座用于放置激光管，反射板倾斜设置于放置座的一侧，反射板用于反射激光管发出的激光得到反射光线，刻度盘位于反射板的反射路径上，刻度盘用于指示反射光线的偏差值。这种同心度检测装置结构简单，能够对激光管的同心度进行快速检测及筛选，能够快速排除同心度超差的激光管，提升专用设备的检测效率。

Description

同心度检测装置

技术领域

本实用新型涉及步进式光刻设备技术领域，尤其涉及同心度检测装置。

背景技术

LSA激光步进对准是Nikon光刻机对准系统中的一种，一个完整的LSA系统包含LSA激光器、LSA光路、LSA探测器以及工作台干涉计数器和相应的信号处理模块。LSA激光器是一种波长为632.8nm的He-Ne激光器作为对准系统的光源，产生的光束决定了对准系统的灵敏度及识别能力，如果射入LSA光路的光束倾斜，最终信号处理模块会接收到异常信号甚至接收不到有用信号，对准系统精度会出现不达标或无法使用的故障。

He-Ne激光器使用寿命一般在10000小时左右，远低于光刻机的使用寿命，因此需多次进行更换，但He-Ne激光器安装到设备上前，外层还会安装圆柱外壳用于连接光刻设备，由于激光器与外壳是用顶丝固定的，松紧顶丝过程难免出现误差导致光束入射倾斜，如果没有有效的方法确认激光管的同心度，将无法保证LSA对准系统的精度。

现有技术中通常采用专用设备通过波长等信息进行同心度的检测，但是使用专用设备检测的效率低。

因此，需要一种同心度检测装置对激光管的同心度进行初步筛选，排除同心度超差的激光管，提升专用设备的检测效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种同心度检测装置，能够对激光管的同心度进行初步筛选，提升检测效率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

同心度检测装置，所述同心度检测装置包括：

放置座，所述放置座用于放置激光管；

反射板，所述反射板倾斜设置于所述放置座的一侧，所述反射板用于反射所述激光管发出的激光得到反射光线；

刻度盘，所述刻度盘位于所述反射板的反射路径上，所述刻度盘用于指示所述反射光线的偏差值。

作为一种可选的技术方案，所述同心度检测装置还包括底座，所述放置座、所述反射板和所述刻度盘均设置于所述底座。

作为一种可选的技术方案，所述放置座具有放置槽，所述放置槽呈V形。

作为一种可选的技术方案，所述放置座底部开设有第一螺纹孔，所述底座开设有第一通孔，连接件穿过所述第一通孔后与所述第一螺纹孔螺接，以将所述放置座与所述底座可拆卸连接。

作为一种可选的技术方案，所述第一通孔为沉头孔，且所述沉头孔的沉头部位位于所述底座的底面上，所述连接件为第一螺栓，所述沉头部位用于容纳所述第一螺栓的螺头。

作为一种可选的技术方案，所述反射板包括连接部和反射部，所述连接部与所述反射部连接，且所述连接部用于连接所述底座，所述反射部与所述放置座的轴线呈角度设置。

作为一种可选的技术方案，所述连接部开设第二通孔，所述底座上开设第二螺纹孔，第二螺栓穿过所述第二通孔后与所述第二螺纹孔螺纹连接，以将所述反射板可拆卸连接于所述底座。

作为一种可选的技术方案，所述第二通孔为腰型孔，所述第二螺栓能够沿所述腰型孔滑动，通过调节所述第二螺栓沿所述腰型孔滑动，进而调节所述反射板位于所述底座的位置。

作为一种可选的技术方案，所述刻度盘为刻蚀在所述底座上的若干刻度线。

作为一种可选的技术方案，所述底座两侧设置有把手。

本实用新型的有益效果：

本实用新型公开一种同心度检测装置，该同心度检测装置包括放置座、反射板和刻度盘，放置座用于放置激光管，反射板倾斜设置于放置座的一侧，反射板用于反射激光管发出的激光得到反射光线，刻度盘位于反射板的反射路径上，刻度盘用于指示反射光线的偏差值。这种同心度检测装置结构简单，能够对激光管的同心度进行快速检测及筛选，能够快速排除同心度超差的激光管，提升专用设备的检测效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的同心度检测装置的轴测图；

图2是本实用新型实施例的同心度检测装置的主视图；

图3是本实用新型实施例的放置座的结构示意图；

图4是本实用新型实施例的反射板的结构示意图；

图5是本实用新型实施例的底座的结构示意图。

图中：

10、放置座；11、放置槽；

20、反射板；21、连接部；211、第二通孔；22、反射部；

30、刻度盘；31、0刻度线；

40、底座；41、第一通孔；42、第二螺纹孔；43、把手。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1至图2所示，本实施例提供一种同心度检测装置，该同心度检测装置包括放置座10、反射板20和刻度盘30，放置座10用于放置需要进行检测同心度的激光管，反射板20倾斜设置于放置座10的一侧，反射板20用于反射激光管发出的激光并得到发射光线，刻度盘30位于反射板20的反射路径上，用于指示反射光线的偏差值。具体地，本实施例中，激光管包括激光器和圆柱外壳，由于激光器发出的激光为点状的，在本实施例中的反射板20能够将激光器发出的点状激光反射为线性激光，刻度盘30位于反射板20的反射路径上，线性激光能够对准刻度盘30上的刻度线，刻度线就能够指示发射光线的偏差值，如果刻度线指示反射光线存在偏差，则能够得出激光管同心度不合格的结论，完成该激光管的同心度的检测。可选地，本实施例中，反射板20为透镜组，其中透镜组包括柱面镜和准直镜片，能够将点状激光反射为线状激光，便于进行观察，且透镜组为现有技术，在此不做赘述。

进一步地，如图5所示，同心度检测装置还包括底座40，放置座10、反射板20和刻度盘30均设置于底座40。具体地，将放置座10、反射板20和刻度盘30均设置在底座40上，能够增加同心度检测装置的整体性，且确保放置座10、反射板20和刻度盘30之间的位置相对固定，避免在进行同心度检测的过程中，放置座10、反射板20和刻度盘30之间出现相对位置移动，影响同心度检测的准确度，且能够便于进行携带。

进一步地，如图3所示，放置座10具有放置槽11，放置槽11呈V形。具体地，本实施例中，由于激光管外形呈圆柱形，放置槽11呈V形能够便于对激光管进行放置，避免激光管出现晃动，且放置座10为V形还能够避免采用其他的固定件对激光管进行固定，能够提升检测效率，且V形的放置槽11能够确保位于放置槽11中的激光管发出的激光位于同一根竖直轴线上，避免频繁移动反射板20，进一步确保检测效率，且V形的放置槽11能够对不同管径的激光管均能够进行监测，提升具有通用性。可选地，放置槽11的槽底可以是平底也可以是尖底，在此不做限制，可以根据实际使用或加工方式进行具体的设置，在此不做赘述。

进一步地，放置座10底部开设有第一螺纹孔，底座40开设有第一通孔41，连接件穿过第一通孔41后与第一螺纹孔螺接，以将放置座10与底座40可拆卸连接。具体地，本实施例中，由于放置座10体积较大，这种设置能够通过底座40反向对放置座10进行固定，提升连接的稳定性，且采用螺纹连接具有较强的稳定性，提升检测结果的可靠性。

进一步地，第一通孔41为沉头孔，且沉头孔的沉头部位位于底座40的底面上，连接件为第一螺栓，沉头部位用于容纳第一螺栓的螺头。具体地，本实施例中，这种连接方式能够确保连接稳定，且拆装便捷。在其他实施例中，第一通孔41是普通的直径相同的通孔，连接件为螺柱，同样能够到达连接的目的，在此不做赘述。

进一步地，如图4所示，反射板20包括连接部21和反射部22，连接部21与反射部22连接，且连接部21用于连接底座40，反射部22与放置座10的轴线呈角度设置。具体地，本实施例中，连接部21用于连接底座40，反射部22用于对激光进行反射，且通过连接部21能够对反射部22提供一定的支撑，确保反射部22能够正常反射激光，确保检测的有效性。此外，本实施例中，连接部21远离放置座10设置，这种设置使得反射部22的反射表面位于连接部21与反射部22的内角中，能够避免出现反射表面的磕碰。

进一步地，连接部21开设第二通孔211，底座40上开设第二螺纹孔42，第二螺栓穿过第二通孔211后与第二螺纹孔42螺纹连接，以将反射板20可拆卸连接于底座40。具体地，本实施例中，采用螺纹连接既能够保证连接稳定，又能够便于拆装。

进一步地，第二通孔211为腰型孔，第二螺栓能够沿腰型孔滑动，通过调节第二螺栓沿腰型孔滑动，进而调节反射板20位于底座40的位置。具体地，本实施例中，第二通孔211为腰型孔，能够便于调节反射板20与放置座10的角度及相对位置，进而调节激光的入射点和反射激光的出射点，便于人员进行检测。

进一步地，刻度盘30为刻蚀在底座40上的若干刻度线。具体地，本实施例中，若干刻度线通过激光刻蚀的方式刻蚀在底座40上，既能够确保刻度盘30的位置的准确性，又能够减少零部件，避免产生更多的成本。本实施例中，刻度线包括0刻度线31和位于该0刻度线31两端的正负偏差刻度线，正负偏差刻度线均设置为多根，可以是10根、15根、20根、25根、30根或者更多，在此不做赘述。

进一步地，底座40两侧设置有把手43。具体地，本实施例中，底座40两侧设置有把手43，把手43用于提升同心度检测装置的便捷性，提升使用的便捷性。

下面对同心度检测装置的检测过程进行描述。首先，通过一个同心度合格的激光管对同心度检测装置进行校核，调整反射板20，确保在进行校核的过程中，反射激光对准的刻度线为0刻度线31，接着将处于发射激光状态的待测激光管放置于放置座10上，观察其反射光线是否对准0刻度线31，如果对准，则将待测激光管拿起并转动45°，再将待测激光管放置于放置座10上，观察其反射光线是否对准0刻度线31，如果对准，则说明该待测激光管的同心度检测合格，如果第二检测中，反射光线未对准0刻度线31，则说明待测激光管的同心度检测不合格。

另外，在没有同心度合格的激光管时，可先将处于发射激光状态的待测激光管放置于放置座10上，观察其反射光线并将反射光线对准的刻度线进行记录，将待测激光管拿起并转动45°，再将待测激光管放置于放置座10上，观察其反射光线对准的刻度线是否与上次的刻度线为同一条刻度线，若是，则说明该待测激光管的同心度合格，若不是，则说明待测激光管的同心度检测不合格。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.同心度检测装置，其特征在于，所述同心度检测装置包括：

放置座(10)，所述放置座(10)用于放置激光管；

反射板(20)，所述反射板(20)倾斜设置于所述放置座(10)的一侧，所述反射板(20)用于反射所述激光管发出的激光得到反射光线；

刻度盘(30)，所述刻度盘(30)位于所述反射板(20)的反射路径上，所述刻度盘(30)用于指示所述反射光线的偏差值。

2.根据权利要求1所述的同心度检测装置，其特征在于，所述同心度检测装置还包括底座(40)，所述放置座(10)、所述反射板(20)和所述刻度盘(30)均设置于所述底座(40)。

3.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述放置座(10)具有放置槽(11)，所述放置槽(11)呈V形。

4.根据权利要求3所述的同心度检测装置，其特征在于，所述放置座(10)底部开设有第一螺纹孔，所述底座(40)开设有第一通孔(41)，连接件穿过所述第一通孔(41)后与所述第一螺纹孔螺接，以将所述放置座(10)与所述底座(40)可拆卸连接。

5.根据权利要求4所述的同心度检测装置，其特征在于，所述第一通孔(41)为沉头孔，且所述沉头孔的沉头部位位于所述底座(40)的底面上，所述连接件为第一螺栓，所述沉头部位用于容纳所述第一螺栓的螺头。

6.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述反射板(20)包括连接部(21)和反射部(22)，所述连接部(21)与所述反射部(22)连接，且所述连接部(21)用于连接所述底座(40)，所述反射部(22)与所述放置座(10)的轴线呈角度设置。

7.根据权利要求6所述的同心度检测装置，其特征在于，所述连接部(21)开设第二通孔(211)，所述底座(40)上开设第二螺纹孔(42)，第二螺栓穿过所述第二通孔(211)后与所述第二螺纹孔(42)螺纹连接，以将所述反射板(20)可拆卸连接于所述底座(40)。

8.根据权利要求7所述的同心度检测装置，其特征在于，所述第二通孔(211)为腰型孔，所述第二螺栓能够沿所述腰型孔滑动，通过调节所述第二螺栓沿所述腰型孔滑动，进而调节所述反射板(20)位于所述底座(40)的位置。

9.根据权利要求2所述的同心度检测装置，其特征在于，所述刻度盘(30)为刻蚀在所述底座(40)上的若干刻度线。

10.根据权利要求2-9任一项所述的同心度检测装置，其特征在于，所述底座(40)两侧设置有把手(43)。