CN220703436U - 一种掩膜版清洗废液的安全处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，包括连接废液储槽的中和反应器，所述中和反应器的上部连接30％液碱进口槽，中和反应器的下部连接氧化反应器的上部，氧化反应器的上部还连接次氯酸钠发生器，氧化反应器的下部连接蒸发结晶器的上部，蒸发结晶器的下部连接离心机，离心机所产生的工业盐输送至次氯酸钠发生器中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器中。本实用新型结构简单，处理效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及危险废物处理技术领域，具体涉及一种掩膜版清洗废液的安全处理装置。
背景技术
TFT-LCD用高精度光罩也被行业人员称作掩膜版或者光刻掩膜版，在TFT-LCD生产中具有关键作用，在产业链中具有举足轻重的地位。生产企业在生产掩膜版之前需要对空白含铬掩膜版进行清洗，分别使用98％硫酸、清洗剂、水进行清洗，进行缺陷检查后，再一次进行清洗，之后再进行涂胶光刻。在硫酸清洗后，主要使用氨水和双氧水按照氨水：双氧水：水＝1：1：50的配比清洗掩膜版表面残留的少量硫酸，所产生的废液属于危险废物，废液所含氨氮含量可达2500mg/L，COD含量达到5000mg/L。由于此类废液含有高浓度氨氮，并含有氧化剂双氧水，对此废液处置时，容易出现大量泡沫且有刺激性气体(氨气)逸出，环境风险大。因此，如何安全高效处理此类废液，是本领域技术人员亟需解决的问题。
发明内容
为解决背景技术中的问题，本实用新型提出一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，本实用新型结构简单，处理效果好。
为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，包括连接废液储槽的中和反应器，所述中和反应器的上部连接30％液碱进口槽，中和反应器的下部连接氧化反应器的上部，氧化反应器的上部还连接次氯酸钠发生器，氧化反应器的下部连接蒸发结晶器的上部，蒸发结晶器的下部连接离心机，离心机所产生的工业盐输送至次氯酸钠发生器中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器中。
进一步的，所述的中和反应器、氧化反应器连接废气处理装置。
进一步的，蒸发结晶器所产生的馏分水输入至次氯酸钠发生器中。
再进一步的，所述的废气处理装置包括依次设置的酸洗装置、碱洗装置、活性炭吸附装置。
进一步的，废液储槽的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与中和反应器的上部连接。
进一步的，中和反应器底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与氧化反应器的上部连接。
进一步的，氧化反应器的下部设置有第二反应物出口，第二反应物出口的输出端设置第三抽泵，第三抽泵的输出端与蒸发结晶器连接。
进一步的，蒸发结晶器设置有第三反应物出口，第三反应物出口的输出端设置第四抽泵，第四抽泵的输出端与离心机的上部连接，离心机的下部与次氯酸钠发生器连接。
本实用新型的有益效果：本实用新型通过使用次氯酸钠发生器制备次氯酸钠，向废液中添加次氯酸钠，可使废液中氨氮分解成氮气逸出，同时由于次氯酸钠氧化性较双氧水氧化性强，加入次氯酸钠后使双氧水分解，处理后溶液氨氮含量低于10mg/L，COD含量低于100mg/L。反应后溶液进行蒸发结晶可生产氯化钠和硫酸钠(的工业盐)，主要包括氯化钠(的工业盐)补充至次氯酸钠发生器中。在反应全程对体系的废气进行有效的收集和处理，所产生的氯化钠和馏分水可回用，做到了零排放。无废水和废渣产生，可达到处置掩膜版清洗废液时操作环境安全的一种组合式处置装置。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型的结构图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型通过使用次氯酸钠发生器5制备次氯酸钠，向废液中添加次氯酸钠，可使废液中氨氮分解成氮气逸出，同时由于次氯酸钠氧化性较双氧水氧化性强，加入次氯酸钠后使双氧水分解，处理后溶液氨氮含量低于10mg/L，COD含量低于100mg/L。反应后溶液进行蒸发结晶可生产氯化钠和硫酸钠(的工业盐)，主要包括氯化钠(的工业盐)补充至次氯酸钠发生器5中。在反应全程对体系的废气进行有效的收集和处理，所产生的氯化钠和馏分水可回用，做到了零排放。无废水和废渣产生，可达到处置掩膜版清洗废液时操作环境安全的一种组合式处置装置。
具体的，一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，包括连接废液储槽1的中和反应器2，所述中和反应器2的上部连接30％液碱进口槽3，中和反应器2的下部连接氧化反应器4的上部，氧化反应器4的上部还连接次氯酸钠发生器5，氧化反应器4的下部连接蒸发结晶器6的上部，蒸发结晶器6所产生的馏分水至次氯酸钠发生器5中回用，蒸发结晶器6的下部连接离心机7，离心机7所产生的工业盐收集后输送用于次氯酸钠发生器5中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器6中。
进一步地，所述的中和反应器2、氧化反应器4连接废气处理装置8。
进一步地，所述的废气处理装置8包括依次设置的酸洗装置8a、碱洗装置8b、活性炭吸附装置8c。
进一步的，废液储槽1的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与中和反应器2的上部连接。
进一步的，中和反应器2底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与氧化反应器4的上部连接。
进一步的，氧化反应器4的下部设置有第二反应物出口，第二反应物出口的输出端设置第三抽泵，第三抽泵的输出端与蒸发结晶器6(的中上部)连接。
再进一步的，蒸发结晶器6(的中下部)设置有第三反应物出口，第三反应物出口的输出端设置第四抽泵，第四抽泵的输出端与离心机7的上部连接，离心机7的下部与次氯酸钠发生器5连接。
参照图1，离心机7离心液回流至蒸发结晶器6中重新浓缩，蒸发结晶器6上设置一个馏分水管路，馏分水经冷却后回用到次氯酸钠发生器5内。
本实用新型有效处理掩膜版清洗废液，是一种能针对掩膜版清洗废液的多级处理工艺装置，通过(30％液碱进口槽3)中和调节体系pH至7.5左右，再利用次氯酸钠同废液中的氨氮、双氧水反应来实现掩膜版清洗废液的安全高效处理，在反应全程对体系的废气进行有效的收集和处理，所产生的主要包括氯化钠(的工业盐)和馏分水可回用，做到了零排放。无废水和废渣产生，属于操作环境安全的一种组合式处置装置。
具体原理如下所式：
2NaOH+H2SO4→Na2SO4+2H2O
3NaClO+2NH3→N2↑+3NaCl+3H2O
NaClO+H2O2→NaCl+H2O+O2↑。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：包括连接废液储槽(1)的中和反应器(2)，所述中和反应器(2)的上部连接30％液碱进口槽(3)，中和反应器(2)的下部连接氧化反应器(4)的上部，氧化反应器(4)的上部还连接次氯酸钠发生器(5)，氧化反应器(4)的下部连接蒸发结晶器(6)的上部，蒸发结晶器(6)的下部连接离心机(7)，离心机(7)所产生的工业盐输送至次氯酸钠发生器(5)中、产生的浓缩液回流至蒸发结晶器(6)中。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：所述的中和反应器(2)、氧化反应器(4)连接废气处理装置(8)。
3.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：蒸发结晶器(6)所产生的馏分水输入至次氯酸钠发生器(5)中。
4.根据权利要求2所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：所述的废气处理装置(8)包括依次设置的酸洗装置(8a)、碱洗装置(8b)、活性炭吸附装置(8c)。
5.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：废液储槽(1)的输出端设置第一抽泵，第一抽泵的输出端与中和反应器(2)的上部连接。
6.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：中和反应器(2)底部设置有第一反应物出口，第一反应物出口的输出端设置第二抽泵，第二抽泵的输出端与氧化反应器(4)的上部连接。
7.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：氧化反应器(4)的下部设置有第二反应物出口，第二反应物出口的输出端设置第三抽泵，第三抽泵的输出端与蒸发结晶器(6)连接。
8.根据权利要求1所述的一种掩膜版清洗废液的安全处理装置，其特征在于：蒸发结晶器(6)设置有第三反应物出口，第三反应物出口的输出端设置第四抽泵，第四抽泵的输出端与离心机(7)的上部连接，离心机(7)的下部与次氯酸钠发生器(5)连接。
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