CN220697624U - 一种用于半导体清洗机的储液箱 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体清洗机的储液箱，包括半导体清洗机本体，所述半导体清洗机本体由底板、清洗箱、储液箱本体组成，所述储液箱本体固定安装在底板的上端面，所述储液箱本体内开设有储液腔，所述储液腔的侧壁上固定连接有多个斜板，所述储液箱本体的上端开设有第一添加口，所述第一添加口内固定连接有第一添加管，所述储液箱本体的侧壁上开设有多个安装孔。通过设置储液箱本体、斜板、第一添加管、第二添加管、电动阀门，使清洁剂和多种化学添加剂能够共同储存在储液箱本体内，当清洁剂需要添加化学添加剂时只需打开电动阀门即可完成添加，提高了清洁剂对半导体零件的清洗效果。

Description

一种用于半导体清洗机的储液箱

技术领域

本实用新型涉及半导体清洗机技术领域，尤其涉及一种用于半导体清洗机的储液箱。

背景技术

在半导体工业中，清洗过程对产品的成功生产和性能起着至关重要的作用。半导体清洗的主要目的是去除半导体器件表面和内部的污垢和杂质，以确保产品的可靠性和稳定性。此外，半导体清洗还可以减少生产过程中的缺陷率、提高产品的可靠性和寿命、降低生产成本。

经检索，公开号为：CN210052720U本实用新型公开了一种半导体制造用清洗机，启动输送泵将储液罐内部的清洗液循环至清洗箱的内部，使得清洗液从溢流罩向上涌出，涌出的清洗液进入到清洗腔内部自下而上的对半导体片表面进行清洗，将污渍从溢流管排出，带有污渍的清洗液从溢流管排出至储液箱的内部过滤后进行循环，提高对清洗液的利用效率。对半导体清洗一般采用超纯水、化学添加剂和气体等多种清洗方法，具有高效、精准和可重复性的特点，但上述技术无法在储液箱内添加化学添加剂，仅通过清洁剂对半导体零件的清洗效果较差。

为了解决上述问题，本实用新型提出一种用于半导体清洗机的储液箱。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于半导体清洗机的储液箱，以解决现有技术中“上述技术无法在储液箱内添加化学添加剂，仅通过清洁剂对半导体零件的清洗效果较差”的技术问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种用于半导体清洗机的储液箱，包括半导体清洗机本体，其特征在于，所述半导体清洗机本体由底板、清洗箱、储液箱本体组成，所述储液箱本体固定安装在底板的上端面，所述储液箱本体内开设有储液腔，所述储液腔的侧壁上固定连接有多个斜板，所述储液箱本体的上端开设有第一添加口，所述第一添加口内固定连接有第一添加管，所述储液箱本体的侧壁上开设有多个安装孔，多个所述安装孔内均固定连接有第二添加管，所述第二添加管与斜板相对应，所述储液箱本体背离多个所述安装孔的一侧开设有多个阀门孔，多个所述阀门孔内均固定安装有电动阀门，所述储液箱本体的侧壁上固定连接有混合箱，所述混合箱内开设有混合腔，所述混合箱的侧壁上开设有与多个阀门孔相匹配的添加孔，多个所述添加孔均与混合腔相连通，所述混合箱的上端面固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端贯穿混合箱的侧壁并固定连接有转动杆，所述转动杆的侧壁上对称固定连接有多个混合板，所述混合腔的底部固定安装有液泵，所述液泵的输出端固定连接有输液管，所述液泵的输入端固定连接有吸液管，所述输液管的另一端贯穿混合箱并与清洗箱内相连通。

作为本实用新型的优选技术方案，所述清洗箱的下端面固定连接有四个支撑柱，所述清洗箱通过四个支撑柱固定连接在底板的上端面。

作为本实用新型的优选技术方案，所述清洗箱的侧壁上开设有与输液管相匹配的输液孔。

作为本实用新型的优选技术方案，所述清洗箱的底部固定安装有第一排液管，所述第一排液管的下方设置有相匹配的收集箱，所述收集箱固定安装在底板的上端面。

作为本实用新型的优选技术方案，所述清洗箱的侧壁上开设有进出口，所述进出口内设置有密封门板，所述密封门板的侧壁上固定连接有把手。

作为本实用新型的优选技术方案，所述混合箱的侧壁上开设有排液口，所述排液口内固定安装有第二排液管，所述第二排液管内设置有密封塞。

本实用新型提供了一种用于半导体清洗机的储液箱，具备以下有益效果：

1、通过设置储液箱本体、斜板、第一添加管、第二添加管、电动阀门，使清洁剂和多种化学添加剂能够共同储存在储液箱本体内，当清洁剂需要添加化学添加剂时只需打开电动阀门即可完成添加，提高了清洁剂对半导体零件的清洗效果；

2、通过设置液泵，使清洁剂可以通过液泵的作用下自动添加进清洗箱内，省时省力；

3、通过设置第一排液管和收集箱，使清洗箱内的清洗完成后带有污垢的清洗剂从第一排液管排出后再由收集箱进行收集，方便对带有污垢的清洗剂进行集中处理。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种用于半导体清洗机的储液箱的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种用于半导体清洗机的储液箱的正面结构剖视图；

图中：1底板、2收集箱、3支撑柱、4清洗箱、5第一排液管、6储液箱本体、7混合箱、8第一添加管、9斜板、10第二添加管、11电动阀门、12伺服电机、13转动杆、14混合板、15液泵、16吸液管、17输液管、18密封门板、19第二排液管。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

实施例

参考图1-2，一种用于半导体清洗机的储液箱，包括半导体清洗机本体，半导体清洗机本体由底板1、清洗箱4、储液箱本体6组成，储液箱本体6固定安装在底板1的上端面，储液箱本体6内开设有储液腔，储液腔的侧壁上固定连接有多个斜板9，储液箱本体6的上端开设有第一添加口，第一添加口内固定连接有第一添加管8，储液箱本体6的侧壁上开设有多个安装孔，多个安装孔内均固定连接有第二添加管10，第二添加管10与斜板9相对应，储液箱本体6背离多个安装孔的一侧开设有多个阀门孔，多个阀门孔内均固定安装有电动阀门11，储液箱本体6的侧壁上固定连接有混合箱7，混合箱7内开设有混合腔，混合箱7的侧壁上开设有与多个阀门孔相匹配的添加孔，多个添加孔均与混合腔相连通，混合箱7的上端面固定安装有伺服电机12，伺服电机12的输出端贯穿混合箱7的侧壁并固定连接有转动杆13，转动杆13的侧壁上对称固定连接有多个混合板14，混合腔的底部固定安装有液泵15，液泵15的输出端固定连接有输液管17，液泵15的输入端固定连接有吸液管16，输液管17的另一端贯穿混合箱7并与清洗箱4内相连通。

清洁剂通过第一添加管8添加进储液箱本体6内的储液腔，之后再将不同的化学添加剂通过多个第二添加管10添加进储液腔内，将清洁剂和需要使用的化学添加剂所在的斜板9与之相对应电动阀门11打开，使清洁剂与化学添加剂通过斜板9流入混合箱7内，接着打开伺服电机12，使伺服电机12的输出端带动转动杆13转动，转动杆13转动带动混合板14在混合箱7内转动，混合完成后的清洁剂通过吸液管16添加进液泵15内，再从液泵15的输出端由输液管17进入清洗箱4内；

其中，清洗箱4的下端面固定连接有四个支撑柱3，清洗箱4通过四个支撑柱3固定连接在底板1的上端面；

其中，清洗箱4的侧壁上开设有与输液管17相匹配的输液孔。

通过设置输液孔，使输液管17可以通过输液孔与清洗箱4内相连通；

其中，清洗箱4的底部固定安装有第一排液管5，第一排液管5的下方设置有相匹配的收集箱2，收集箱2固定安装在底板1的上端面。

通过设置第一排液管5和收集箱2，使清洗箱4内清洗后带有污垢的清洁剂可以通过第一排液管5排出，再通过收集箱2进行收集；

其中，清洗箱4的侧壁上开设有进出口，进出口内设置有密封门板18，密封门板18的侧壁上固定连接有把手。

通过设置密封门板18和把手，可以使用把手打开密封门板18后将半导体零件放入清洗箱4内；

其中，混合箱7的侧壁上开设有排液口，排液口内固定安装有第二排液管19，第二排液管19内设置有密封塞。

通过设置第二排液管19和密封塞，使混合箱7内残留的清洁剂可以通过第二排液管19排出混合箱7内，在使用混合箱7时再通过密封塞塞住第二排液管19；

其中，清洗箱4的工作原理已在公开号为：CN210052720U内公开充分，在此不再赘述。

本实用新型的工作原理：先将清洁剂通过第一添加管8添加进储液箱本体6内的储液腔，之后再将不同的化学添加剂通过多个第二添加管10添加进储液腔内，此时打开密封门板18将半导体零件放入清洗箱4内，之后将清洁剂和需要使用的化学添加剂所在的斜板9与之相对应电动阀门11打开，使清洁剂与化学添加剂通过斜板9流入混合箱7内，接着打开伺服电机12，使伺服电机12的输出端带动转动杆13转动，转动杆13转动带动混合板14在混合箱7内转动，此时完成了对清洁剂内添加化学添加剂，化学添加剂与清洁剂混合完成后，添加了化学添加剂的清洁剂对半导体零件的清洁效果更好；

混合完成后的清洁剂通过吸液管16添加进液泵15内，再从液泵15的输出端由输液管17进入清洗箱4内，此时完成了对清洗箱4内的半导体零件进行清洁剂清洗，无需人工添加，省时省力；

当清洁剂需要添加另一种化学添加剂时，打开第二排液管19内设置密封塞，混合箱7内残留的清洁剂将通过第二排液管19向外排出。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。

Claims (6)

1.一种用于半导体清洗机的储液箱，包括半导体清洗机本体，其特征在于，所述半导体清洗机本体由底板(1)、清洗箱(4)、储液箱本体(6)组成，所述储液箱本体(6)固定安装在底板(1)的上端面，所述储液箱本体(6)内开设有储液腔，所述储液腔的侧壁上固定连接有多个斜板(9)，所述储液箱本体(6)的上端开设有第一添加口，所述第一添加口内固定连接有第一添加管(8)，所述储液箱本体(6)的侧壁上开设有多个安装孔，多个所述安装孔内均固定连接有第二添加管(10)，所述第二添加管(10)与斜板(9)相对应，所述储液箱本体(6)背离多个所述安装孔的一侧开设有多个阀门孔，多个所述阀门孔内均固定安装有电动阀门(11)，所述储液箱本体(6)的侧壁上固定连接有混合箱(7)，所述混合箱(7)内开设有混合腔，所述混合箱(7)的侧壁上开设有与多个阀门孔相匹配的添加孔，多个所述添加孔均与混合腔相连通，所述混合箱(7)的上端面固定安装有伺服电机(12)，所述伺服电机(12)的输出端贯穿混合箱(7)的侧壁并固定连接有转动杆(13)，所述转动杆(13)的侧壁上对称固定连接有多个混合板(14)，所述混合腔的底部固定安装有液泵(15)，所述液泵(15)的输出端固定连接有输液管(17)，所述液泵(15)的输入端固定连接有吸液管(16)，所述输液管(17)的另一端贯穿混合箱(7)并与清洗箱(4)内相连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗机的储液箱，其特征在于，所述清洗箱(4)的下端面固定连接有四个支撑柱(3)，所述清洗箱(4)通过四个支撑柱(3)固定连接在底板(1)的上端面。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗机的储液箱，其特征在于，所述清洗箱(4)的侧壁上开设有与输液管(17)相匹配的输液孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗机的储液箱，其特征在于，所述清洗箱(4)的底部固定安装有第一排液管(5)，所述第一排液管(5)的下方设置有相匹配的收集箱(2)，所述收集箱(2)固定安装在底板(1)的上端面。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗机的储液箱，其特征在于，所述清洗箱(4)的侧壁上开设有进出口，所述进出口内设置有密封门板(18)，所述密封门板(18)的侧壁上固定连接有把手。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体清洗机的储液箱，其特征在于，所述混合箱(7)的侧壁上开设有排液口，所述排液口内固定安装有第二排液管(19)，所述第二排液管(19)内设置有密封塞。