CN220677051U - 一种用于半导体加工的废水过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工技术领域，解决了维护时需要停止过滤工序，影响过滤效率的技术问题，尤其涉及一种用于半导体加工的废水过滤装置，包括过滤箱，过滤箱内安装有过滤板，过滤板分为过滤板一和过滤板二，且过滤箱上安装有上盖，上盖上安装有导流组件，过滤箱上安装有替换组件，且过滤箱侧面安装有用于清洁过滤板一和过滤板二的清洁组件，替换组件包括安装在过滤板一下端面的两个第一齿条，两个第一齿条下侧均啮合有齿轮，两个齿轮下侧均啮合两个第二齿条，第二齿条安装在过滤板二的上端面。本实用新型在维修时可采用替补过滤板方式，保障一个过滤板能够正常过滤使用，被替换的进行维护，减少更换维护时间，保障过滤的工作效率。

Description

一种用于半导体加工的废水过滤装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种用于半导体加工的废水过滤装置。

背景技术

半导体晶圆产业是近些年来中国工业发展中引人注目的先进产业，具有很大的市场和发展潜力，但同时也是一个十分依赖水资源的行业及高水耗的产业,在将晶圆变成具有各种功能的终端产品的过程中根据产品要求及设定的尺寸大小，需要对晶圆进行研磨和切割处理同时在研磨和切割过程中使用纯水对晶圆进行清洗这样就产生了大量的研磨和切割废水。

切割的废水中主要是切割芯片时砂轮的砂粒、芯片的硅颗粒和部分其它固体颗粒，因此过滤去掉这部分颗粒物就能获取品质较好的水源进行至生产线回用，但过滤装置随着时间的推移，过滤板上的污染物积累增加，过滤板的压力增大，会影响过滤的效率，因此需要对于过滤板进行维护清理，维护时通常需要停止过滤工序，在进行维修更换，长时间的停止过滤工序，从而影响过滤工作的效率。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于半导体加工的废水过滤装置，解决了维护时需要停止过滤工序，从而影响过滤工作的效率的技术问题，达到了维护时能够对过滤板进行替补，保障过滤工序不用长时间停止的目的。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了如下技术方案：一种用于半导体加工的废水过滤装置，包括过滤箱，所述过滤箱内安装有过滤板，过滤板分为过滤板一和过滤板二，且过滤箱上安装有上盖，上盖上安装有防堵塞的导流组件，过滤箱上安装有便于维护的替换组件，且过滤箱侧面安装有用于清洁过滤板一和过滤板二的清洁组件。

替换组件包括安装在过滤板一下端面的两个第一齿条，两个第一齿条下侧均啮合有齿轮，两个齿轮下侧均啮合两个第二齿条，第二齿条安装在过滤板二的上端面，两个齿轮之间固定有转动杆，过滤箱上安装有驱动转动杆转动的电机。

进一步地，过滤箱内对应过滤板一和过滤板二的位置开设有滑槽，过滤板一和过滤板二滑动连接在滑槽中。

进一步地，第一齿条和第二齿条上均固定有滑轨，过滤板一和过滤板二上对应滑轨开设有滑道，过滤板一和过滤板二上螺纹安装有螺钉。

进一步地，导流组件包括连通安装在上盖上的进水管，进水管下方设有固定在上盖上的导流块，导流块上开设有导流孔。

进一步地，清洁组件包括安装在过滤板一两侧的第一清洁刷，第一清洁刷转动连接在过滤箱上，过滤板二两侧安装有转动连接在过滤箱上的第二清洁刷。

进一步地，过滤箱侧面连通安装有出水管。

借由上述技术方案，本实用新型提供了一种用于半导体加工的废水过滤装置，至少具备以下有益效果：

1、本实用新型由于替换组件的设置，在维护时通过过滤一和过滤板二的替换使用，保障一个过滤板正常过滤使用，对被替换的过滤板进行维护清理，减少更换维护时间，不占用过滤工序的时间，保障过滤的工作效率。

2、本实用新型由于滑轨和螺钉的设置，在需要更换过滤板时可通过将过滤板上的螺钉拆下，可直接将过滤板抽下，便于对过滤板进行拆卸更换，便于维修。

3、本实用新型由于分流组价的设置，通过分流块可防止废水集中流入过滤板上某个位置发生堵塞的情况，保障废水可分散流入过滤板上，保证过滤效果。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。

在附图中：

图1为本实用新型半导体加工的废水过滤装置整体示意图；

图2为本实用新型中导流组件结构示意图；

图3为本实用新型中替换组件结构示意图；

图4为本实用新型中滑轨与过滤板一连接示意图；

图5为本实用新型中清洁组件结构示意图。

图中：1、过滤箱；2、过滤板一；3、过滤板二；4、上盖；5、导流组件；501、进水管；502、导流块；6、替换组件；601、第一齿条；602、齿轮；603、第二齿条；604、转动杆；605、电机；606、滑轨；607、螺钉；7、清洁组件；701、第一清洁刷；702、第二清洁刷；8、出水管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

图1-图5为本实用新型的一个实施例：一种用于半导体加工的废水过滤装置，包括过滤箱1，过滤箱1内安装有过滤板，过滤板分为过滤板一2和过滤板二3，且过滤箱1上安装有上盖4，上盖4上安装有防堵塞的导流组件5，过滤箱1上安装有便于维护的替换组件6，且过滤箱1侧面安装有用于清洁过滤板一2和过滤板二3的清洁组件7，替换组件6能够在维护时将过滤板一2和过滤板二3进行替补，保证过滤工序的正常工作，减少维护时间，又便于对需要维护的过滤板进行维修。

替换组件6包括安装在过滤板一2下端面的两个第一齿条601，两个第一齿条601下侧均啮合有齿轮602，两个齿轮602下侧均啮合两个第二齿条603，第二齿条603安装在过滤板二3的上端面，两个齿轮602之间固定有转动杆604，过滤箱1上安装有驱动转动杆604转动的电机605，过滤箱1内对应过滤板一2和过滤板二3的位置开设有滑槽，过滤板一2和过滤板二3滑动连接在滑槽中，当现在正在使用的是过滤板二3，需要对过滤板二3进行维护时，启动电机605，通过电机605通过转动杆604带动两个齿轮602转动，从而使得齿轮602带动第一齿条601和第二齿条603反方向运动，第二齿条603带动过滤板二3向过滤箱1外侧移动，第一齿条601带动过滤板一2向过滤箱1内部移动，直至过滤板一2的侧面贴合在过滤箱1内壁上，即可对过滤板二3进行维护清理，该机构通过过滤板一2和过滤板二3的替换使用，在维护时，只需停止两个过滤板进行替补更换的时间，便可继续进行过滤工作，被替补的过滤板可在过滤箱1外侧进行维护清理，不占用过滤工序的时间，保障过滤的工作效率。

本实施例中，导流组件5包括连通安装在上盖4上的进水管501，过滤箱1侧面连通安装有出水管8，进水管501下方设有固定在上盖4上的导流块502，导流块502上开设有导流孔，导流块502呈弧形状，废水通过进水管501进入，落到弧形状的导流块502上废水通过导流块上502的导流孔进行分流，导流块502外侧的废水顺着导流块502流到过滤板上，防止废水集中流入过滤板上某个位置，长时间发生堵塞的情况，保障废水可分散流入过滤板，增加过滤板的使用面积，保证过滤效果。

本实施例中，清洁组件7包括安装在过滤板一2两侧的第一清洁刷701，第一清洁刷701转动连接在过滤箱1上，过滤板二3两侧安装有转动连接在过滤箱1上的第二清洁刷702，在过滤板一2和过滤板二3进行更换使用时，第一清洁刷701和第二清洁刷702即可对过滤板一2和过滤板二3外侧进行清理。

实施例2

在实施例1的基础上，图3-图4所示，第一齿条601和第二齿条603上均固定有滑轨606，过滤板一2和过滤板二3上对应滑轨606开设有滑道，过滤板一2和过滤板二3上螺纹安装有螺钉607，当过滤板在维修清理后不能在继续使用了，需要对过滤板进行更换时，将过滤板上的螺钉607拆下，通过滑轨606的作用可直接将过滤板抽下，便于对过滤板进行拆卸更换，便于维修。

本实施的具体实施过程如下：将废水从进水管501倒入，废水落到到导流块502上，可对废水进行分散流到过滤板上，防止废水集中流入过滤板某处长时间使用功能造成堵塞的情况，废水经过过滤后从出水管8排出，在长时间使用后，需要对正在使用功能的过滤板二3进行维护时，通过电机605带动转动杆604转动，使得齿轮602带动第一齿条601和第二齿条603反方向运动，第二齿条603带动过滤板二3向过滤箱1外侧移动，第一齿条601带动过滤板一2向过滤箱1内部移动，即可对被移出的过滤板二3进行维护清理，在维护时可减少维护清理时间，不占用过滤工序的时间，保障过滤的工作效率，过滤板一2和过滤板二3在更换时，过滤箱1外侧的第一清洁刷701对过滤板一2的外侧进行清理，第二清洁刷702即对过滤板二3的外侧进行清理。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种用于半导体加工的废水过滤装置，包括过滤箱(1)，其特征在于：所述过滤箱(1)内安装有过滤板，过滤板分为过滤板一(2)和过滤板二(3)，且过滤箱(1)上安装有上盖(4)，上盖(4)上安装有防堵塞的导流组件(5)，所述过滤箱(1)上安装有便于维护的替换组件(6)，且过滤箱(1)侧面安装有用于清洁过滤板一(2)和过滤板二(3)的清洁组件(7)；

所述替换组件(6)包括安装在过滤板一(2)下端面的两个第一齿条(601)，两个所述第一齿条(601)下侧均啮合有齿轮(602)，两个所述齿轮(602)下侧均啮合两个第二齿条(603)，第二齿条(603)安装在过滤板二(3)的上端面，两个所述齿轮(602)之间固定有转动杆(604)，所述过滤箱(1)上安装有驱动转动杆(604)转动的电机(605)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的废水过滤装置，其特征在于：所述过滤箱(1)内对应过滤板一(2)和过滤板二(3)的位置开设有滑槽，所述过滤板一(2)和过滤板二(3)滑动连接在滑槽中。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的废水过滤装置，其特征在于：所述第一齿条(601)和第二齿条(603)上均固定有滑轨(606)，所述过滤板一(2)和过滤板二(3)上对应滑轨(606)开设有滑道，所述过滤板一(2)和过滤板二(3)上螺纹安装有螺钉(607)。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的废水过滤装置，其特征在于：所述导流组件(5)包括连通安装在上盖(4)上的进水管(501)，进水管(501)下方设有固定在上盖(4)上的导流块(502)，导流块(502)上开设有导流孔。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的废水过滤装置，其特征在于：所述清洁组件(7)包括安装在过滤板一(2)两侧的第一清洁刷(701)，第一清洁刷(701)转动连接在过滤箱(1)上，所述过滤板二(3)两侧安装有转动连接在过滤箱(1)上的第二清洁刷(702)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体加工的废水过滤装置，其特征在于：所述过滤箱(1)侧面连通安装有出水管(8)。