CN220658669U - 硅料清洗机机械臂抓篮检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，包括配合块和抓篮检测机构，配合块上端部铰接在机械臂上，被配置为，在所述机械臂未抓篮时在自重作用下处于自然下垂状态及在所述机械臂抓篮成功时被篮筐推至倾斜状态；抓篮检测机构被配置为在检测到所述配合块处于倾斜状态时生成抓篮成功信号。本实用新型实现先检测、后抓篮提升，以提高同步能力，安装操作方便，还不会出现卡顿。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅料清洗机领域，具体涉及一种硅料清洗机机械臂抓篮检测装置。
背景技术
硅的使用越来越广泛，其大多都是用来制作半导体硅片等物品，在日常生产时会产生很多的废料，为了不浪费原料，都会使用清洗机洗去杂质，再次回收利用。硅料表面的污染物会严重影响产品的可靠性、性能、和成品率。随着人们对原料要求的提高和微电子技术的发展，器件由于污染物导致的影响也愈加突出。硅料清洗技术毫无疑问成了半导体工艺以及硅材料加工的关键领域。
相关技术中，如图1、图2所示，抓篮检测装置包括门形架5和单一检测机构8，门形架5通过复位弹簧6可升降地安装在机械臂2上，单一检测机构8包括单一感应探头81和单一感应块82，单一感应探头81安装在机械臂2上，单一感应块82安装在门形架5上，机械臂2水平移动到抓篮位抓到篮筐并提升后，门形架5在篮筐的重力作用下下行到使单一感应探头81能够感应到单一感应块82并生成检测信号，也就是说，只有在机械臂2抓到篮且开始提升时才会进行抓篮检测。因此，当机械臂2行程发生错误(包括机械臂2行程限位误感应)或机械臂2未完全抓到篮时，机械臂2会按照程序完成抓篮并提升的动作，此时就有抓篮倾斜或掉篮筐的事故风险。并且，抓篮检测装置需要在提升篮筐过程触发，当机械臂2放置完篮筐时依靠配套的复位弹簧6弹力恢复原样，如果复位弹簧6损坏则会出现恢复延迟或不恢复的现象，此时系统默认机械臂2抓篮，影响正常工作。再者，门形架5单薄容易变形损坏，通过螺丝7与槽的配合实现升降，配套的槽螺丝7较多易发生卡顿现象，设计复杂且设备容易发生信息误差导致的压筐，掉筐等事故。
综上，相关技术中，设备在运行时，抓篮检测触发时间偏晚且容易卡顿存在不同步的现象，设备运行中易出现误报的现象，需人工恢复运行。检测机构设计单薄，长时间使用比较容易变形损坏，增加人工检查维修，设备的检测感应只有一个，预防措施较差，降低设备的可靠性和设备的运行能力。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题是克服相关技术的缺陷，提供一种硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，它实现先检测、后抓篮提升，以提高同步能力，安装操作方便，还不会出现卡顿。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，包括：
配合块，上端部铰接在机械臂上，被配置为，在所述机械臂未抓篮时在自重作用下处于自然下垂状态及在所述机械臂抓篮成功时被篮筐推至倾斜状态；
抓篮检测机构，被配置为在检测到所述配合块处于倾斜状态时生成抓篮成功信号。
进一步，料清洗机机械臂抓篮检测装置，还包括：
复位检测机构，被配置为在检测到所述配合块处于自然下垂状态时向生成复位成功信号。
进一步，所述抓篮检测机构包括第一感应探头和第一感应块；其中，
所述第一感应探头和所述第一感应块中的一个安装在所述机械臂上，另一个安装在所述配合块上；
所述抓篮检测机构被配置为在所述配合块处于倾斜状态时所述第一感应探头感应到所述第一感应块以生成抓篮成功信号。
进一步，所述复位检测机构包括第二感应探头和第二感应块；其中，
所述第二感应探头和所述第二感应块中的一个安装在所述机械臂上，另一个安装在所述配合块上；
所述复位检测机构被配置为在所述配合块处于自然下垂状态时所述第二感应探头感应到所述第二感应块以生成复位成功信号。
进一步，所述配合块呈椭圆形，且在处于自然下垂状态时，其长轴处于竖直状态。
采用上述技术方案后，本实用新型具有以下有益效果：
1、本实用新型改变机械臂抓篮检测和机械臂抓篮提升的时间顺序，当机械臂水平移动到抓篮位过程中，篮筐推动感应块1转动至倾斜状态，从而触发抓篮检测感应后再进行抓篮提升，实现先感应后抓篮提升，提高设备的信息同步能力，减少了抓篮倾斜或掉篮筐的事故风险，有效改善抓篮准确度，提高机器运行能力；
2、本实用新型同时简化抓篮检测机构的设计结构和固定方式，配合块依靠自身的重力来恢复到原始的安装位置，整个装置只通过一个铰接轴或一颗螺丝铰接，有效规避了相关技术中螺丝较多、检测装置变形导致的复位卡顿现象，有效的提高设备的运行能力和可靠性，也简化的人工的检查维修工序。
附图说明
图1为相关技术中机械臂未抓篮时的结构示意图；
图2为相关技术中机械臂抓篮成功时的结构示意图；
图3为本实用新型中的机械臂未抓篮时的结构示意图；
图4为本实用新型中的机械臂抓篮成功时的结构示意图；
图中，1、配合块；2、机械臂；3、抓篮检测机构；31、第一感应探头；32、第一感应块；4、复位检测机构；41、第二感应探头；42、第二感应块；5、门形架；6、复位弹簧；7、螺丝；8、单一检测机构；81、单一感应探头；82、单一感应块。
具体实施方式
为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明。
如图3、4所示，一种硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，包括：
配合块1，上端部铰接在机械臂2上，被配置为，在机械臂2未抓篮时在自重作用下处于自然下垂状态及在机械臂2抓篮成功时被篮筐推至倾斜状态；
抓篮检测机构3，被配置为在检测到配合块1处于倾斜状态时生成抓篮成功信号。
具体地，相关技术中，如图1、2所示，机械臂2先水平移动到抓篮位后直接抓篮，提升过程中触发抓篮检测感应，整个过程先抓篮提升后感应，本实施例中，如图3、4所示，改变机械臂2抓篮检测和机械臂2抓篮提升的时间顺序，当机械臂2水平移动到抓篮位过程中，篮筐推动感应块1转动至倾斜状态，从而触发抓篮检测机构3抓篮检测感应后再进行抓篮提升，实现先感应后抓篮提升，提高设备的信息同步能力，减少了抓篮倾斜或掉篮筐的事故风险，有效改善抓篮准确度，提高机器运行能力。并且，相关技术中，如图1、2所示，依靠顶部复位弹簧6进行感应复位，用到的螺丝7较多，易与门形架5摩擦，复位弹簧6弹力不均匀、门形架5变形就会出现复位卡顿现象，本实施例中，如图3、4所示，同时简化抓篮检测机构的设计结构和固定方式，配合块1依靠自身的重力来恢复到原始的安装位置，整个装置只通过一个销轴或螺丝铰接，有效规避了相关技术中螺丝较多、检测装置变形导致的复位卡顿现象，有效的提高设备的运行能力和可靠性，也简化的人工的检查维修工序。
需要注意的是，抓篮检测机构3可以与控制机械臂2动作的控制系统信号连接，控制系统在接收到抓篮成功信号再控制机械臂2提升。
在一个实施例中，如图3、4所示，硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，还包括：
复位检测机构4，被配置为在检测到配合块1处于自然下垂状态时向生成复位成功信号。
本实施例中在配合块1和机械臂2之间还设置有复位检测机构4，即使因异常情况导致出现卡顿而不能复位，也能及时知悉。
在本实施例中，在机械臂2放置完篮筐后，如果复位检测机构4未生成复位成功信号，可以触发声光报警装置报警。
在一个实施例中，如图3、4所示，抓篮检测机构3包括第一感应探头31和第一感应块32；其中，
第一感应探头31和第一感应块32中的一个安装在机械臂2上，另一个安装在配合块1上；
抓篮检测机构3被配置为在配合块1处于倾斜状态时第一感应探头31感应到第一感应块32以生成抓篮成功信号。
优选地，第一感应探头31安装在机械臂2上，第一感应块32安装在配合块1上。在机械手水平移动到抓篮位时，配合块1恰好被篮筐推至使第一感应块32正对第一感应探头31的倾斜状态，第一感应探头31能够感应到第一感应块32。
需要注意的是，抓篮检测机构3不限于以上所介绍的，还可以为激光对射传感器等。
在一个实施例中，如图3、4所示，复位检测机构4包括第二感应探头41和第二感应块42；其中，
第二感应探头41和第二感应块42中的一个安装在机械臂2上，另一个安装在配合块1上；
复位检测机构4被配置为在配合块1处于自然下垂状态时第二感应探头41感应到第二感应块42以生成复位成功信号。
优选地，第二感应探头41安装在机械臂2上，第二感应块42安装在配合块1上。在机械手放置完篮筐后，配合块1在自重作用下呈自然下垂状态，此时，第二感应块42正对第二感应探头41，恰好能够被第二感应探头41感应到。
需要注意的是，复位检测机构4不限于以上所介绍的，还可以为激光对射传感器等。
在一个实施例中，如图3、4所示，配合块1呈椭圆形，且在处于自然下垂状态时，其长轴处于处于竖直状态。当然，配合块1的形状不限于椭圆形，还可以为方形、圆形、长条形等，可以为实体结构，可以为框形结构。优选椭圆形，椭圆形的配合块1通过其弧面与篮筐接触，接触面比较流畅，进而可以在篮筐的推动下轻松地发生转动。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (5)
1.一种硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，其特征在于，
包括：
配合块(1)，上端部铰接在机械臂(2)上，被配置为，在所述机械臂(2)未抓篮时在自重作用下处于自然下垂状态及在所述机械臂(2)抓篮成功时被篮筐推至倾斜状态；
抓篮检测机构(3)，被配置为在检测到所述配合块(1)处于倾斜状态时生成抓篮成功信号。
2.根据权利要求1所述的硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，其特征在于，
还包括：
复位检测机构(4)，被配置为在检测到所述配合块(1)处于自然下垂状态时向生成复位成功信号。
3.根据权利要求1所述的硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，其特征在于，
所述抓篮检测机构(3)包括第一感应探头(31)和第一感应块(32)；其中，
所述第一感应探头(31)和所述第一感应块(32)中的一个安装在所述机械臂(2)上，另一个安装在所述配合块(1)上；
所述抓篮检测机构(3)被配置为在所述配合块(1)处于倾斜状态时所述第一感应探头(31)感应到所述第一感应块(32)以生成抓篮成功信号。
4.根据权利要求2所述的硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，其特征在于，
所述复位检测机构(4)包括第二感应探头(41)和第二感应块(42)；其中，
所述第二感应探头(41)和所述第二感应块(42)中的一个安装在所述机械臂(2)上，另一个安装在所述配合块(1)上；
所述复位检测机构(4)被配置为在所述配合块(1)处于自然下垂状态时所述第二感应探头(41)感应到所述第二感应块(42)以生成复位成功信号。
5.根据权利要求1所述的硅料清洗机机械臂抓篮检测装置，其特征在于，
所述配合块(1)呈椭圆形，且在处于自然下垂状态时，其长轴处于竖直状态。
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