CN220649380U - 一种晶圆腐蚀检测装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种晶圆腐蚀检测装置，涉及晶圆腐蚀检测技术领域。用于解决现有技术中不便于探头模块检测晶圆不同部位的厚度的问题。所述检测装置包括第一支撑板、竖直升降机构、第一水平调节机构和探头，第一支撑板竖直安装在腐蚀装置的腐蚀平台上，腐蚀平台上开有腐蚀腔，第一支撑板上开有位于竖直方向的第一滑动槽；部分竖直升降机构安装在腐蚀平台的顶面，部分竖直升降机构延伸至第一滑动槽内；第一水平调节机构安装在竖直升降机构上；探头安装在第一水平调节机构上，探头对准腐蚀腔，以检测安装在腐蚀腔内的晶圆的厚度。本申请可以调节探头检测晶圆不同部位的厚度，进而可以使同一晶圆不同部位的厚度的一致性更好。

Description

一种晶圆腐蚀检测装置

技术领域

本申请涉及晶圆腐蚀检测技术领域，具体而言，涉及一种晶圆腐蚀检测装置。

背景技术

超薄晶圆减薄后需要腐蚀去除多余硅厚度达到最终的厚度标准，为达到严格的晶圆厚度标准，需要晶圆腐蚀检测装置对每片腐蚀前晶圆与腐蚀后晶圆进行片测厚度。

现有技术中的晶圆腐蚀检测装置包括光学探头模块、采集模块、传输模块以及供电模块。光学探头模块用于检测设置在腐蚀装置的俯视腔内的晶圆，在晶圆下方设置并半包覆晶圆的聚焦环，设置在聚焦环下方的静电吸盘，间隔晶圆并在晶圆上方设置的淋气头，淋气头包括至少两个喷淋孔洞。在工作状态下，基于光学探头模块所采集拍摄的淋气头图像确定两个喷淋孔洞的中心像素之间的相对距离、喷淋孔洞的孔内径的相对尺寸；基于喷淋孔洞的中心孔间距确定两个喷淋孔洞的中心孔间距的实际距离；确定每个喷淋孔洞的孔内径的实际尺寸，并基于实际尺寸判断淋气头内喷淋孔洞的腐蚀程度，以确定检测晶圆在腐蚀过程中的厚度。该晶圆腐蚀检测装置通过光学探头模块可以实时地检测晶圆在腐蚀过程中的厚度，从而可以使晶圆更容易达到相应的厚度标准。

然而，现有技术中晶圆腐蚀检测装置中的光线探头模块的位置是固定的，因此，不便于光线探头模块检测晶圆不同部位的厚度，从而使得同一晶圆不同部位的厚度一致性较差。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种晶圆腐蚀检测装置，旨在解决现有技术中晶圆腐蚀检测装置中探头的位置固定，从而不便于探头模块检测晶圆不同部位的厚度的技术问题。

为解决上述技术问题，本申请提供了一种晶圆腐蚀检测装置，所述检测装置包括：

第一支撑板；所述第一支撑板安装在所述腐蚀装置的腐蚀平台上，所述腐蚀平台上开有腐蚀腔，所述第一支撑板上开有位于竖直方向的第一滑动槽；

竖直升降机构；部分所述竖直升降机构安装在所述腐蚀平台的顶面，部分所述竖直升降机构延伸至所述第一滑动槽内；

第一水平调节机构；所述第一水平调节机构安装在所述竖直升降机构上；

探头；所述探头安装在所述第一水平调节机构上，所述探头对准所述腐蚀腔，以检测安装在所述腐蚀腔内的晶圆的厚度。

在一种可能的实施方式中，所述竖直升降机构包括安装在所述腐蚀平台顶面的升降电机，所述升降电机的电机轴上安装有竖直螺杆，所述竖直螺杆上通过竖直螺母连接有位于水平方向的升降板，所述升降板的一端延伸至所述第一滑动槽内，所述升降板上开有位于所述腐蚀腔上方的检测通孔，所述探头通过所述检测通孔对准所述腐蚀腔。

在一种可能的实施方式中，所述第一水平调节机构包括相对安装在所述升降板顶面的两个第一安装板，两个所述第一安装板间通过轴承安装有第一水平螺杆，所述第一水平螺杆上通过第一水平螺母安装有第一水平滑动板，两个所述第一安装板间还安装有穿过所述第一水平滑动板的第一水平滑杆，所述升降板上还安装有与所述第一水平螺杆的一端连接的第一水平电机，所述探头安装在所述第一水平滑动板上。

在一种可能的实施方式中，所述检测装置还包括安装在所述第一水平滑动板上的第二水平调节机构，所述第二水平调节机构的调节方向与所述第一水平调节机构的调节方向相交，所述探头安装在所述第二水平调节机构上。

在一种可能的实施方式中，所述第二水平调节机构包括安装在所述升降板顶面的滑动组件，所述滑动组件沿第一水平调节机构调节的方向滑动；

所述滑动组件上安装有第二安装板，所述第一水平滑动板的顶面安装有第三安装板，所述第三安装板与所述第二安装板间通过轴承安装有第二水平螺杆，所述第二水平螺杆上通过第二水平螺母安装有第二水平滑动板，所述第二安装板与所述第三安装板间还安装有穿过所述第二水平滑动板的第二水平滑杆，所述第一水平滑动板上还安装有与所述第二水平螺杆的端部连接的第二水平电机，所述探头安装在所述第二水平滑动板上。

在一种可能的实施方式中，所述滑动组件包括相对安装在所述升降板顶面的两个第四安装板，两个所述第四安装板间安装有第三水平滑杆，所述第三水平滑杆上安装有滑块，所述第二安装板安装在所述滑块上，所述滑块沿第一水平调节机构调节的方向滑动。

在一种可能的实施方式中，所述检测装置还包括安装在所述第二水平滑动板上的角度调节机构，所述探头安装在所述角度调节机构上。

在一种可能的实施方式中，所述角度调节机构包括相对安装在所述第二水平滑动板顶面的两个第五安装板，两个所述第五安装板间通过轴承安装有旋转杆，所述旋转杆上安装有角度调节块，所述探头安装在所述角度调节块上，所述第二水平滑动板的顶面还安装有与所述旋转杆的一端连接的角度调节电机。

在一种可能的实施方式中，所述腐蚀平台的顶面还安装有与所述第一支撑板相对设置的导向组件。

在一种可能的实施方式中，所述导向组件包括第二支撑板和竖直滑杆；

所述第二支撑板安装在所述腐蚀平台的顶面且与所述第一支撑板相对设置，所述第二支撑板上安装有位于竖直方向的第二滑动槽，所述升降板的另一端延伸至所述第二滑动槽内，所述竖直滑杆安装在所述腐蚀平台的顶面且穿过所述升降板。

相对于现有技术而言，本申请具有以下有益效果：

本申请实施例提出的一种晶圆腐蚀检测装置，通过竖直升降机构可以调节探头与晶圆在竖直方向的相对位置，通过第一水平调节机构可以调节探头与晶圆在第一水平调节机构调节方向的相对位置，从而可以调节探头检测晶圆不同部位的厚度，进而可以使同一晶圆不同部位的厚度的一致性更好。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的一种晶圆腐蚀检测装置的正面剖视结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种晶圆腐蚀检测装置的俯视结构示意图；

图3为本申请实施例提供的图2中A-A处的剖视结构示意图；

图4为本申请实施例提供的第二水平调节机构安装在第一水平调节机构上的俯视结构示意图；

图5为本申请实施例提供的角度调节机构安装在第二水平调节机构上的正面剖视结构示意图；

图6为本申请实施例提供的角度调节机构的俯视结构示意图。

附图标记：1、腐蚀平台；1001、腐蚀腔；2、升降电机；3、第一支撑板；31、第一滑动槽；4、升降板；41、竖直螺母；42、检测通孔；5、竖直螺杆；6、第一水平调节机构；61、第一水平螺母；62、第一水平滑杆；63、第一水平螺杆；64、第一水平滑动板；65、第一安装板；66、第一水平电机；7、第二水平调节机构；71、第二水平电机；72、第三安装板；73、第二水平螺杆；74、第二水平滑杆；75、第二水平滑动板；76、第二安装板；77、第二水平螺母；8、探头；9、角度调节机构；91、第五安装板；92、角度调节块；93、角度调节电机；94、旋转杆；10、滑动组件；101、第四安装板；102、第三水平滑杆；103、滑块；11、第二支撑板；111、第二滑动槽；12、竖直滑杆。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参见图1，本申请提供了一种晶圆腐蚀检测装置，该检测装置包括第一支撑板3、竖直升降机构、第一水平调节机构6和探头8。

第一支撑板3竖直安装在腐蚀装置的腐蚀平台1上，腐蚀平台1上开有腐蚀腔1001，第一支撑板3上开有位于竖直方向的第一滑动槽31；部分竖直升降机构安装在腐蚀平台1的顶面，部分竖直升降机构延伸至第一滑动槽31内；第一水平调节机构6安装在竖直升降机构上；探头8安装在第一水平调节机构6上，探头8对准腐蚀腔1001，以检测安装在腐蚀腔1001内的晶圆的厚度。

腐蚀装置为常规的装置，将检测装置安装在腐蚀装置的腐蚀平台1上，并使检测装置与腐蚀装置通讯连接，利用检测装置的探头8对腐蚀过程中的晶圆进行实时检测。当晶圆厚度满足规范要求时，检测装置自动将信号反馈至腐蚀装置终止腐蚀程序，完成腐蚀操作，其中，检测装置与腐蚀装置通讯连接等为常规技术。此过程不需要人为调整腐蚀时间及测试厚度，实现腐蚀与厚度测试一体全自动化，降低人员操作难度。如此，可以省略人工计算腐蚀速率过程及腐蚀前与腐蚀后片测晶圆厚度的过程，从而可以解决人工测试过程中造成的晶圆沾污、暗纹和碎片等问题，以及解决了晶圆测试复杂的繁琐过程及晶圆每片测试厚度过程出现的异常等问题。

第一水平调节机构6的调节方向为第一水平方向Y，具体地，在对晶圆的厚度进行检测的过程中，可以通过竖直调节机构依次带动第一水平调节机构6和探头8在竖直方向移动，因此，通过竖直调节机构可以调节探头8与腐蚀腔1001中晶圆在竖直方向的相对位置。通过第一水平调节机构6可以带动探头8在水平方向移动，因此，通过第一水平调节机构6可以调节探头8与腐蚀腔1001中晶圆在第一水平方向Y的相对位置。如此，探头8可以对晶圆的不同部位进行厚度检测。

基于上述设计，本实施例通过竖直升降机构可以调节探头8与晶圆在竖直方向的相对位置，通过第一水平调节机构6可以调节探头8与晶圆在第一水平方向Y的相对位置，从而可以调节探头8检测晶圆不同部位的厚度，进而可以使同一晶圆不同部位的厚度的一致性更好。

在一些实施例中，请再次参见图1，竖直升降机构包括安装在腐蚀平台1顶面的升降电机2，升降电机2的电机轴上安装有竖直螺杆5，竖直螺杆5上通过竖直螺母41连接有位于水平方向的升降板4，升降板4的一端延伸至第一滑动槽31内，升降板4上开有位于腐蚀腔1001上方的检测通孔42，探头8通过检测通孔42对准腐蚀腔1001。

升降电机2为常规的电机，升降电机2的电路连接、安装方式和控制方式等均为常规方式。当需要调节探头8在竖直方向的位置时，为升降电机2通电并使升降电机2带动竖直螺杆5旋转，由于竖直螺杆5与升降板4之间通过竖直螺母41连接，且升降板4的一端延伸至第一滑动槽31内。因此，根据丝杆螺母机构的工作原理，可知升降板4会沿竖直螺杆5在竖直方向移动，升降板4再依次带动第一水平调节机构6和探头8在竖直方向移动。如此，可以更方便、更自动、更精确地调节探头8与晶圆之间在竖直方向的相对位置。

在一些实施例中，请参见图2，第一水平调节机构6包括相对安装在升降板4顶面的两个第一安装板65，两个第一安装板65间通过轴承安装有第一水平螺杆63，第一水平螺杆63上通过第一水平螺母61安装有第一水平滑动板64，两个第一安装板65间还安装有穿过第一水平滑动板64的第一水平滑杆62，升降板4上还安装有与第一水平螺杆63的一端连接的第一水平电机66，探头8安装在第一水平滑动板64上。

第一水平电机66为常规的电机，第一水平电机66的电路连接、安装方式和控制方式等均为常规方式。当需要调节探头8在第一水平方向Y的位置时，为第一水平电机66通电，第一水平电机66通电后带动第一水平螺杆63旋转，由于第一水平螺杆63与第一水平滑动板64之间通过第一水平螺母61连接，且第一水平滑杆62穿过第一水平滑动板64。根据丝杆螺母机构的工作原理，可知第一水平滑动板64沿第一水平螺杆63和第一水平滑杆62在第一水平方向Y移动，第一水平滑动板64再带动探头8在第一水平方向Y移动。如此，可以更方便、更自动、更精确地调节探头8与晶圆之间在第一水平方向Y的相对位置。

在一些实施例中，请参见图1-图2，检测装置还包括安装在第一水平滑动板64上的第二水平调节机构7，第二水平调节机构7的调节方向与第一水平调节机构6的调节方向相交，探头8安装在第二水平调节机构7上。

第二水平调节机构7沿第二水平方向X调节，第二水平方向X与第一水平方向Y相交，优选地，第二水平方向X与第一水平方向Y相互垂直。通过第二水平调节机构7可以带动探头8沿第二水平方向X移动，从而可以调节探头8与晶圆在第二水平方向X的相对位置。

在一些实施例中，请参见图1-图5，第二水平调节机构7包括安装在升降板4顶面的滑动组件10，滑动组件10沿第一水平调节机构6调节的方向滑动；滑动组件10上安装有第二安装板76，第一水平滑动板64的顶面安装有第三安装板72，第三安装板72与第二安装板76间通过轴承安装有第二水平螺杆73，第二水平螺杆73上通过第二水平螺母77安装有第二水平滑动板75，第二安装板76与第三安装板72间还安装有穿过第二水平滑动板75的第二水平滑杆74，第一水平滑动板64上还安装有与第二水平螺杆73的端部连接的第二水平电机71，探头8安装在第二水平滑动板75上。

第二水平电机71为常规的电机，第二水平电机71的电路连接、安装方式和控制方式等均为常规方式。当需要调节探头8在第二水平方向X的位置时，为第二水平电机71通电，第二水平电机71通电后带动第二水平螺杆73旋转，由于第二水平螺杆73与第二水平滑动板75之间通过第二水平螺母77连接，且第二水平滑杆74穿过第二水平滑动板75。根据丝杆螺母机构的工作原理，可知第二水平滑动板75沿第二水平螺杆73和第二水平滑杆74在第二水平方向X移动，第二水平滑动板75再带动探头8在第二水平方向X移动。如此，可以更方便、更自动、更精确地调节探头8与晶圆之间在第二水平方向X的相对位置。

在一些实施例中，请参见图2和图4-图5，滑动组件10包括相对安装在升降板4顶面的两个第四安装板101，两个第四安装板101间安装有第三水平滑杆102，第三水平滑杆102上安装有滑块103，第二安装板76安装在滑块103上，滑块103沿第一水平调节机构6调节的方向滑动。

当第一水平滑动板64沿第一水平方向Y移动时，会带动滑块103沿第三水平滑杆102在第一水平方向Y移动，滑块103再带动第二安装板76和第二水平滑动板75等一起沿第一水平方向Y移动，从而实现第一水平调节机构6带动第二水平调节机构7沿第一水平方向Y移动的目的。

在一些实施例中，请再次参见图1-图3，检测装置还包括安装在第二水平滑动板75上的角度调节机构9，探头8安装在角度调节机构9上。通过角度调节机构9，可以调节探头8与晶圆间的相对角度，从而可以使探头8更容易对晶圆的不同位置进行检测。

在一些实施例中，请参见图1-图5，角度调节机构9包括相对安装在第二水平滑动板75顶面的两个第五安装板91，两个第五安装板91间通过轴承安装有旋转杆94，旋转杆94上安装有角度调节块92，探头8安装在角度调节块92上，第二水平滑动板75的顶面还安装有与旋转杆94的一端连接的角度调节电机93。

角度调节电机93为常规的电机，角度调节电机93的电路连接、安装方式和控制方式等均为常规方式。当需要调节探头8与晶圆间的角度时，为角度调节电机93通电，角度调节电机93通电后带动旋转杆94旋转，旋转杆94再带动角度调节块92摆动，角度调节块92再带动探头8摆动一定的幅度。如此，可以更方便、更自动和更准确地调节探头8与晶圆之间的相对角度，从而可以进一步对晶圆的不同部位进行检测。

在一些实施例中，请再次参见图1，腐蚀平台1的顶面还安装有与第一支撑板3相对设置的导向组件。通过导向组件可以对竖直升降机构在竖直方向的移动起到导向的作用，从而可以使竖直升降机构在竖直方向上移动得更稳定。

在一些实施例中，请再次参见图1，导向组件包括第二支撑板11和竖直滑杆12；第二支撑板11安装在腐蚀平台1的顶面且与第一支撑板3相对设置，第二支撑板11上安装有位于竖直方向的第二滑动槽111，升降板4的另一端延伸至第二滑动槽111内，竖直滑杆12安装在腐蚀平台1的顶面且穿过升降板4。

当升降板4在竖直方向移动时，升降板4会沿着第一滑动槽31、第二滑动槽111滑动和竖直滑杆12滑动，第一滑动槽31、第二滑动槽111和竖直滑杆12对升降板4起到限位和导向的作用。如此，通过第一滑动槽31、第二滑动槽111和竖直滑杆12，可以使探头8在竖直方向滑动得更稳定。另外，当竖直螺杆5安装在升降板4的一端时，第二支撑板11和竖直滑杆12还可以对升降板4起到稳定的作用。

综上，本申请中通过竖直升降机构可以调节探头8与晶圆在竖直方向的相对位置，通过第一水平调节机构6可以调节探头8与晶圆在第一水平方向Y的相对位置，通过第二水平调节机构7可以调节探头8与晶圆在第二水平方向X的相对位置，通过角度调节机构9可以调节探头8与晶圆的相对角度，从而可以进一步调节探头8检测晶圆不同部位的厚度，进而可以进一步使同一晶圆不同部位的厚度的一致性更好。

以上所述，仅为本申请的各种实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

第一支撑板(3)；所述第一支撑板(3)安装在腐蚀装置的腐蚀平台(1)上，所述腐蚀平台(1)上开有腐蚀腔(1001)，所述第一支撑板(3)上开有位于竖直方向的第一滑动槽(31)；

竖直升降机构；部分所述竖直升降机构安装在所述腐蚀平台(1)的顶面，部分所述竖直升降机构延伸至所述第一滑动槽(31)内；

第一水平调节机构(6)；所述第一水平调节机构(6)安装在所述竖直升降机构上；

探头(8)；所述探头(8)安装在所述第一水平调节机构(6)上，所述探头(8)对准所述腐蚀腔(1001)，以检测安装在所述腐蚀腔(1001)内的晶圆的厚度。

2.根据权利要求1所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述竖直升降机构包括安装在所述腐蚀平台(1)顶面的升降电机(2)，所述升降电机(2)的电机轴上安装有竖直螺杆(5)，所述竖直螺杆(5)上通过竖直螺母(41)连接有位于水平方向的升降板(4)，所述升降板(4)的一端延伸至所述第一滑动槽(31)内，所述升降板(4)上开有位于所述腐蚀腔(1001)上方的检测通孔(42)，所述探头(8)通过所述检测通孔(42)对准所述腐蚀腔(1001)。

3.根据权利要求2所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述第一水平调节机构(6)包括相对安装在所述升降板(4)顶面的两个第一安装板(65)，两个所述第一安装板(65)间通过轴承安装有第一水平螺杆(63)，所述第一水平螺杆(63)上通过第一水平螺母(61)安装有第一水平滑动板(64)，两个所述第一安装板(65)间还安装有穿过所述第一水平滑动板(64)的第一水平滑杆(62)，所述升降板(4)上还安装有与所述第一水平螺杆(63)的一端连接的第一水平电机(66)，所述探头(8)安装在所述第一水平滑动板(64)上。

4.根据权利要求3所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括安装在所述第一水平滑动板(64)上的第二水平调节机构(7)，所述第二水平调节机构(7)的调节方向与所述第一水平调节机构(6)的调节方向相交，所述探头(8)安装在所述第二水平调节机构(7)上。

5.根据权利要求4所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述第二水平调节机构(7)包括安装在所述升降板(4)顶面的滑动组件(10)，所述滑动组件(10)沿第一水平调节机构(6)调节的方向滑动；

所述滑动组件(10)上安装有第二安装板(76)，所述第一水平滑动板(64)的顶面安装有第三安装板(72)，所述第三安装板(72)与所述第二安装板(76)间通过轴承安装有第二水平螺杆(73)，所述第二水平螺杆(73)上通过第二水平螺母(77)安装有第二水平滑动板(75)，所述第二安装板(76)与所述第三安装板(72)间还安装有穿过所述第二水平滑动板(75)的第二水平滑杆(74)，所述第一水平滑动板(64)上还安装有与所述第二水平螺杆(73)的端部连接的第二水平电机(71)，所述探头(8)安装在所述第二水平滑动板(75)上。

6.根据权利要求5所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述滑动组件(10)包括相对安装在所述升降板(4)顶面的两个第四安装板(101)，两个所述第四安装板(101)间安装有第三水平滑杆(102)，所述第三水平滑杆(102)上安装有滑块(103)，所述第二安装板(76)安装在所述滑块(103)上，所述滑块(103)沿第一水平调节机构(6)调节的方向滑动。

7.根据权利要求5所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括安装在所述第二水平滑动板(75)上的角度调节机构(9)，所述探头(8)安装在所述角度调节机构(9)上。

8.根据权利要求7所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述角度调节机构(9)包括相对安装在所述第二水平滑动板(75)顶面的两个第五安装板(91)，两个所述第五安装板(91)间通过轴承安装有旋转杆(94)，所述旋转杆(94)上安装有角度调节块(92)，所述探头(8)安装在所述角度调节块(92)上，所述第二水平滑动板(75)的顶面还安装有与所述旋转杆(94)的一端连接的角度调节电机(93)。

9.根据权利要求2-8任意一项所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述腐蚀平台(1)的顶面还安装有与所述第一支撑板(3)相对设置的导向组件。

10.根据权利要求9所述的晶圆腐蚀检测装置，其特征在于，所述导向组件包括第二支撑板(11)和竖直滑杆(12)；

所述第二支撑板(11)安装在所述腐蚀平台(1)的顶面且与所述第一支撑板(3)相对设置，所述第二支撑板(11)上安装有位于竖直方向的第二滑动槽(111)，所述升降板(4)的另一端延伸至所述第二滑动槽(111)内，所述竖直滑杆(12)安装在所述腐蚀平台(1)的顶面且穿过所述升降板(4)。