CN220627736U - 一种扫描电镜样品传输装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扫描电镜样品传输装置，包括：抬升台、调整盘、调整杆、调整块、推动结构以及真空结构等部件，利用调整杆、调整盘、抬升机构等装置，将样品调整至抬升台上的中心区域后进行传输，能够在传输过程中明确且控制样品的位置，具有精确控制样品传输的功能，解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷；推动结构和真空结构位于同一水平面且推动杆水平运动方向指向真空腔，在抬升台将样品抬升至推动结构和真空结构所处水平面后，样品能够进行水平运动，相比于现有技术，提高了样品传输过程中样品位置的精确性。

Description

一种扫描电镜样品传输装置

技术领域

本实用新型涉及一种扫描电镜技术领域，尤其涉及一种扫描电镜样品传输装置。

背景技术

扫描电子显微镜（简称扫描电镜）是研究材料微观结构的重要工具，可以表征微米/纳米尺度的形貌、结构和特征，并可以定性分析材料的成分特征，这使得扫描电镜在各类材料的研发、改进、质量检测等环节中均有大量的应用。现有的扫描电子显微镜从种类上，可大致分为大型落地式扫描电镜和小型化（桌上型）扫描电镜。近年来，随着技术的更新迭代，小型化扫描电镜日益受到科研工作者们的喜爱，其性能和市场占率有已经逐渐向传统的大型落地式电镜逼近。

实际使用过程中有打开样品仓取放样品两个操作步骤，而取放样品时又需要放入气体然后再重新抽真空。这一操作，一方面会增加时间成本；另一方面会使环境中的大气进入样品仓，随着使用时间的增长与使用次数的增加必然会对样品仓造成污染，也会导致样品仓内真空度的下降，明显缩短扫描电子显微镜的使用寿命，因此，样品真空传输装置的必要性就十分显著了。

现有技术CN219106070U中公开了一种传输装置，通过预抽室、动力设备、第一定滑轮、第二定滑轮、弹性伸缩组件、拉绳和传送组件等部件，能够解决取放样品时开闭仓门对样品仓造成的污染以及真空度降低的问题，但由于在传输过程中将样品多次运输，会造成样品位置偏移，在放进观察室时还需要重新调整位置并对焦。

因此，有必要对现有技术中的样品真空转移装置进行改进，以解决上述问题。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种扫描电镜样品传输装置，旨在解决现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架，设置在所述机架上的调整腔，以及分别设置在所述调整腔上的抬升机构和调整机构；

所述抬升机构从下到上依次设置有：气缸，与所述气缸固定连接的支杆，以及与所述支杆固定连接的抬升台；所述气缸与所述机架固定连接，所述支杆带动所述抬升台竖直运动；

所述调整机构包括：调整盘，和与所述调整盘铰链连接的若干所述调整杆；所述调整盘位于所述气缸正下方，每个所述调整杆均铰接有一个调整块，所述调整块底部设置有滑块，所述滑块与所述调整腔滑动连接，所述调整盘底部固定设置有伸缩机构，所述伸缩机构与所述调整腔固定连接且带动所述调整盘竖直运动；

所述机架上分别固定设置有推动结构和真空结构。

本实用新型一个较佳实施例中，所述气缸侧面固定设置有若干支撑杆，所述支撑杆的数量与所述调整杆数量一致且一一对应，所述调整杆与所述支撑杆铰链连接。

本实用新型一个较佳实施例中，每个所述调整杆和与所述调整杆铰链连接的所述调整块均设置于同一竖直平面上，所述调整块以所述抬升台中心轴线周向分布。

本实用新型一个较佳实施例中，若干所述调整块均在同一水平面上运动且运动方向指向所述抬升台中心轴线。

本实用新型一个较佳实施例中，所述调整盘、所述气缸、所述支杆以及所述抬升台均同轴设置。

本实用新型一个较佳实施例中，所述机架上分别设置有进样口和传送带，所述传送带穿过所述进样口。

本实用新型一个较佳实施例中，所述传送带与若干所述调整块位于同一水平面。

本实用新型一个较佳实施例中，所述推动结构和所述真空结构均设置于所述抬升台上方，且所述推动结构和所述真空结构位于同一水平面，所述推动结构和所述真空结构分别设置于所述抬升台轴线两侧。

本实用新型一个较佳实施例中，所述推动结构上设置有推动杆，所述推动杆水平运动，所述真空结构上固定设置有真空器，所述真空结构上设置有真空腔，所述推动杆水平运动方向指向真空腔。

本实用新型一个较佳实施例中，所述调整盘上表面与水平面平行。

本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

本实用新型提供了一种扫描电镜样品传输装置，利用调整杆、调整盘、抬升机构等装置，将样品调整至抬升台上的中心区域后进行传输，相比于现有技术中的传输装置，能够在传输过程中明确且控制样品的位置，具有精确控制样品传输的功能，解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷。

本实用新型中，推动结构和真空结构位于同一水平面且推动杆水平运动方向指向真空腔，在抬升台将样品抬升至推动结构和真空结构所处水平面后，样品能够进行水平运动，相比于现有技术，提高了样品传输过程中样品位置的精确性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；

图1是本实用新型的优选实施例的立体结构图；

图2是本实用新型的优选实施例的剖视图；

图3是本实用新型的优选实施例的抬升机构和调整机构侧面图；

图4是本实用新型的优选实施例的推动结构和真空结构立体图；

图中：100、机架；110、调整腔；120、进样口；130、传送带；200、抬升机构；210、气缸；220、支杆；230、抬升台；240、支撑杆；300、调整机构；310、调整盘；320、调整杆；330、调整块；400、推动结构；410、推动杆；500、真空结构；510、真空器；520、真空腔。

具体实施方式

现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1和图2所示，一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架100，设置在机架100上的调整腔110，以及分别设置在调整腔110上的抬升机构200和调整机构300。

如图3所示，抬升机构200从下到上依次设置有：气缸210，与气缸210固定连接的支杆220，以及与支杆220固定连接的抬升台230；气缸210与机架100固定连接，支杆220带动抬升台230竖直运动。气缸210侧面上固定设置有若干气缸支架，气缸支架与机架100固定连接。

调整机构300包括：调整盘310，和与调整盘310铰链连接的若干调整杆320；调整盘310位于气缸210正下方，每个调整杆320均铰接有一个调整块330，调整块330底部设置有滑块，滑块与调整腔110滑动连接，调整盘310底部固定设置有伸缩机构，伸缩机构与调整腔110固定连接且带动调整盘310竖直运动。

机架100上设置有开口，开口与若干调整块330位于同一个水平面，开口尺寸大于抬升台230外径，开口与抬升台230同轴设置，抬升台230运动范围经过开口所处水平面。

利用调整杆320、调整盘310、抬升机构200等装置，将样品调整至抬升台230上的中心区域后进行传输，能够在传输过程中明确且控制样品的位置，具有精确控制样品传输的功能，解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷。

如图4所示，机架100上分别固定设置有推动结构400和真空结构500。推动结构400和真空结构500均设置于抬升台230上方，且推动结构400和真空结构500位于同一水平面，推动结构400和真空结构500分别设置于抬升台230轴线两侧。

推动结构400上设置有推动杆410，推动杆410水平运动，真空结构500上固定设置有真空器510，真空结构500上设置有真空腔520，推动杆410水平运动方向指向真空腔520。

推动结构400和真空结构500位于同一水平面且推动杆410水平运动方向指向真空腔520，在抬升台230将样品抬升至推动结构400和真空结构500所处水平面后，样品能够进行水平运动，提高了样品传输过程中样品位置的精确性。

在真空腔520另一侧还固定设置有移动装置，作用是将进行抽真空后的样品输送至观察室。移动装置所处环境也为真空环境。由于为单个样品进行抽真空处理，真空腔520的占用体积较小，进行抽真空处理的步骤也较为简便。由于调整机构300与真空结构500在功能上能够独立进行，所以在对样品进行真空运输过程中也能提高样品效率。

气缸210侧面固定设置有若干支撑杆240，支撑杆240的数量与调整杆320数量一致且一一对应，调整杆320与支撑杆240铰链连接。支撑杆240、与支撑杆240铰接的调整杆320以及调整块330构成了连杆机构，调整盘310在伸缩机构的带动下竖直运动，调整块330在连杆机构的牵动下进行水平运动。

每个调整杆320和与调整杆320铰链连接的调整块330均设置于同一竖直平面上，调整块330以抬升台230中心轴线周向分布。若干调整块330均在同一水平面上运动且运动方向指向抬升台230中心轴线。

支撑杆240、与支撑杆240铰接的调整杆320以及调整块330所构成的连杆机构能够使得若干调整块330能够以同样间距往轴心挤压，能够确保抬升台230上的样品能够最终保持中心位置。

机架100上分别设置有进样口120和传送带130，传送带130穿过进样口120。传送带130与若干调整块330位于同一水平面。传送带130用于将样品平稳输送至调整机构300上，在传送带130一端放入样品，在传送带130的带动下，样品经过进样口120且被输送至调整机构300上，并在调整块330的调整下位于抬升台230位置中央。

机架100上固定设置有若干吹嘴，吹嘴均匀分布于传送带130两侧，吹嘴均位于传送带130末端。吹嘴的作用是将样品从传送带末端推动至抬升台230上。吹嘴的作用方向指向传送带130末端，且吹嘴的作用方向与水平面和传送带130运动方向直线均呈锐角。

调整盘310、气缸210、支杆220以及抬升台230均同轴设置。同轴设置的作用是使得在对样品调整过程中能够保证样品的位置不发生偏移，使得样品始终与调整盘310、气缸210、支杆220以及抬升台230位于同一轴线上。

调整盘310上表面与水平面平行。调整盘310上表面与水平面平行，且调整盘310与若干调整杆320的铰接点均位于同一水平面上，能够保证在调整杆320的竖直运动过程中不会出现调整块330无法同步运动的情况。

本实用新型使用时，先启动伸缩机构，使得调整盘310抬升，调整块330各自向外张开。把样品平稳放置于传送带上，样品穿过进样口120后抵达吹嘴作用处，并在吹嘴的带动下被推送至抬升台230处。

再次启动伸缩机构，使得调整盘310下降，调整块330向内收紧，并在同步收紧的情况下对样品外周进行不同程度的推动，最后使得样品位于抬升台230轴线处，并启动气缸210，使得抬升台230带动样品向上抬升。

当抬升台230上表面与真空腔520内壁下表面位于同一水平面时停止气缸210工作。打开真空腔520靠近推动杆410一侧的闭合门，启动推动杆410，使得推动杆410将样品输送至真空腔520中，随后关闭闭合门并启动真空器510进行样品的真空抽吸，抽吸完毕后打开另一侧的闭合门，并在移动装置的工作下将样品带向观察室。

以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。

Claims (10)

1.一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架（100），设置在所述机架（100）上的调整腔（110），以及分别设置在所述调整腔（110）上的抬升机构（200）和调整机构（300），其特征在于，

所述抬升机构（200）从下到上依次设置有：气缸（210），与所述气缸（210）固定连接的支杆（220），以及与所述支杆（220）固定连接的抬升台（230）；所述气缸（210）与所述机架（100）固定连接，所述支杆（220）带动所述抬升台（230）竖直运动；

所述调整机构（300）包括：调整盘（310），和与所述调整盘（310）铰链连接的若干调整杆（320）；所述调整盘（310）位于所述气缸（210）正下方，每个所述调整杆（320）均铰接有一个调整块（330），所述调整块（330）底部设置有滑块，所述滑块与所述调整腔（110）滑动连接，所述调整盘（310）底部固定设置有伸缩机构，所述伸缩机构与所述调整腔（110）固定连接且带动所述调整盘（310）竖直运动；

所述机架（100）上分别固定设置有推动结构（400）和真空结构（500）。

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述气缸（210）侧面固定设置有若干支撑杆（240），所述支撑杆（240）的数量与所述调整杆（320）数量一致且一一对应，所述调整杆（320）与所述支撑杆（240）铰链连接。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：每个所述调整杆（320）和与所述调整杆（320）铰链连接的所述调整块（330）均设置于同一竖直平面上，所述调整块（330）以所述抬升台（230）中心轴线周向分布。

4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：若干所述调整块（330）均在同一水平面上运动且运动方向指向所述抬升台（230）中心轴线。

5.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述调整盘（310）、所述气缸（210）、所述支杆（220）以及所述抬升台（230）均同轴设置。

6.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述机架（100）上分别设置有进样口（120）和传送带（130），所述传送带（130）穿过所述进样口（120）。

7.根据权利要求6所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述传送带（130）与若干所述调整块（330）位于同一水平面。

8.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述推动结构（400）和所述真空结构（500）均设置于所述抬升台（230）上方，且所述推动结构（400）和所述真空结构（500）位于同一水平面，所述推动结构（400）和所述真空结构（500）分别设置于所述抬升台（230）轴线两侧。

9.根据权利要求8所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述推动结构（400）上设置有推动杆（410），所述推动杆（410）水平运动，所述真空结构（500）上固定设置有真空器（510），所述真空结构（500）上设置有真空腔（520），所述推动杆（410）水平运动方向指向真空腔（520）。

10.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述调整盘（310）上表面与水平面平行。