CN220625264U - 一种翘曲检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种翘曲检测装置，包括支撑板以及传感器，所述传感器置于支撑板的上方，基板沿支撑板滑动并经过传感器，基板经过传感器时，传感器检测与基板之间的距离以判断基板的翘曲程度。通过传感器测量传感器至基板表面的距离，若高度偏高较大则表示基本上对应位置的翘曲程度较大，能够快速准确的对基板是翘曲程度进行检测且检测时对基板的影响较小，能够保证产品品质。支撑板能够移动从而调节与传感器之间的距离，从而使设备能够适配不同规格基板的测量。

Description

一种翘曲检测装置

技术领域

本实用新型属于检测设备技术领域，尤其涉及一种翘曲检测装置。

背景技术

陶瓷基板在生产过程中，由于素坯在成型过程中的波动，应力，厚度等物理性质的差异及研磨加工后表面的应力。导致陶瓷基板会出现翘曲。在陶瓷基板领域，翘曲会对产品的加工、传输等均会造成影响。翘曲异常的产品可能会造成覆铜板翘曲，影响后续工艺加工。现有的生产过程中，陶瓷基板的翘曲通常采用平行板通过法，但检测效率较低，且由于陶瓷基板本身厚度较薄，容易在自身重力，及惯性的影响下通过平行板导致漏检，且在检验过程中容易污染基板表面，划伤表面影响产品品质。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对上述存在的技术问题，提供一种非接触式的陶瓷基板翘曲检测装置。

本实用新型的目的是这样实现的：一种翘曲检测装置，包括支撑板以及传感器，所述传感器置于支撑板的上方，基板沿支撑板滑动并经过传感器，基板经过传感器时，传感器检测与基板之间的距离以判断基板的翘曲程度。

本实用新型中进一步的，所述支撑板上承载基板移动的表面倾斜设置，使待测基板在重力作用下沿支撑板移动。

本实用新型中进一步的，还包括驱动组件，驱动组件驱动支撑板移动并调节支撑板上承载基板移动的表面与传感器之间的距离。

本实用新型中进一步的，还包括用于承载支撑板的固定板，驱动组件驱动支撑板沿固定板移动以调节支撑板上承载基板移动的表面与传感器之间的距离。

本实用新型中进一步的，所述固定板上设置有第一导向斜面，所述支撑板上设置有与第一导向斜面贴合的第二导向斜面，第一导向斜面沿第二导向斜面移动使支撑板沿固定板移动时，支撑板上承载基板移动的表面靠近或远离所述传感器。

本实用新型中进一步的，所述固定板上设置有横跨支撑板的支撑框，所述传感器置于所述支撑框上。

本实用新型的有益效果是：

1.通过传感器测量传感器至基板表面的距离，若高度偏高则表示基本上对应位置的翘曲程度较大，能够快速准确的对基板是翘曲程度进行检测且检测时对基板的影响较小，能够保证产品品质。

2.支撑板能够移动从而调节与传感器之间的距离，从而使设备能够适配不同规格基板的测量。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的剖视图；

图3是固定板的结构示意图；

图4是支撑板的结构示意图；

其中附图标记为：支撑板100；第二导向斜面101；挡板110；移动块120；丝杠孔121；固定板200；第一导向斜面201；支撑框210；传感器211；竖直板212；水平板213；丝杠槽220；安装板230；驱动电机300；轴联器310；丝杠320；支撑腿400。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

参阅图1至图4，一种翘曲检测装置，包括支撑板100，支撑板100的上方设置有多个等距排列的传感器211，传感器211为激光位移传感器211。支撑板100倾斜设置，通过人工将基板放置到支撑板100上后，基板在重力的作用下沿支撑板100下滑并经过传感器211所在的位置，此时传感器211能够测量与基板之间的距离，通过传感器211与基板之间的距离数据能够判断出基板的翘曲程度，当数据大于标准值时说明基板的对应位置有凹陷，当数据小于标准值时说明基本的对应位置有凸起。

为防止基板在下滑过程中滑出支撑板100，在支撑板100用于承载基板移动的表面的两侧分别设置有挡板110，通过挡板110能够对基板进行限位，防止基板滑出。

同时设置有承载支撑板100的固定板200，固定板200上设置有第一导向斜面201，支撑板100上设置有第二导向斜面101，第一导向斜面201与第二导向斜面101贴合。通过驱动组件驱动支撑板100移动使第二导向斜面101沿第一导向斜面201移动，使支撑板100在水平方向移动的同时也在竖直方向移动，从而调节支撑板100上用于承载基板移动的表面与传感器211之间的距离，使装置能够适配检测不同规格基板的翘曲程度。

固定板200上设置丝杠槽220，丝杠槽220在第一导向斜面201上设置在开口。支撑板100上设置有移动块120，移动块120位于第二导向斜面101上。第一导向斜面201与第二导向斜面101贴合时移动块120嵌入丝杆槽内。驱动组件包括设置在丝杠槽220内的丝杠320，移动块120上设置有与丝杠320配合的丝杠孔121，移动块120嵌入丝杠槽220内使丝杠320穿过丝杠孔121，通过丝杠320的转动能够驱动移动块120并带动支撑板100沿固定板200移动。

丝杠槽220的一端设置有安装板230，安装板230上安装有驱动电机300，驱动电机300的输出轴穿过安装板230与丝杠320通过轴联器310连接，通过驱动电机300能够驱动丝杠320的转动，从而使移动块120沿丝杠320移动，同时也使支撑板100沿固定板200移动。

固定板200上设置有支撑框210，支撑框210横跨支撑板100使基板沿支撑板100下滑时穿过支撑框210。传感器211安装在支撑框210上从对穿过支撑框210的基板进行检测。具体的支撑框210包括固定在固定板200两侧面的竖直板212和连接两竖直板212的水平板213，传感器211安装在水平板213上。

固定板200上设置有支撑腿400，支撑腿400分为较长与较短的两组使装置整体倾斜设置，使支撑板100上承载基板移动的表面倾斜设置。

上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征是可以相互组合的，本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (6)

1.一种翘曲检测装置，其特征在于，包括支撑板(100)以及传感器(211)，所述传感器(211)置于支撑板(100)的上方，基板沿支撑板(100)滑动并经过传感器(211)，基板经过传感器(211)时，传感器(211)检测与基板之间的距离以判断基板的翘曲程度。

2.根据权利要求1所述的一种翘曲检测装置，其特征在于，所述支撑板(100)上承载基板移动的表面倾斜设置，使基板在重力作用下沿支撑板(100)移动。

3.根据权利要求1或2所述的一种翘曲检测装置，其特征在于，还包括驱动组件，驱动组件驱动支撑板(100)移动并调节支撑板(100)承载基板移动的表面与传感器(211)之间的距离。

4.根据权利要求3所述的一种翘曲检测装置，其特征在于，还包括用于承载支撑板(100)的固定板(200)，驱动组件驱动支撑板(100)沿固定板(200)移动以调节支撑板(100)上承载基板移动的表面与传感器(211)之间的距离。

5.根据权利要求4所述的一种翘曲检测装置，其特征在于，所述固定板(200)上设置有第一导向斜面(201)，所述支撑板(100)上设置有与第一导向斜面(201)贴合的第二导向斜面(101)，第一导向斜面(201)沿第二导向斜面(101)移动使支撑板(100)沿固定板(200)移动时，支撑板(100)上承载基板移动的表面靠近或远离所述传感器(211)。

6.根据权利要求4所述的一种翘曲检测装置，其特征在于，所述固定板(200)上设置有横跨支撑板(100)的支撑框(210)，所述传感器(211)置于所述支撑框(210)上。