CN220619079U - 一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，包括真空舱；所述真空舱自上而下设置有镀膜装置以及收放卷装置，所述镀膜装置包括第一镀膜辊、第二镀膜辊以及靶材镀膜装置，所述靶材镀膜装置包括溅射靶，每个所述溅射靶分别朝向第一镀膜辊以及第二镀膜辊设置，所述收放卷装置包括位于真空舱底部的收卷辊以及放卷辊。本实用新型使装换料操作简便，减少设备建造成本，降低安全隐患，提升工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备。
背景技术
磁控溅射镀膜是真空镀膜技术的一个重要方面，它是在真空状态下通过高电压使气体(通常为Ar)电离出带正电荷离子(Ar+),然后在电场和磁场的共同作用下加速撞击靶材，进而使得靶材原子或分子沉积到基膜表面，以此形成所需的功能性薄膜。
现有的真空磁控溅射镀膜设备的放卷辊和收卷辊分布于真空舱体的上、下两端，同时在腔体顶部配有电机吊装设备，如附图1所示。由于放卷辊位于腔体上端，作业人员无法直接进行装换料操作，此时需要借助腔体顶部的电机吊装实现。电机吊装系统不仅增加了设备体积和建造成本，同时需要作业人员爬到高处进行操作，也极大的增加了操作难度和安全隐患。
实用新型内容
为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，使装换料操作简便，减少设备建造成本，降低安全隐患，提升工作效率。
为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，包括真空舱；所述真空舱自上而下设置有镀膜装置以及收放卷装置，所述镀膜装置包括第一镀膜辊、第二镀膜辊以及靶材镀膜装置，所述靶材镀膜装置包括溅射靶，每个所述溅射靶分别朝向第一镀膜辊以及第二镀膜辊设置，所述收放卷装置包括位于真空舱底部的收卷辊以及放卷辊。
进一步的，每个所述溅射靶远离镀膜装置的一侧分别设置有一靶材挡板。通过设置所述靶材挡板能够有效防止溅射靶对基膜镀膜过程中溅射到真空舱的舱体内，便于后续工作人员对真空舱进行清理。
进一步的，所述靶材挡板通过角度调节机构与真空舱相连接，所述角度调节机构包括安装支架，所述安装支架内部设置有能调节靶材挡板位置的转动轴，所述转动轴一端延伸出安装支架并与驱动机构相连接。
进一步的，所述驱动机构外部设置有防护罩，所述驱动机构包括与所述转动轴固定连接的从动齿轮、与所述从动齿轮相啮合的主动齿轮以及转动旋钮，所述转动旋钮通过连接杆与主动齿轮相连接。
进一步的，所述转动旋钮水平设置在旋钮安装盒内，所述旋钮安装盒上开设有多个贯穿上下表面的插销孔，所述转动旋钮表面沿其圆周开设有多个与所述插销孔位置相对应的插槽，所述插槽与插销孔间通过限位插销相连接。通过设置位置相对应的插槽与插销孔，能够在调节好靶材挡板位置时限定转动旋钮的转动，实现对靶材挡板的定位。
进一步的，所述第一镀膜辊与第二镀膜辊之间设置有多个导向辊，所述第二镀膜辊与收卷辊之间设置有多个支撑辊。通过设置在第一镀膜辊与第二镀膜辊中间的导向辊改变膜面镀膜方向，即可实现双面镀膜。
进一步的，所述放卷辊与第一镀膜辊之间依次设置有展平辊、离子源以及导向辊。
本实用新型的有益效果：
本实用新型通过真空舱、放卷辊、收卷辊、靶材镀膜装置、第一镀膜辊以及第二镀膜辊的相互配合，放卷辊和收卷辊设置在真空舱体底部，分别位于第一镀膜辊和第二镀膜辊的下方，在装换料时工作人员无需通过吊装系统即可完成更换，既方便快捷、省时省力，又避免了工作人员爬上高处作业，极大降低了安全隐患，提高镀膜的效率。
附图说明
图1为现有的镀膜设备结构示意图；
图2为本实用新型一实施例的整体结构示意图；
图3为本实用新型一实施例的角度调节机构结构示意图；
图中：1、真空舱；2、放卷辊；3、收卷辊；4、导向辊；5、第一镀膜辊；6、第二镀膜辊；7、靶材镀膜装置；71、溅射靶；72、靶材挡板；8、吊装系统；9、展平辊；10、离子源；11、角度调节机构；111、安装支架；112、转动轴；113、防护罩；114、主动齿轮；115、从动齿轮；116、连接杆；117、转动旋钮；118、旋钮安装盒；119、限位插销；12、支撑辊。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
参见附图1，为现有技术，所述放卷辊2和收卷辊3均分布于真空舱1的上下两端，同时在腔体顶部配有吊装系统8，放卷辊2位于腔体上端，作业人员无法直接进行装换料操作，需要通过吊装系统上料，增加了生产成本。
参见附图2至3所示，本实施例中的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，包括真空舱1；所述真空舱1自上而下设置有镀膜装置以及收放卷装置，所述镀膜装置包括第一镀膜辊5、第二镀膜辊6以及靶材镀膜装置7。
在一些实施方式中，靶材镀膜装置7为两组，并且分别对应于第一镀膜辊5和第二镀膜辊6设置。
所述靶材镀膜装置7包括溅射靶71，每个所述溅射靶71分别朝向第一镀膜辊5或第二镀膜辊6设置，所述收放卷装置包括位于真空舱1底部的收卷辊3以及放卷辊2。
所述放卷辊2和收卷辊3均设置在真空舱1体底部，分别位于第一镀膜辊5和第二镀膜辊6的下方，在装换料时工作人员无需通过吊装系统8即可完成更换，既方便快捷、省时省力，又避免了工作人员爬上高处作业，极大降低了安全隐患，提高镀膜的效率。
每个所述溅射靶71远离镀膜装置的一侧分别设置有一靶材挡板72。通过设置所述靶材挡板72能够有效防止溅射靶71对基膜镀膜过程中溅射到真空舱1的舱体内，便于后续工作人员对真空舱1进行清理。
所述溅射靶71设置有10个，后续能够根据实际需要增加或减少溅射靶71的数量。所述溅射靶71为圆柱形靶，分别给卷绕在第一镀膜辊5与第二镀膜辊6上的基膜镀上金属或非金属材料。
在一些实施方式中，所述靶材挡板72通过角度调节机构11与真空舱1相连接，所述角度调节机构11包括安装支架111，所述安装支架111内部设置有能调节靶材挡板72位置的转动轴112，所述转动轴112一端延伸出安装支架111并与驱动机构相连接。通过所述驱动机构驱动转动轴112转动从而调节水平设置的转动轴112上靶材挡板72的角度，使所述靶材挡板72在能够防止靶材溅射在真空舱1舱体的同时，也能够保证基膜镀膜的厚度均匀。
所述驱动机构外部设置有防护罩113，所述驱动机构包括与所述转动轴112固定连接的从动齿轮115、与所述从动齿轮115相啮合的主动齿轮114以及转动旋钮117，所述转动旋钮117通过连接杆116与主动齿轮114相连接。通过转动转动旋钮117带动主动齿轮114转动，使与其相啮合的从动齿轮115带动转动轴112转动，从而实现靶材挡板72的角度调节。
所述转动旋钮117水平设置在旋钮安装盒118内，所述旋钮安装盒118上开设有多个贯穿上下表面的插销孔，所述转动旋钮117表面沿其圆周开设有多个与所述插销孔位置相对应的插槽，所述插槽与插销孔间通过限位插销119相连接。通过设置位置相对应的插槽与插销孔，能够在调节好靶材挡板72位置时限定转动旋钮117的转动，实现对靶材挡板72的定位。
所述第一镀膜辊5与第二镀膜辊6之间设置有多个导向辊4，所述第二镀膜辊6与收卷辊3之间设置有多个支撑辊12。通过设置在第一镀膜辊5与第二镀膜辊6中间的导向辊4改变膜面镀膜方向，即可实现双面镀膜。
所述放卷辊2与第一镀膜辊5之间依次设置有展平辊9、离子源10以及导向辊4。通过设置所述离子源10能够用来在溅射前对基膜进行清洗。
工作原理：真空镀膜之前，由工作人员打开真空舱1门，将基膜穿设在放卷辊2上，基膜依次穿过展平辊9、导向辊4、第一镀膜辊5、第二镀膜辊6以及若干支撑辊12，最后卷绕在收卷辊3上。
根据所需镀膜的厚度，调节靶材挡板72的角度位置，转动转动旋钮117，使通过连接杆116与所述转动旋钮117连接的主动齿轮114转动，从而驱动与之啮合的从动齿轮115转动，此时，与从动齿轮115固定连接的转动轴112转动相应的角度，实现对其上靶材挡板72的角度调节，当角度调节完成时，工作人员将限位插销119自上而下插入旋转安装盒以及转动旋钮117，避免后续转动旋钮117转动影响靶材挡板72的角度。
基膜上料完成后，关闭真空舱1门，对真空舱1内抽真空，待真空舱1内的真空度达到作业要求时，打开离子源10，对膜面进行清洗，同时打开收卷辊3以及放卷辊2，实现卷绕镀膜，待镀膜完成后，关闭电源，打开充气阀，待真空腔体内恢复到大气压时即可打开真空舱1门，工作人员站在真空舱1门的左右两侧即可进行取料、装料，无需爬上高处通过吊装系统8进行装料等操作，方便快捷。
在一些实施方式中，在旋钮安装盒118的底部设置有连接耳，因而，便于实现对角度调节机构11在真空舱1内的安装。从附图3可看出，角度调节机构11整体位于靠近靶材挡板72的侧面的位置，因而不会妨碍正常的镀膜及膜料收、放卷的过程。
以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
Claims (8)
1.一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：包括真空舱；所述真空舱自上而下设置有镀膜装置以及收放卷装置，所述镀膜装置包括第一镀膜辊、第二镀膜辊以及靶材镀膜装置，所述靶材镀膜装置包括溅射靶，每个所述溅射靶分别朝向第一镀膜辊以及第二镀膜辊设置，所述收放卷装置包括位于真空舱底部的收卷辊以及放卷辊。
2.根据权利要求1所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：每个所述溅射靶远离镀膜装置的一侧分别设置有一靶材挡板。
3.根据权利要求2所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述靶材挡板通过角度调节机构与真空舱相连接，所述角度调节机构包括安装支架，所述安装支架内部设置有能调节靶材挡板位置的转动轴，所述转动轴一端延伸出安装支架并与驱动机构相连接。
4.根据权利要求3所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述驱动机构外部设置有防护罩，所述驱动机构包括与所述转动轴固定连接的从动齿轮、与所述从动齿轮相啮合的主动齿轮以及转动旋钮，所述转动旋钮通过连接杆与主动齿轮相连接。
5.根据权利要求4所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述转动旋钮水平设置在旋钮安装盒内，所述旋钮安装盒上开设有多个贯穿上下表面的插销孔，所述转动旋钮表面沿其圆周开设有多个与所述插销孔位置相对应的插槽，所述插槽与插销孔间通过限位插销相连接。
6.根据权利要求1所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述第一镀膜辊与第二镀膜辊之间设置有多个导向辊。
7.根据权利要求1所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述第二镀膜辊与收卷辊之间设置有多个支撑辊。
8.根据权利要求1所述的一种便于装卸的卷绕式真空镀膜设备，其特征在于：所述放卷辊与第一镀膜辊之间依次设置有展平辊、离子源以及导向辊。
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