CN220602604U - 一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪 - Google Patents
一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型公开了一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，包括检测台，所述检测台上端面设有定量检测阀，所述定量检测阀一侧设有主气管且主气管一端设有密封结构，所述密封结构包含前侧管、后侧管和插杆，所述主气管一端固定连接在前侧管且前侧管一端固定设有插杆，所述插杆一端分别贯穿于密封圈和密封垫延伸端连接在后侧管上，所述后侧管另一端连接在侧支管上，所述侧支管一端设置在螺纹套筒内部，所述螺纹套筒上方设有螺纹旋钮且螺纹旋钮下端设置有螺纹杆，所述螺纹杆一端贯穿于螺纹套筒内部延伸端连接有上压板，能够实现对主气管与流量表连接密封性提高以及对侧支管与检测阀件方便快速拆装，具有实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及节流阀生产技术领域，特别是涉及一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪。
背景技术
在半导体器件制造过程中，通常需要将待处理的晶圆放置在半导体处理设备具有的处理腔室内。并通过节流阀向抽真空后的处理腔室内输送工艺气体，在工艺气体和处理腔室内的相应气体的作用下，完成对晶圆的处理，半导体节流阀应用在半导体设备上，是控制腔室透过对节流阀开合角度来控制腔室压力大小，在维修半导体节流阀时，必须要有精准的数据来确定维修过后的节流阀能达到半导体制程需要。
现有公开号为CN219200768U的专利提出了一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，该检测仪通过设计气密性检测设备，包含多支检测回路，单次可以检测多个节流阀，从而提高检测的效率，提高生产效率通过在主气管上和支气管上都设置单向阀，可以通过主气管上的单向阀整体控制，又可以通过支气管上置单向阀控制每个之路，灵活操作，便于实际应用，但是该检测仪对流量表和主气管之间的连接密封性不佳，通过支气管和三通管之间连接进行流量检测密封性相对较差，不仅容易造成流量检测数据偏差，而且还会降低检测效率，影响设备使用，针对上述问题，我们提出了一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪进行改进和升级。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，以解决上述背景技术中提出的问题。
为解决上述问题，提供以下技术方案：
设计一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，包括检测台，所述检测台上端面设有定量检测阀，所述定量检测阀一侧设有主气管且主气管一端设有密封结构，所述密封结构包含前侧管、后侧管和插杆，所述主气管一端固定连接在前侧管且前侧管一端固定设有插杆，所述插杆一端分别贯穿于密封圈和密封垫延伸端连接在后侧管上，所述后侧管另一端连接在侧支管上，所述侧支管一端设置在螺纹套筒内部，所述螺纹套筒上方设有螺纹旋钮且螺纹旋钮下端设置有螺纹杆，所述螺纹杆一端贯穿于螺纹套筒内部延伸端连接有上压板。
进一步的，所述定量检测阀安装在检测台上，所述侧支管外壁套设有支撑座且支撑座安装在检测台上，所述支撑座上端面设置有流量表。
进一步的，所述前侧管和后侧管外壁均设置为螺纹状，所述前侧管和后侧管外壁转动设置有连接圆筒。
进一步的，所述后侧管前侧开设有安装槽，所述密封垫放置在安装槽内部，所述插杆一端插接在安装槽内部。
进一步的，所述螺纹套筒设置有检测阀件且检测阀件固定安装在阀件检测器上，所述阀件检测器上端面设置有连接管且连接管一端安装在气泵内部，所述气泵安装在检测台内部。
进一步的，所述上压板上端面设置有连接轴，所述螺纹杆一端安装在连接轴上，所述螺纹套筒内部位于上压板下方设置有下压板，所述上压板和下压板外表面均设置为螺纹状。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：
1、本实用新型装置内设置前侧管、后侧管、插杆、密封圈、密封垫和连接圆筒，通过将前侧管上的插杆与后侧管前端安装槽内部的密封垫相连接，然后插杆一端贯穿密封圈和密封垫连接在后侧管上，然后转动连接圆筒将前侧管和后侧管进行固定连接使其密封，避免连接处密封效果差影响半导体数据流量检测等问题，有利于半导体检测稳定性和精确性，提高数据可靠性，结构简单。
2、本实用新型装置内设置螺纹旋钮、螺纹杆、上压板、下压板、和螺纹套筒，通过转动螺纹旋钮带动螺纹杆连接的上压板将侧支管进行固定，由于上压板和下压板配合，可以对侧支管夹紧固定的同时方便拆装，避免通过螺栓固定导致拆卸困难等问题，有利于减轻工作人员负担，省时省力，操作简单。
参照后文的说明和附图，详细公开了本实用新型的特定实施方式，指明了本实用新型的原理可以被采用的方式。应该理解，本实用新型的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本实用新型的实施方式包括许多改变、修改和等同。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1为本实用新型的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪整体结构示意图；
图2为本实用新型的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪侧视结构示意图；
图3为图2中局部结构示意图；
图4为本实用新型的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪主气管密封结构拆分示意图；
图5为本实用新型的连接管结构拆分示意图。
图中：1、检测台；2、定量检测阀；3、流量表；4、检测阀件；5、阀件检测器；6、主气管；7、密封结构；71、连接圆筒；72、后侧管；73、密封垫；74、密封圈；75、插杆；76、前侧管；77、安装槽；8、螺纹套筒；81、螺纹旋钮；82、螺纹杆；83、上压板；84、下压板；85、连接轴；9、气泵；10、连接管；11、支撑座；12、侧支管。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1－图5所示，本实施例提供的设计一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，包括检测台1，检测台1上端面设有定量检测阀2，定量检测阀2一侧设有主气管6且主气管6一端设有密封结构7，密封结构7包含前侧管76、后侧管72和插杆75，主气管6一端固定连接在前侧管76且前侧管76一端固定设有插杆75，插杆75一端分别贯穿于密封圈74和密封垫73延伸端连接在后侧管72上，后侧管72另一端连接在侧支管12上，侧支管12一端设置在螺纹套筒8内部，螺纹套筒8上方设有螺纹旋钮81且螺纹旋钮81下端设置有螺纹杆82，螺纹杆82一端贯穿于螺纹套筒8内部延伸端连接有上压板83。
较佳的，定量检测阀2安装在检测台1上，侧支管12外壁套设有支撑座11且支撑座11安装在检测台1上，支撑座11上端面设置有流量表3，便于对半导体进行流量数据检测，前侧管76和后侧管72外壁均设置为螺纹状，前侧管76和后侧管72外壁转动设置有连接圆筒71，便于对连接处进行有效密封。
较佳的，后侧管72前侧开设有安装槽77，密封垫73放置在安装槽77内部，插杆75一端插接在安装槽77内部，使其连接密封更加紧密，使其数据检测数据检测偏差较小，螺纹套筒8设置有检测阀件4且检测阀件4固定安装在阀件检测器5上，阀件检测器5上端面设置有连接管10且连接管10一端安装在气泵9内部，气泵9安装在检测台1内部，方便对半导体检测相对稳定，上压板83上端面设置有连接轴85，螺纹杆82一端安装在连接轴85上，螺纹套筒8内部位于上压板83下方设置有下压板84，上压板83和下压板84外表面均设置为螺纹状，便于对侧支管12进行夹紧固定。
本实用新型的使用原理及使用流程：通过将前侧管76上的插杆75与后侧管72前端安装槽77内部的密封垫73相连接，然后插杆75一端贯穿密封圈74和密封垫73连接在后侧管72上，然后转动连接圆筒71将前侧管76和后侧管72进行固定连接使其密封，然后利用定量检测阀2进行控制通过侧支管12外壁套设的流量表3进行数据检测，然后将侧支管12一端放置在检测阀件4一侧的螺纹套筒8内部，然后转动螺纹旋钮81带动螺纹杆82连接的上压板83将侧支管12进行固定，由于上压板83和下压板84配合，可以对侧支管12夹紧固定的同时方便拆装，然后利用阀件检测器5上连接管10与气泵9相连接进行压力配合，可以对半导体流量进行稳定检测。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体的情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
Claims (6)
1.一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，其特征在于，包括检测台(1)，所述检测台(1)上端面设有定量检测阀(2)，所述定量检测阀(2)一侧设有主气管(6)且主气管(6)一端设有密封结构(7)，所述密封结构(7)包含前侧管(76)、后侧管(72)和插杆(75)，所述主气管(6)一端固定连接在前侧管(76)且前侧管(76)一端固定设有插杆(75)，所述插杆(75)一端分别贯穿于密封圈(74)和密封垫(73)延伸端连接在后侧管(72)上，所述后侧管(72)另一端连接在侧支管(12)上，所述侧支管(12)一端设置在螺纹套筒(8)内部，所述螺纹套筒(8)上方设有螺纹旋钮(81)且螺纹旋钮(81)下端设置有螺纹杆(82)，所述螺纹杆(82)一端贯穿于螺纹套筒(8)内部延伸端连接有上压板(83)。
2.根据权利要求1所述的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，其特征在于，所述定量检测阀(2)安装在检测台(1)上，所述侧支管(12)外壁套设有支撑座(11)且支撑座(11)安装在检测台(1)上，所述支撑座(11)上端面设置有流量表(3)。
3.根据权利要求1所述的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，其特征在于，所述前侧管(76)和后侧管(72)外壁均设置为螺纹状，所述前侧管(76)和后侧管(72)外壁转动设置有连接圆筒(71)。
4.根据权利要求1所述的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，其特征在于，所述后侧管(72)前侧开设有安装槽(77)，所述密封垫(73)放置在安装槽(77)内部，所述插杆(75)一端插接在安装槽(77)内部。
5.根据权利要求1所述的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，其特征在于，所述螺纹套筒(8)设置有检测阀件(4)且检测阀件(4)固定安装在阀件检测器(5)上，所述阀件检测器(5)上端面设置有连接管(10)且连接管(10)一端安装在气泵(9)内部，所述气泵(9)安装在检测台(1)内部。
6.根据权利要求1所述的一种高稳定性半导体设备节流阀流量检测仪，其特征在于，所述上压板(83)上端面设置有连接轴(85)，所述螺纹杆(82)一端安装在连接轴(85)上，所述螺纹套筒(8)内部位于上压板(83)下方设置有下压板(84)，所述上压板(83)和下压板(84)外表面均设置为螺纹状。
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