CN220583699U - 真空检漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种真空检漏装置。所述真空检漏装置包括：盖板、密封圈、以及连接管；所述盖板具有一内腔，能够容纳被检测装置的凸起部，并且设置为能够与所述被检测装置贴合，侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽，底部有通孔；所述密封圈，设置于所述密封沟槽内，用于所述盖板与所述被检测装置之间的密封；所述连接管，连接于所述通孔与真空泵的吸气口，控制所述连接管中的气体流通的阀门设置于其上。上述技术方案可以在工艺作业前，提前发现被检测装置的漏气情况，避免漏气的组件安装到机台上，提高了机台保养维护的工作效率，同时使工艺作业过程中因漏气而需要更换组件的发生概率大大降低，提高了机台的有效工作时间，进而提高机台的产能，降低生产成本。

Description

真空检漏装置

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种真空检漏装置。

背景技术

低压扩散炉是半导体生产线的重要工艺设备之一，广泛用于硅片扩散、氧化、退火等工艺。使用低压扩散炉对扩散炉内的密封性要求极高，如果密封不良，低压扩散炉的低压环境无法满足，同时还会引入外部的气体，导致产品一致性不足，生产效率低下。

现有技术通常采用检漏仪对低压扩散炉进行漏率检查，并且在每次保养维护时都进行检查，但是用检漏仪只能查出大部分的漏点，事实上有些漏点是很难检查的，比如炉门处的漏点。通常炉门位于炉口处，环境特殊，结构特殊，检测点之间相互影响严重。另外，实际工艺中门牌是不停旋转的，有特殊密封处理，但是一定时间后密封会出问题，往往不转动时不漏，一转动或者升温时就会漏，所以很难检查出漏点。一旦作业时发现漏点，则需要进行降温、拆卸，换个新组件，再检漏，费时费力，极大地降低机台的正常运行时间，降低整个生产线的生产效率。

因此，提供一种真空检漏装置，提前发现炉门门牌处的漏点，对生产效率提升非常重要。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空检漏装置，可以有效检测被检测装置的漏气情况，在工艺作业前，提前发现组件的漏气情况。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种真空检漏装置，包括：盖板，具有一内腔，所述内腔能够容纳被检测装置的凸起部，并且所述盖板设置为能够与所述被检测装置贴合，所述盖板侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽，所述盖板具有通孔；密封圈，设置于所述密封沟槽内，用于所述盖板与所述被检测装置之间的密封；连接管，连接于所述通孔与真空泵的吸气口，所述连接管上设置有控制所述连接管中的气体流通的阀门。

在一些实施例中，所述密封圈是O型密封圈。

在一些实施例中，所述通孔与所述连接管连接处的孔径大于其位于所述内腔侧的孔径。

在一些实施例中，所述通孔设置于所述盖板侧壁处。

在一些实施例中，所述内腔具有向所述盖板底部延伸的凹槽，所述通孔的开口位于所述凹槽处。

在一些实施例中，所述盖板固定于一支架上。

在一些实施例中，还包括一锁紧装置，所述锁紧装置设置于所述支架上，用于将所述被检测装置与所述盖板锁紧形成一密封腔。

在一些实施例中，所述锁紧装置包括：立柱，固定立于所述支架，所述立柱中间有穿孔，所述穿孔的孔壁有螺纹；紧固螺杆，所述紧固螺杆的表面螺纹与所述穿孔的孔壁的螺纹相契合；压板，与所述紧固螺杆的一端相连，用于与所述被检测装置接触；手柄，连接于所述紧固螺杆的另一端。

在一些实施例中，所述压板与所述被检测装置所在的平面垂直。

上述技术方案，提供了一种真空检漏装置，将被检测装置与所述真空检漏装置的盖板贴合形成一密封腔，并采用真空泵抽至真空，关阀保压，检测一段时间内所述密封腔的真空度来检测被检测装置的漏气情况。上述技术方案可以在工艺作业前，提前发现被检测装置的漏气情况，避免有问题的组件安装到机台上，使得工艺作业过程中因漏气而需要更换组件的发生概率大大降低，提高了机台的有效工作时间和产能，提高工作效率，降低生产成本。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型第一实施例提供的真空检漏装置剖面示意图；

图2是本实用新型第二实施例提供的真空检漏装置的示意图；

图3是本实用新型第三实施例提供的真空检漏装置的示意图；

图4A～图4B是本实用新型第四实施例提供的真空检漏装置的示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1是本实用新型第一实施例提供的真空检漏装置剖面示意图，下面参阅图1，所述真空检漏装置包括：盖板101、密封圈102、以及连接管103。所述盖板101具有一内腔，所述内腔能够容纳被检测装置的凸起部，并且所述盖板101设置为能够与所述被检测装置贴合，所述盖板101侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽1012，所述盖板具有通孔1011。所述密封圈102设置于所述密封沟槽1012内，用于所述盖板与所述被检测装置之间的密封。所述连接管103一端连接于所述通孔1011，另一端连接于真空泵的吸气口，所述连接管103上设置有控制所述连接管中的气体流通的阀门104。

在本实施例中，所述通孔与所述连接管连接处的孔径大于其位于所述内腔侧的孔径。

在本实施例中，所述通孔设置于所述盖板侧壁处。

在本实施例中，所述内腔具有向所述盖板底部延伸的凹槽，所述通孔的开口位于所述凹槽处。

在本实施例中，所述密封圈102为O型圈，对所述盖板101与被检测装置形成的密封腔进行抽真空作业时，先将所述盖板101压住被检测装置，并通过所述连接管103以及连通的所述通孔1011将所述密封腔内的气体逐渐抽出，当所述盖板101与被检测装置能够吸住后，再将所述密封腔抽真空。

图2是本实用新型第二实施例提供的真空检漏装置的示意图，为了示意出被检测装置在所述真空检漏装置内部的情况，所述真空检漏装置以剖视的形式示意。在本实施例中，所述被检测装置为低压扩散炉的炉门207，所述炉门207上设置有旋转装置2071，可用于转动与之相连的门牌2072，所述炉门207与盖板101贴合；所述盖板101与所述炉门207贴合处有密封沟槽1012，所述密封沟槽内部设置有密封圈102，以形成一密封腔；所述盖板101的内腔容纳所述炉门207上的凸起，即门牌2072，所述门牌2072也是本实施例中需要检漏的主要结构。所述盖板101具部有通孔1011，所述连接管103一端连接于所述通孔1011，另一端连接于真空泵208的吸气口；所述连接管103上设置有控制所述连接管中的气体流通的阀门104，连接管103上设置有控制所述连接管中的气体流通的阀门104。所述连接管103设置于所述盖板101的外部。

在本实施例中，所述密封沟槽、所述密封圈和所述通孔的结构与图1相同。在本实施例中，所述密封圈为O型圈，对所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔进行抽真空作业时，先将所述盖板101压住所述炉门207，所述真空泵208通过所述连接管103以及连通的所述通孔将所述密封腔内的气体逐渐抽出，当所述盖板101与所述炉门207能够吸住后，再将所述密封腔抽真空。

在本实施例中，所述真空泵208集成一真空计，用于监测所述密封腔的真空度。

在本实施例中，所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔达到高真空，真空度≤1.2×10^-8托。关闭所述阀门104，观察预设时间(例如一分钟)内真空计的真空情况，用于判断被检测装置的漏气情况。如果密封腔内的真空度保持不变或者变化甚微，说明被检测装置不漏气，如果密封腔内的真空度上升很快，表示被检测装置漏气。即如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内保持不变或者变化甚微，则所述炉门207不漏气；如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内快速上升，则所述炉门207漏气。

实际工艺运行中，设置于所述炉门207上的门牌会不停旋转，在一些情况下，所述门牌静止时所述炉门207不漏气，所述门牌转动起来后所述炉门207发生漏气。在本实施例中，为了检测实际运行中所述门牌是否有漏气风险，当所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔达到高真空后，关闭所述阀门104，并转动所述旋转装置2071，观察一分钟内真空计的真空情况。如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内保持不变或者变化甚微，则当所述门牌旋转时所述炉门207不漏气；如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内快速上升，则所述门牌旋转时所述炉门207漏气。

在一些实施例中，选择外接真空计，连接于所述连接管103处。

图3是本实用新型第三实施例提供的真空检漏装置的示意图。为了示意出被检测装置在所述真空检漏装置内部的情况，所述真空检漏装置同样以剖视的形式示意。在本实施例中，所述被检测装置为低压扩散炉的炉门207，所述炉门207上设置有旋转装置2071，可用于转动与之相连的门牌2072，所述炉门207与盖板101贴合；所述盖板101与所述炉门207贴合处有密封沟槽1012，所述密封沟槽内部设置有密封圈102，以形成一密封腔；所述盖板101的内腔容纳所述炉门207上的门牌2072。与图2所示实施例的不同之处在于，在本实施例中，所述真空检漏装置设置有支架305，所述盖板101固定于所述支架305上。具体的，所述支架305在水平面固定，所述盖板101垂直固定于所述支架305上。

当所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔进行抽真空作业时，需要先将所述盖板101压住所述炉门207，所述真空泵208通过所述连接管103以及连通的所述通孔1011将所述密封腔内的气体逐渐抽出，当所述盖板101与所述炉门207能够吸住后，再将所述密封腔抽真空。在上述过程中，通过将所述盖板101垂直固定于支架305上，可以限制所述盖板101的移动范围，使所述盖板101与所述炉门207的贴合更加快速高效。且通过将所述盖板101垂直固定于支架305上，能够更方便人员对所述炉门207的旋转装置2071进行旋转操作。

在本实施例中，所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔达到高真空，真空度≤1.2×10^-8托。关闭所述阀门104，观察一分钟内真空计的真空情况，用于判断被检测装置的漏气情况。在本实施例中，所述真空计集成于所述真空泵208中。如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内保持不变或者变化甚微，则所述炉门207不漏气；如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内快速上升，则所述炉门207漏气。检测过程中，关闭所述阀门104，并转动所述旋转装置2071，观察一分钟内真空计的真空情况，用于检测门牌旋转状态下的漏气情况。如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内保持不变或者变化甚微，则当所述门牌旋转时所述炉门207不漏气；如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内快速上升，则所述门牌旋转时所述炉门207漏气。在上述过程中，将所述盖板101垂直固定于支架上，能够更方便人员进行旋转操作。

图4A～图4B是本实用新型第四实施例提供的真空检漏装置的示意图。如图4A～图4B所示，为了示意出被检测装置在所述真空检漏装置内部的情况，所述真空检漏装置同样以剖视的形式示意。在本实施例中，所述被检测装置为低压扩散炉的炉门207，所述炉门207上设置有旋转装置2071，可用于转动与之相连的门牌2072，所述炉门207与盖板101贴合；所述盖板101与所述炉门207贴合处有密封沟槽1012，所述密封沟槽内部设置有密封圈102，以形成一密封腔；所述盖板101的内腔容纳所述炉门207上的门牌2072。与图3所示实施例的不同之处在于，在本实施例中，所述真空检漏装置还包括：一锁紧装置406，所述锁紧装置406设置于所述支架305上，用于将所述被检测装置与所述盖板101锁紧形成一密封腔。

在本实施例中，所述锁紧装置406包括：立柱4061、紧固螺杆4062、压板4063、以及手柄4064。所述立柱4061固定立于所述支架305之上，所述立柱4061中间有穿孔，所述穿孔的孔壁有螺纹，该螺纹与所述紧固螺杆4062表面螺纹相契合。所述紧固螺杆4062的一端与所述压板4063相连，所述紧固螺杆4062的另一端连接有手柄4064以用于操作。所述压板4063用于与所述被检测装置接触。

在本实施例中，所述压板4063与所述被检测装置所在的平面(即水平面)垂直。当所述紧固螺杆4062穿过所述穿孔后，通过转动所述手柄4064可以推动所述压板4063在水平方向移动，从而将所述被检测装置与所述盖板101贴合。

在本实施例中，所述被检测装置为低压扩散炉的炉门207，所述炉门207上设置有旋转装置2071，将所述炉门207放置于所述真空检漏装置中，转动所述手柄4064，可以推动所述压板4063在水平方向移动从而将所述炉门207与所述盖板101贴合。当所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔进行抽真空作业时，需要先将所述盖板101压住所述炉门207，所述真空泵208通过所述连接管103以及连通的所述通孔将所述密封腔内的气体逐渐抽出，当所述盖板101与所述炉门207能够吸住后，再将所述密封腔抽真空。所述述锁紧装置406能够将所述贴合的过程更加精确高效。

在本实施例中，所述盖板101与所述炉门207形成的密封腔达到高真空，真空度≤1.2×10^-8托。关闭所述阀门104，观察一分钟内真空计的真空情况，用于判断被检测装置的漏气情况。在本实施例中，所述真空计集成于所述真空泵208中。如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内保持不变或者变化甚微，则所述炉门207不漏气；如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内快速上升，则所述炉门207漏气。当所述炉门207与所述盖板101吸住后，反向转动所述手柄4064，使所述压板4063离开所述炉门207，以使所述炉门207的门牌能够自由转动。当所述密封腔达到高真空后，转动所述旋转装置2071，观察一分钟内真空计的真空情况，用于检测门牌旋转状态下的漏气情况。如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内保持不变或者变化甚微，则当所述门牌旋转时所述炉门207不漏气；如果所述炉门207与所述盖板101形成的密封腔内的真空度在一分钟内快速上升，则所述门牌旋转时所述炉门207漏气。

上述技术方案提供了一种真空检漏装置，将被检测装置与所述真空检漏装置的盖板贴合形成一密封腔，并采用真空泵抽真空，关阀保压，检测一段时间内所述密封腔的真空度来检测被检测装置的漏气情况。上述技术方案可以在工艺作业前，提前发现被检测装置的漏气情况，避免漏气的组件安装到机台上，提高了机台保养维护的工作效率，同时使工艺作业过程中因漏气而需要更换组件的发生概率大大降低，提高了机台的有效工作时间，进而提高机台的产能，降低生产成本。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或者操作之间存在任何这种实际的关系或顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含。本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。

以上所述仅是本实用新型的优选实施例，并非用于限定本实用新型的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种真空检漏装置，其特征在于，包括：

盖板，具有一内腔，所述内腔能够容纳被检测装置的凸起部，并且所述盖板设置为能够与所述被检测装置贴合，所述盖板侧壁与所述被检测装置贴合处有密封沟槽，所述盖板具有通孔；

密封圈，设置于所述密封沟槽内，用于所述盖板与所述被检测装置之间的密封；

连接管，连接于所述通孔与真空泵的吸气口，所述连接管上设置有控制所述连接管中的气体流通的阀门。

2.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述密封圈是O型密封圈。

3.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述通孔与所述连接管连接处的孔径大于其位于所述内腔侧的孔径。

4.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述通孔设置于所述盖板侧壁处。

5.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述内腔具有向所述盖板底部延伸的凹槽，所述通孔的开口位于所述凹槽处。

6.根据权利要求1所述的真空检漏装置，其特征在于，所述盖板固定于一支架上。

7.根据权利要求6所述的真空检漏装置，其特征在于，还包括一锁紧装置，所述锁紧装置设置于所述支架上，用于将所述被检测装置与所述盖板锁紧形成一密封腔。

8.根据权利要求7所述的真空检漏装置，其特征在于，所述锁紧装置包括：立柱，固定立于所述支架，所述立柱中间有穿孔，所述穿孔的孔壁有螺纹；

紧固螺杆，所述紧固螺杆的表面螺纹与所述穿孔的孔壁的螺纹相契合；

压板，与所述紧固螺杆的一端相连，用于与所述被检测装置接触；

手柄，连接于所述紧固螺杆的另一端。

9.根据权利要求8所述的真空检漏装置，其特征在于，所述压板与所述被检测装置所在的平面垂直。