CN220578043U - 超高纯化学品储罐氮封控压系统 - Google Patents
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Abstract
超高纯化学品储罐氮封控压系统，包括储罐、压力变送器、氮气管、氮气开关阀、氮气过滤器、尾气排气管、尾气开关阀、尾气气液分离器、控制箱、冷凝液排放管。本专利氮封系统采用微正压氮封，一般高纯化学的储存需采用内衬储罐，然而内衬储罐不能达到压力容器的标准，因此微正压氮封可避免设备必须制作为压力容器，此外，专利氮封所采用的氮气为高纯氮气，且在进入系统前进行再次过滤，这样可避免污染化学品。此外，本套系统采用自动控压，可避免在储罐出料时，储罐内成负压，从而吸入空气而污染储罐或化学品，也可避免伤害储罐内衬层，同时也可避免储罐在入料时，罐内压力过高，从而导致入料不顺，也可避免超过储罐的设计压力。
Description
技术领域
本实用新型属于化学品存储领域，尤其涉及一种超高纯化学品储罐氮封控压系统。
背景技术
电子级的超高纯化学品对于杂质含量要求极高，因此超高纯化学品的储罐必须使用氮封，以防止化学品被污染，目前一般采用自力式调节阀进行控制，当压力低于自力式调节阀的设定值时，自动进行补气，但压力高于泄压压力时，开启排放阀进行排放。现有的这种氮封存在几个问题，第一，当压力在自力式调节阀设置值附近波动时，自力式调节阀将会频繁开闭，这样容易损坏阀门；第二，当压力在排放压力设定值附近波动时，排放阀门也会频繁出现波动，而一般排放管道品质较差，频繁的开闭将可能影响产品品质；第三，自力式调压阀的故障率相对于气动开关阀要高，如果调压阀失效，氮封将会直接失效。
发明内容
针对上述自力式调节阀在频繁使用时容易损坏、容易影响产品品质、氮封容易失效的技术问题。
本实用新型提供一种超高纯化学品储罐氮封控压系统，包括：控制箱通过压力变送器与储罐相连，保证整个氮封处于微正压状态；
控制箱通过尾气气动开关阀与储罐相连；
控制箱通过氮气气动开关阀与储罐相连。
所述的储罐通过尾气气动开关阀与尾气气液分离器在尾气排气管上相连，避免尾气中的冷凝液回流至储罐内污染产品。
所述的尾气气液分离器底部设置冷凝液排放管。
氮气过滤器通过氮气气动开关阀与储罐在氮气管上相连。
作为优选方案中，控制箱内采用PLC控制器；
作为优选方案中，压力变送器采用高纯PTFE或PFA材质，且测量精度高；
作为优选方案中，氮气过滤器为高纯高精度过滤器。
本实用新型的有益效果：
本专利氮封系统采用微正压氮封，一般高纯化学的储存需采用内衬储罐，然而内衬储罐不能达到压力容器的标准，因此微正压氮封可避免设备必须制作为压力容器，此外，专利氮封所采用的氮气为高纯氮气，且在进入系统前进行再次过滤，这样可避免污染化学品。此外，本套系统采用自动控压，可避免在储罐出料时，储罐内成负压，从而吸入空气而污染储罐或化学品，也可避免伤害储罐内衬层，同时也可避免储罐在入料时，罐内压力过高，从而导致入料不顺，也可避免超过储罐的设计压力。
附图说明
图1为超高纯化学品储罐氮封控压系统的结构示意图；
图中：储罐1、压力变送器2、氮气管3、氮气气动开关阀3-1、氮气过滤器3-2、尾气排气管4、尾气气动开关阀4-1、尾气气液分离器4-2、控制箱5、冷凝液排放管6。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细描述。
实施例1
超高纯化学品储罐氮封控压系统，包括控制箱5通过压力变送器2与储罐1相连；
控制箱5通过尾气气动开关阀4-1与储罐1相连；
控制箱5通过氮气气动开关阀3-1与储罐1相连。
所述的储罐1通过尾气气动开关阀4-1与尾气气液分离器4-2在尾气排气管4上相连。
所述的尾气气液分离器4-2底部设置冷凝液排放管6。
氮气过滤器3-2通过氮气气动开关阀3-1与储罐1在氮气管3上相连。
进一步地，控制箱内采用PLC控制器；
进一步地，压力变送器采用高纯PFA材质，且测量精度高；
进一步地，氮气过滤器为高纯高精度过滤器。
实施例2
采用实施例1所述的装置，其运行过程为：
控制箱5一般设置四个压力参数，例如7kPa、10kPa、12kPa、15kPa，系统运行期间，由压力变送器2将储罐1的压力值传递至控制箱，当储罐1内压力低于7 kPa时，将打开氮气气动开关阀3-1将氮气补充至储罐1，直至压力补至10 kPa，关闭氮气气动开关阀3-1；当储罐1内压力高于15 kPa时，将打开尾气气动开关阀4-1将氮气排出储罐1，直至压力排至12kPa时，关闭尾气气动开关阀4-1，冷凝液通过尾气气液分离器4-2底部的冷凝液排放管6排放，避免冷凝液回流储罐内污染产品，以此来控制储罐内压力值恒定在7～15 kPa。
上述的实施例仅为本实用新型的优选技术方案，而不应视为对于本实用新型的限制，本申请中的实施例及实施例中的特征在不冲突的情况下，可以相互任意组合。本实用新型的保护范围应以权利要求记载的技术方案，包括权利要求记载的技术方案中技术特征的等同替换方案为保护范围。即在此范围内的等同替换改进，也在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1. 超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于： 控制箱（5）通过压力变送器（2）与储罐（1）相连；
控制箱（5）通过尾气气动开关阀（4-1）与储罐（1）相连；
控制箱（5）通过氮气气动开关阀（3-1）与储罐（1）相连。
2.根据权利要求1所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：所述的储罐（1）通过尾气气动开关阀（4-1）与尾气气液分离器（4-2）在尾气排气管（4）上相连。
3.根据权利要求2所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：所述的尾气气液分离器（4-2）底部设置冷凝液排放管（6）。
4.根据权利要求1所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：氮气过滤器（3-2）通过氮气气动开关阀（3-1）与储罐（1）在氮气管（3）上相连。
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