CN220569655U - 一种晶圆盘定位结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆盘定位结构，包括托盘和滑动板，滑动槽内表面焊接有若干定位滑杆，滑动板内表面焊接有若干滑动套筒，定位滑杆外表面与滑动套筒内表面滑动连接，滑动板上表面焊接有移动托板，移动托板上表面焊接有移动夹板。本实用新型所述的一种晶圆盘定位结构，通过控制调节电机，带动动力锥齿轮旋转，利用动力锥齿轮与传动锥齿轮之间的啮合以及传动锥齿轮与带动锥齿轮之间的啮合，从而带动螺纹杆转动，然后利用螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面之间的螺纹连接，从而带动滑动板在滑动槽内部进行滑动，从而带动移动托板与移动夹板进行移动，从而方便对晶圆进行夹持固定，能够避免在运输过程中晶圆因晃动而导致晶圆出现碎裂的问题。
Description
技术领域
本实用新型属于定位结构技术领域，特别是涉及一种晶圆盘定位结构。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。在生产过程中，需要将晶圆放置于晶圆托盘上，通过传送机构将晶圆自动传送到机台工艺腔内对晶圆进行蚀刻工艺和镀膜工艺。
但是在运输过程中晶圆可能会发生晃动，容易导致晶圆出现碎裂的问题，晶圆碎裂将严重影响晶圆表面的光刻效果，降低晶圆成品率，提高生产成本。故此，我们提出一种晶圆盘定位结构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆盘定位结构，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
本实用新型为一种晶圆盘定位结构，包括托盘和滑动板，所述托盘内表面设置有若干滑动槽，所述滑动槽内表面焊接有若干定位滑杆，所述滑动板内表面焊接有若干滑动套筒，所述定位滑杆外表面与滑动套筒内表面滑动连接，所述滑动板上表面焊接有移动托板，所述移动托板上表面焊接有移动夹板，所述托盘内表面设置有放置槽和安装槽，所述放置槽内表面焊接有若干转动套筒，所述转动套筒内表面嵌合有螺纹杆，所述滑动板内表面焊接有螺纹套筒，所述螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面螺纹连接，所述螺纹杆外表面焊接有连接板，所述安装槽内表面焊接有传动套筒。
优选地，所述连接板外表面安装有带动锥齿轮，所述传动套筒内表面嵌合有传动轴，所述安装槽内表面安装有调节电机座，所述传动轴外表面安装有传动板，所述传动板外表面安装有传动锥齿轮，所述传动锥齿轮与带动锥齿轮啮合，所述调节电机座外表面安装有调节电机，所述调节电机输出端安装有动力锥齿轮，所述动力锥齿轮与传动锥齿轮啮合，通过控制调节电机，带动动力锥齿轮旋转，利用动力锥齿轮与传动锥齿轮之间的啮合以及传动锥齿轮与带动锥齿轮之间的啮合，从而带动螺纹杆转动，然后利用螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面之间的螺纹连接，同时利用定位滑杆外表面与滑动套筒内表面之间的滑动连接，从而带动滑动板在滑动槽内部进行滑动，从而带动移动托板与移动夹板进行移动，从而方便对晶圆进行夹持固定，能够避免在运输过程中晶圆因晃动而导致晶圆出现碎裂的问题，从而能够避免晶圆出现碎裂而影响晶圆表面的光刻效果，从而能够提高晶圆的成品率，能够减少生产成本。
优选地，所述螺纹杆外表面焊接有定位转板，所述托盘内表面设置有定位转槽，所述定位转板外表面焊接有定位转块，所述定位转块外表面嵌合在定位转槽内表面。
本实用新型具有以下有益效果：
1.本实用新型中，首先将移动托板与移动夹板安装在滑动板外表面，然后通过控制调节电机，带动动力锥齿轮旋转，利用动力锥齿轮与传动锥齿轮之间的啮合以及传动锥齿轮与带动锥齿轮之间的啮合，从而带动螺纹杆转动，然后利用螺纹杆外表面与螺纹套筒内表面之间的螺纹连接，同时利用定位滑杆外表面与滑动套筒内表面之间的滑动连接，从而带动滑动板在滑动槽内部进行滑动，从而带动移动托板与移动夹板进行移动，从而方便对晶圆进行夹持固定，能够避免在运输过程中晶圆因晃动而导致晶圆出现碎裂的问题，从而能够避免晶圆出现碎裂而影响晶圆表面的光刻效果，从而能够提高晶圆的成品率，能够减少生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型为一种晶圆盘定位结构的整体结构示意图；
图2为本实用新型为一种晶圆盘定位结构的俯视结构示意图；
图3为图2中A-A剖面结构示意图；
图4为图3中A部分局部放大图；
图5为图3中B部分局部放大图。
图中：1、托盘；2、滑动板；3、滑动槽；4、定位滑杆；5、滑动套筒；6、移动托板；7、移动夹板；8、放置槽；9、安装槽；10、转动套筒；11、螺纹杆；12、螺纹套筒；13、连接板；14、带动锥齿轮；15、传动套筒；16、传动轴；17、传动板；18、传动锥齿轮；19、调节电机座；20、调节电机；21、动力锥齿轮；22、定位转板；23、定位转块；24、定位转槽。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
如图1-5所示，一种晶圆盘定位结构，包括托盘1和滑动板2，托盘1内表面设置有若干滑动槽3，滑动槽3内表面焊接有若干定位滑杆4，滑动板2内表面焊接有若干滑动套筒5，定位滑杆4外表面与滑动套筒5内表面滑动连接，滑动板2上表面焊接有移动托板6，移动托板6上表面焊接有移动夹板7，托盘1内表面设置有放置槽8和安装槽9，放置槽8内表面焊接有若干转动套筒10，转动套筒10内表面嵌合有螺纹杆11，滑动板2内表面焊接有螺纹套筒12，螺纹杆11外表面与螺纹套筒12内表面螺纹连接，螺纹杆11外表面焊接有连接板13，安装槽9内表面焊接有传动套筒15。
连接板13外表面安装有带动锥齿轮14，传动套筒15内表面嵌合有传动轴16，安装槽9内表面安装有调节电机座19，传动轴16外表面安装有传动板17，传动板17外表面安装有传动锥齿轮18，传动锥齿轮18与带动锥齿轮14啮合，调节电机座19外表面安装有调节电机20，调节电机20输出端安装有动力锥齿轮21，动力锥齿轮21与传动锥齿轮18啮合，通过控制调节电机20，带动动力锥齿轮21旋转，利用动力锥齿轮21与传动锥齿轮18之间的啮合以及传动锥齿轮18与带动锥齿轮14之间的啮合，从而带动螺纹杆11转动，然后利用螺纹杆11外表面与螺纹套筒12内表面之间的螺纹连接，同时利用定位滑杆4外表面与滑动套筒5内表面之间的滑动连接，从而带动滑动板2在滑动槽3内部进行滑动，从而带动移动托板6与移动夹板7进行移动，从而方便对晶圆进行夹持固定，能够避免在运输过程中晶圆因晃动而导致晶圆出现碎裂的问题。
螺纹杆11外表面焊接有定位转板22，托盘1内表面设置有定位转槽24，定位转板22外表面焊接有定位转块23，定位转块23外表面嵌合在定位转槽24内表面。
需要说明的是，本实用新型为一种晶圆盘定位结构，首先将移动托板6与移动夹板7安装在滑动板2外表面，然后通过控制调节电机20，带动动力锥齿轮21旋转，利用动力锥齿轮21与传动锥齿轮18之间的啮合以及传动锥齿轮18与带动锥齿轮14之间的啮合，从而带动螺纹杆11转动，然后利用螺纹杆11外表面与螺纹套筒12内表面之间的螺纹连接，同时利用定位滑杆4外表面与滑动套筒5内表面之间的滑动连接，从而带动滑动板2在滑动槽3内部进行滑动，从而带动移动托板6与移动夹板7进行移动，从而方便对晶圆进行夹持固定，能够避免在运输过程中晶圆因晃动而导致晶圆出现碎裂的问题，从而能够避免晶圆出现碎裂而影响晶圆表面的光刻效果，从而能够提高晶圆的成品率，能够减少生产成本。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种晶圆盘定位结构，包括托盘(1)和滑动板(2)，其特征在于：所述托盘(1)内表面设置有若干滑动槽(3)，所述滑动槽(3)内表面焊接有若干定位滑杆(4)，所述滑动板(2)内表面焊接有若干滑动套筒(5)，所述定位滑杆(4)外表面与滑动套筒(5)内表面滑动连接，所述滑动板(2)上表面焊接有移动托板(6)，所述移动托板(6)上表面焊接有移动夹板(7)，所述托盘(1)内表面设置有放置槽(8)和安装槽(9)，所述放置槽(8)内表面焊接有若干转动套筒(10)，所述转动套筒(10)内表面嵌合有螺纹杆(11)，所述滑动板(2)内表面焊接有螺纹套筒(12)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆盘定位结构，其特征在于：所述螺纹杆(11)外表面与螺纹套筒(12)内表面螺纹连接，所述螺纹杆(11)外表面焊接有连接板(13)，所述安装槽(9)内表面焊接有传动套筒(15)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆盘定位结构，其特征在于：所述连接板(13)外表面安装有带动锥齿轮(14)，所述传动套筒(15)内表面嵌合有传动轴(16)，所述安装槽(9)内表面安装有调节电机座(19)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆盘定位结构，其特征在于：所述传动轴(16)外表面安装有传动板(17)，所述传动板(17)外表面安装有传动锥齿轮(18)，所述传动锥齿轮(18)与带动锥齿轮(14)啮合，所述调节电机座(19)外表面安装有调节电机(20)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆盘定位结构，其特征在于：所述调节电机(20)输出端安装有动力锥齿轮(21)，所述动力锥齿轮(21)与传动锥齿轮(18)啮合。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆盘定位结构，其特征在于：所述螺纹杆(11)外表面焊接有定位转板(22)，所述托盘(1)内表面设置有定位转槽(24)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆盘定位结构，其特征在于：所述定位转板(22)外表面焊接有定位转块(23)，所述定位转块(23)外表面嵌合在定位转槽(24)内表面。
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