CN220568948U - 一种硅部件深孔检测工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅部件深孔检测工装，包括固定架，固定架的底部一体成型有底部架，固定架的表面固定装配有挡块，固定架内开设有第一装配槽和第二装配槽，第一装配槽和第二装配槽之间开设有连接槽，固定架的表面开设有与第二装配槽相连通的检测槽，第一装配槽内装配有发光组件，第二装配槽内装配有遮光板。本实用新型与使用影像仪进行检测的方法相比，操作过程更加简单、方便，提高了检测效率，与手动在自然光下进行检测的方法相比，不容易出现对深孔通透性的误判，提高检测的准确度，在使用的过程中可以根据所需要检测产品尺寸的不同对遮光板进行更换，操作过程简单、方便。

Description

一种硅部件深孔检测工装

技术领域

本实用新型涉及硅部件检测技术领域，具体涉及一种硅部件深孔检测工装。

背景技术

在生产半导体硅零部件的过程中，需要将所制得的硅棒进行切片操作，形成硅盘后进行硅零部件的加工生产。硅零部件(电极)加工完成后需要对其深孔进行检测，检测其深孔是否完全通透，目前所使用到的检测方法为影像仪设备检测或手动调整检测，在通过影像仪对深孔进行检测时，影像仪的检测过程中检测能力过剩，且操作影像仪进行检测的过程耗时较长，而使用手动调整在自然光下进行检测时，又不容易固定检测的角度，容易出现对深孔是否通透进行误判的情况。为此，我们提出一种硅部件深孔检测工装。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅部件深孔检测工装，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅部件深孔检测工装，包括固定架，所述固定架的底部一体成型有底部架，所述固定架的表面固定装配有挡块，所述固定架内开设有第一装配槽和第二装配槽，所述第一装配槽和第二装配槽之间开设有连接槽，所述固定架的表面开设有与第二装配槽相连通的检测槽，所述第一装配槽内装配有发光组件，所述第二装配槽内装配有遮光板。

优选的，所述固定架与底部架之间固定装配有辅助支撑架。

优选的，所述底部架的底部固定连接有橡胶垫。

优选的，所述发光组件包括安装架，所述安装架内开设有安装槽，所述安装槽内均匀固定装配有LED发光灯，所述安装架的顶部固定装配有把手架。

优选的，所述遮光板包括遮光板主体，所述遮光板主体的前侧壁一体成型有检测块，所述检测块的前侧壁开设有贯穿遮光板主体的检测孔，所述遮光板主体的侧壁固定连接有把手块，所述固定架的侧壁开设有开口槽，所述把手块位于开口槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种硅部件深孔检测工装，用于对硅棒所生产加工的硅零部件进行检测，将硅零部件放置于挡块上，通过遮光板将对应尺寸的光线透过硅零部件的电机孔，对硅零部件的深孔进行通透性的检测，本实用新型与使用影像仪进行检测的方法相比，操作过程更加简单、方便，提高了检测效率，与手动在自然光下进行检测的方法相比，不容易出现对深孔通透性的误判，提高检测的准确度，在使用的过程中可以根据所需要检测产品尺寸的不同对遮光板进行更换，操作过程简单、方便。

附图说明

图1为本实用新型的立体图。

图2为本实用新型的结构示意图。

图3为本实用新型发光组件的结构示意图。

图4为本实用新型遮光板的结构示意图。

图5为本实用新型装配不同遮光板的结构示意图。

图中：1、固定架，2、底部架，3、挡块，4、辅助支撑架，5、第一装配槽，6、第二装配槽，7、连接槽，8、发光组件，81、安装架，82、安装槽，83、LED发光灯，84、把手架，9、遮光板，91、遮光板主体，92、检测块，93、检测孔，94、把手块，10、检测槽，11、开口槽，12、橡胶垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本实用新型提供一种技术方案：一种硅部件深孔检测工装，包括固定架1，固定架1的底部一体成型有底部架2，固定架1与底部架2之间的夹角在45°-60°之间，便于待检测的部件在固定架1表面的放置，固定架1的表面呈左、右对称固定装配有挡块3，挡块3与水平面之间呈30°倾斜，通过呈左、右对称设置的挡块3便于对待检测的部件进行托举，使待检测部件卡接在固定架1的表面。

固定架1与底部架2之间焊接固定有辅助支撑架4，通过设置辅助支撑架4增加固定架1与底部架2之间的稳定性，避免在长期使用的过程中固定架1与底部架2之间产生形变。

固定架1内开设有第一装配槽5和第二装配槽6，第一装配槽5和第二装配槽6之间设置有连接槽7，第一装配槽5和第二装配槽6通过连接槽7相连通，固定架1的表面开设有与第二装配槽6相连通的检测槽10，第一装配槽5内装配有发光组件8，第二装配槽6内装配有遮光板9，遮光板9采用不透光的PC材料制作而成，发光组件8向外发光，通过遮光板9对透过连接槽7的光进行遮挡限制，便于对不同尺寸大小的硅部件进行深孔检测。

发光组件8包括安装架81，安装架81的尺寸与第一装配槽5的尺寸相适配，安装架81内开设有安装槽82，安装槽82内固定装配有LED发光灯83，LED发光灯83电连接外部电源，LED发光灯83通电开后向连接槽7内进行光线的照射。

LED发光灯83的数量至少为三个，三个LED发光灯83均匀分布在安装槽82内，通过设置三个LED发光灯83保证对连接槽7内的光照强度。

如图3中所示，安装架81的顶部焊接固定有把手架84，通过设置把手架84便于将安装架81从第一装配槽5内进行拿取，当存在LED发光灯83损坏时，便于对安装架81内的LED发光灯83进行更换。

遮光板9包括遮光板主体91，遮光板主体91的尺寸与第二装配槽6的尺寸相适配，遮光板主体91的前侧壁一体成型有与检测槽10形状以及尺寸相匹配的检测块92，检测块92内开设有贯穿遮光板主体91与连接槽7相连通的检测孔93，检测孔93的尺寸大小根据所需要批量检测的待检测工件进行设置，根据所需要批量检测工件的直径不同，更换不同大小检测孔93的遮光板9。

如图4中所示，遮光板主体91的左、右侧壁分别焊接固定有把手块94，位于固定架1的左右侧壁开设有与第二装配槽6相连通的开口槽11，在遮光板9与第二装配槽6装配后，把手块94位于开口槽11内，通过设置把手块94便于将遮光板9移出第二装配槽6，提高遮光板9与第二装配槽6进行拆卸与装配的效率。

底部架2的底部粘贴固定有橡胶垫12，通过设置橡胶垫12增加底部架2与工作台之间的摩擦力，加强底部架2的固定效果，使本工装在使用的过程中可以更好的保持位置的稳定。

工作原理：如图1和图5中所示，在使用的过程中根据所需要检测的硅零部件产品的尺寸选择对应的遮光板9，将遮光板9插入到第二装配槽6内进行装配固定，然后开启LED发光灯83，遮光板9将LED发光灯83所发出的光进行遮挡，将光照限制成检测孔93的尺寸大小，然后将对应尺寸的批量待检测硅片放置于两个挡块3的顶部，使硅片与检测孔93的位置相对应，此时检测孔93内的光线穿过硅零部件的电极孔，便于操作人员观察硅零部件的电极孔，对深孔的穿透性进行判断。

Claims (5)

1.一种硅部件深孔检测工装，包括固定架(1)，其特征在于：所述固定架(1)的底部一体成型有底部架(2)，所述固定架(1)的表面固定装配有挡块(3)，所述固定架(1)内开设有第一装配槽(5)和第二装配槽(6)，所述第一装配槽(5)和第二装配槽(6)之间开设有连接槽(7)，所述固定架(1)的表面开设有与第二装配槽(6)相连通的检测槽(10)，所述第一装配槽(5)内装配有发光组件(8)，所述第二装配槽(6)内装配有遮光板(9)。

2.根据权利要求1所述的一种硅部件深孔检测工装，其特征在于：所述固定架(1)与底部架(2)之间固定装配有辅助支撑架(4)。

3.根据权利要求1所述的一种硅部件深孔检测工装，其特征在于：所述底部架(2)的底部固定连接有橡胶垫(12)。

4.根据权利要求1所述的一种硅部件深孔检测工装，其特征在于：所述发光组件(8)包括安装架(81)，所述安装架(81)内开设有安装槽(82)，所述安装槽(82)内均匀固定装配有LED发光灯(83)，所述安装架(81)的顶部固定装配有把手架(84)。

5.根据权利要求1所述的一种硅部件深孔检测工装，其特征在于：所述遮光板(9)包括遮光板主体(91)，所述遮光板主体(91)的前侧壁一体成型有检测块(92)，所述检测块(92)的前侧壁开设有贯穿遮光板主体(91)的检测孔(93)，所述遮光板主体(91)的侧壁固定连接有把手块(94)，所述固定架(1)的侧壁开设有开口槽(11)，所述把手块(94)位于开口槽(11)内。