CN220543839U - 一种双晶检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种双晶检测装置，包括工作台、限位组件、扩膜组件和检测组件；限位组件用于负责对料片进行限位；扩膜组件包括承载台、光源和驱动件，驱动件与承载台连接，光源设于承载台上，驱动件用于带动承载台沿竖直方向移动，以使承载台顶起料片中的待测晶圆；检测组件包括CCD相机、第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件和第二驱动组件皆与CCD相机连接，第一驱动组件和第二驱动组件分别用于带动CCD相机沿不同方位移动，以使CCD相机对待测晶圆进行多方位检测。通过本申请，能够替代人工目检的方式对裂片后双晶进行检测，解决人工目检所带来的不良影响，还能提升检测效率以及提升检测准确度。

Description

一种双晶检测装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种双晶检测装置。

背景技术

LED晶圆分离成单颗晶粒过程中主要晶粒五个阶段：激光改制、裂片机裂片、扩膜、双晶检测和分选。目前其中双晶检测主要为人工目检。

现有的人工目检存在以下不足：

人员培训时间和周期长，成本高；

人员检测误判以及漏检比率特别高，容易引发客诉；

人员使用成本高，从而降低了公司产品竞争力；

人工检测实用性不强，人工检测反馈机制太慢，容易造成无法挽回损失。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种双晶检测装置，以解决现有技术中的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种双晶检测装置，包括工作台、设于所述工作台上的限位组件、扩膜组件和检测组件；

所述限位组件用于负责对料片进行限位，所述限位组件位于所述扩膜组件的上方；

所述扩膜组件包括承载台、光源和驱动件，所述驱动件与所述承载台连接，所述光源设于所述承载台上，所述驱动件用于带动所述承载台沿竖直方向移动，以使所述承载台顶起所述料片中的待测晶圆；

所述检测组件包括CCD相机、第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件和所述第二驱动组件皆与所述CCD相机连接，所述第一驱动组件和所述第二驱动组件分别用于带动所述CCD相机沿不同方位移动，以使所述CCD相机对所述待测晶圆进行多方位检测；

其中，所述限位组件包括两条进料轨道和设于所述进料轨道上的U形结构，所述承载台位于所述两条进料轨道之间，所述料片通过所述U形结构限位于两条所述进料轨道之间。

本实用新型的有益效果是：通过限位组件将料片限位后，输送至扩膜组件上，然后利用扩膜组件中的驱动件带动承载台和光源同步上升，以顶起料片，实现对料片的扩膜操作，再利用第一驱动组件和第二驱动组件带动CCD相机沿不同方位移动，以使CCD相机对载台上的待测晶圆进行多方位检测，以替代人工目检的方式对裂片后双晶进行检测，解决人工目检所带来的不良影响，还能提升检测效率以及提升检测准确度。

优选的，两条所述进料管道上的U形结构的开口相对设置。

优选的，所述承载台和所述光源皆为圆柱状结构，所述承载台的截面面积大于所述光源的截面面积。

优选的，所述驱动件为驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆朝上设置，所述驱动气缸的活塞杆与所述承载台的底部连接。

优选的，所述第二驱动组件设于所述第一驱动组件上，所述CCD相机设于所述第二驱动组件上，所述CCD相机位于所述承载台的上方。

优选的，所述第一驱动组件包括限位台和螺杆，所述螺杆上螺纹连接有位移块，所述位移块与所述限位台贴合接触，且与所述第二驱动组件连接，所述螺杆通过第一驱动电机驱动，以使所述位移块沿所述螺杆的轴向移动。

优选的，所述第二驱动组件包括电动滑台和第二驱动电机，所述电动滑台与所述CCD相机连接，且与所述第二驱动电机连接，所述电动滑台与所述螺杆相互垂直。

优选的，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机为步进电机。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的限位组件和扩膜组件的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的限位组件和料片的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的检测组件的结构示意图。

主要元件符号说明：

11、进料轨道；12、U形结构；20、扩膜组件；21、承载台；22、光源；23、驱动件；30、检测组件；31、CCD相机；321、螺杆；322、第一驱动电机；323、位移块；331、电动滑台；332、第二驱动电机；333、滑块；40、料片；41、铁环。

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图3，为本实用新型实施例中的双晶检测装置，包括工作台、设于工作台上的限位组件、扩膜组件20和检测组件30。

其中：限位组件用于对料片40进行限位，限位组件位于扩膜组件20的上方，扩膜组件20的初始位置位于限位组件的下方，扩膜组件20包括承载台21、光源22和驱动件23，驱动件23与承载台21的底部连接，光源22设于承载台21上，驱动件23用于带动承载台21和光源22沿竖直方向同步移动，以使承载台21顶起料片40中的待测晶圆，实现扩膜操作，可以理解的，该料片40为经过裂片工艺后的物料。需要说明的是，该驱动件23为驱动气缸，驱动气缸的活塞杆朝上，驱动气缸的活塞杆与承载台21的底部连接，以实现利用驱动件23带动承载台21和光源22沿竖直方向做往复运动。

在本实施例中，检测组件30包括CCD相机31、第一驱动组件和第二驱动组件，第一驱动组件和第二驱动组件皆与CCD相机31连接，具体为，第二驱动组件设于第一驱动组件上，CCD相机31设于第二驱动组件上，第一驱动组件和第二主动组件分别用于带动CCD相机31沿不同方位移动，以使CCD相机31能够对扩膜后的待测晶圆进行多方位检测，以实现CCD相机31通过待测晶圆的透光性对待测晶圆的双晶检测的目的。可以理解的，料片40经裂片后，裂开的位置会透光，而未裂开的位置无法透光，进而会形成灰度差，通过CCD相机31全自动检测裂片后待测晶圆的整体双晶情况。

需要说明的是，CCD相机31位于承载台21的上方，且承载台21位于CCD相机31的拍摄范围内。

在本实施例中，限位组件包括两条进料轨道11和设于进料轨道11上的U形结构12，两条进料轨道11上的U形结构12的开口相对设置，料片40能够通过U形结构12限位于两条进料轨道11之间，以使料片40在竖直方向无法移动，承载台21位于两条进料轨道11之间，且承载台21的初始位置位于进料轨道11的下方，需要说明的是，料片40能够通过进料轨道11从承载台21的一侧移动至承载台21的正上方，然后通过驱动件23带动承载台21和光源22朝上移动，以顶起料片40上的待测晶圆，实现扩膜操作。

进一步地，料片40通过铁环41限位于U形结构12内，可以理解的，料片40置于铁环41内，铁环41的相对两侧限位于两条进料轨道11上的U形结构12中，铁环41为内部中空的环状结构，且铁环41的内环的开口面积大于承载台21和/或光源22的截面面积，以便驱动件23带动承载台21和光源22朝上移动，顶起料片40上的待测晶圆。

在本实施例中，承载台21和光源22皆圆柱状结构，承载台21的截面面积大于光源22的截面面积。

在本实施例中，第一驱动组件包括限位台、螺杆321和第一驱动电机322，螺杆321与进料轨道11相垂直，螺杆321上螺纹连接有位移块323，位移块323与限位台贴合接触，且与第二驱动组件连接，螺杆321的一端通过联轴器与第一驱动电机322的驱动轴连接，可以理解的，当第一驱动电机322带动螺杆321顺时针转动或逆时针转动时，在限位台的作用下，位移块323沿螺杆321的轴向做往复运动，以利用位移块323带动第二驱动组件和CCD相机31进行靠近或远离待测晶圆的方向移动，以使CCD相机31能够对待测晶圆进行检测。

在本实施例中，第二驱动组件包括电动滑台331和第二驱动电机332，电动滑台331横卧于水平面上，电动滑台331上设有配套使用的滑块333，电动滑台331通过滑块333与CCD相机31连接，电动滑台331与螺杆321相互垂直，且电动滑台331的一侧与位移块323连接，第二驱动电机332与电动滑台331连接，以使第二驱动电机332控制电动滑台331工作，从而带动CCD相机31沿电动滑台331做往复运动，以实现在第一驱动组件和第二驱动组件的作用下，带动CCD相机31对待测晶圆进行多方位检测的目的，以检测待测晶圆劈裂情况。

可以理解的，第一驱动电机322和第二驱动电机332皆为步进电机。

在一个具体实施方式中，当料片40下料后通过进料轨道11输送至承载台21的上方时，由驱动气缸带动承载台21朝上运动，以顶起料片40上的待测晶圆，再在第一驱动电机322的控制下，带动CCD相机31相对顶起的待测晶圆进行左右移动，当检测完待测晶圆上的左、中、右三个检测点后，使得CCD相机31停留在待测晶圆的中心位置的上方，然后有第二驱动电机332控制电动滑台331工作，以使CCD相机31相对待测晶圆进行前后移动，以检测待测晶圆上其他两个检测点，由于CCD相机31的初始位置位于承载台21的正上方，因此，能够拍摄到待测晶圆的中心的监测点，从而完成对待测晶圆上5个检测点的拍摄工作，通过该5个检测点的检测判断相应的待测晶圆是否有双晶大面积异常的问题。

在具体实施时，通过限位组件将料片40限位后，输送至扩膜组件20上，然后利用扩膜组件20中的驱动件23带动承载台21和光源22同步上升，以顶起料片40，实现对料片40的扩膜操作，再利用第一驱动组件和第二驱动组件带动CCD相机31沿不同方位移动，以使CCD相机31对载台上的待测晶圆进行多方位检测，以替代人工目检的方式对裂片后双晶进行检测，解决人工目检所带来的不良影响，还能提升检测效率以及提升检测准确度。

需要说明的是，上述的实施过程只是为了说明本申请的可实施性，但这并不代表本申请的双晶检测装置只有上述唯一一种实施流程，相反的，只要能够将本申请的双晶检测装置实施起来，都可以被纳入本申请的可行实施方案。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种双晶检测装置，其特征在于，包括工作台、设于所述工作台上的限位组件、扩膜组件和检测组件；

所述限位组件用于负责对料片进行限位，所述限位组件位于所述扩膜组件的上方；

所述扩膜组件包括承载台、光源和驱动件，所述驱动件与所述承载台连接，所述光源设于所述承载台上，所述驱动件用于带动所述承载台沿竖直方向移动，以使所述承载台顶起所述料片中的待测晶圆；

所述检测组件包括CCD相机、第一驱动组件和第二驱动组件，所述第一驱动组件和所述第二驱动组件皆与所述CCD相机连接，所述第一驱动组件和所述第二驱动组件分别用于带动所述CCD相机沿不同方位移动，以使所述CCD相机对所述待测晶圆进行多方位检测；

其中，所述限位组件包括两条进料轨道和设于所述进料轨道上的U形结构，所述承载台位于所述两条进料轨道之间，所述料片通过所述U形结构限位于两条所述进料轨道之间。

2.根据权利要求1所述的双晶检测装置，其特征在于，两条所述进料轨道上的U形结构的开口相对设置。

3.根据权利要求1所述的双晶检测装置，其特征在于，所述承载台和所述光源皆为圆柱状结构，所述承载台的截面面积大于所述光源的截面面积。

4.根据权利要求1所述的双晶检测装置，其特征在于，所述驱动件为驱动气缸，所述驱动气缸的活塞杆朝上设置，所述驱动气缸的活塞杆与所述承载台的底部连接。

5.根据权利要求1所述的双晶检测装置，其特征在于，所述第二驱动组件设于所述第一驱动组件上，所述CCD相机设于所述第二驱动组件上，所述CCD相机位于所述承载台的上方。

6.根据权利要求1所述的双晶检测装置，其特征在于，所述第一驱动组件包括限位台和螺杆，所述螺杆上螺纹连接有位移块，所述位移块与所述限位台贴合接触，且与所述第二驱动组件连接，所述螺杆通过第一驱动电机驱动，以使所述位移块沿所述螺杆的轴向移动。

7.根据权利要求6所述的双晶检测装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括电动滑台和第二驱动电机，所述电动滑台与所述CCD相机连接，且与所述第二驱动电机连接，所述电动滑台与所述螺杆相互垂直。

8.根据权利要求7所述的双晶检测装置，其特征在于，所述第一驱动电机和所述第二驱动电机为步进电机。