CN220537897U - 一种旋转靶材绑定用衬管组件及旋转靶材绑定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是一种旋转靶材绑定用衬管组件及旋转靶材绑定装置，旋转靶材绑定用衬管组件包括用于穿设多个靶材管的衬管本体，第一夹紧套螺接在衬管本体的第一端，旋转第一夹紧套可向各靶材管施加朝向衬管本体的第二端的推力；第二夹紧套螺接在衬管本体的第二端，旋转第二夹紧套可向各靶材管施加朝向衬管本体的第一端的推力；本实用新型的旋转靶材绑定用衬管组件，只需要旋转第一夹紧套或第二夹紧套即可实现对各个靶材管的夹紧，安装或拆卸靶材管时也只需要旋转第一夹紧套或第二夹紧套即可，缩短了安装或拆卸作业的耗时，有利于旋转靶材的大批量加工。

Description

一种旋转靶材绑定用衬管组件及旋转靶材绑定装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别是一种旋转靶材绑定用衬管组件及旋转靶材绑定装置。

背景技术

旋转靶材相对于平面靶材具有靶材利用率高、溅射速率快等优点，应用旋转靶材的镀膜设备也越来越多。旋转靶材包括衬管和由靶材材料制成的靶材管，衬管和靶材管通过绑定工序结合在一起。绑定靶材管时，需要将多节靶材管依次套设在衬管外侧，由于靶材管的内径大于衬管的外径，将各节靶材管套设在衬管外侧之后，靶材管的内侧管壁与衬管的外侧壁之间形成焊液填充腔，之后向焊液填充腔中注入焊液，待焊液冷却后，即可将靶材管与衬管粘合，实现对靶材管的绑定。

为避免向填充腔内注入焊液时从两个靶材管的端部缝隙流出，需要保证套设在衬管外侧的相邻的两个靶材管的端部紧密贴合。授权公告号为CN212020503U的中国实用新型专利公开了一种用于靶材绑定的夹紧装置，包括设置在衬管一端的第一夹紧件和设置在衬管另一端的第二夹紧件，第一夹紧件和第二夹紧件均为套设在衬管外侧的环体，还包括多个环绕第一夹紧件和第二夹紧件布置的螺柱，各螺柱的两端分别穿过第一夹紧件和第二夹紧件并连接有螺母，通过旋拧螺柱两端的螺母，能够使得第一夹紧件和第二夹紧件相互靠近，从而实现对各个靶材管的轴向压紧。然而，采用该压紧方式时，在安装或拆卸靶材管时，需要同时旋拧多个螺母，才能将第一夹紧件或第二夹紧件从衬管端部拆除，导致安装或拆卸作业耗时较长，不利于旋转靶材的大批量加工。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：目前，安装或拆卸靶材管时，需要同时旋拧多个螺母，导致安装或拆卸作业耗时较长，不利于旋转靶材的大批量加工。

为了解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种旋转靶材绑定用衬管组件，包括：

衬管本体，用于穿设多个靶材管；

第一夹紧套，螺接在所述衬管本体的第一端，旋转所述第一夹紧套，可使所述第一夹紧套向所述衬管本体的第二端的方向顶推各所述靶材管；

第二夹紧套，螺接在所述衬管本体的第二端，旋转所述第二夹紧套，可使所述第二夹紧套向所述衬管本体的第一端的方向顶推各所述靶材管。

作为优选方案，所述旋转靶材绑定用衬管组件包括套设在所述衬管本体外侧的第一端距调节环，所述第一夹紧套、所述第一端距调节环和各所述靶材管沿所述衬管本体的轴向依次布置。

作为优选方案，所述第一端距调节环的内径与所述衬管本体的外径的差值大于等于0.03mm且小于等于0.06mm。

作为优选方案，所述旋转靶材绑定用衬管组件包括套设在所述衬管本体外侧的第二端距调节环，所述第二夹紧套、所述第二端距调节环和各所述靶材管沿所述衬管本体的轴向依次布置。

作为优选方案，所述第二端距调节环的内径与所述衬管本体的外径的差值大于等于0.03mm且小于等于0.06mm。

作为优选方案，所述第一夹紧套远离各所述靶材管的一端的外侧设有法兰部，所述法兰部设有环绕所述第一夹紧套的轴向间隔设有多个螺栓孔。

作为优选方案，所述衬管本体的第一端的外螺纹的大径和所述衬管本体的第二端的外外螺纹的大径均小于等于所述衬管本体的外径。

一种旋转靶材绑定装置，包括上述的旋转靶材绑定用衬管组件，所述旋转靶材绑定装置还包括：

机架，包括底座、设置在所述底座一侧的支撑杆和设置在所述支撑杆上且可上下移动的顶部安装台；

旋转驱动装置，设置在所述底座上；

第一锥形柱，直径较大的一端与所述旋转驱动装置的驱动轴止转连接，直径较小的一端插设在位于衬管本体下端的第一夹紧套内；

第二锥形柱，与所述第一锥形柱上下相对布置，所述第二锥形柱的直径较大的一端水平转动连接在所述顶部安装台的下端，所述第二锥形柱的直径较小的一端插设在位于所述衬管本体上端的第二夹紧套中。

作为优选方案，所述顶部安装台上下滑动导向连接在所述支撑杆上，所述旋转靶材绑定装置还包括驱动电机和丝杆，所述丝杆的一端与所述驱动电机的输出轴止转连接，所述丝杆的另一端与所述顶部安装台螺接。

作为优选方案，所述顶部安装台的下端连接有转盘轴承，所述第二锥形柱的上端与所述转盘轴承连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型的旋转靶材绑定用衬管组件，包括用于穿设多个靶材管的衬管本体；第一夹紧套螺接在衬管本体的第一端，旋转第一夹紧套可向各靶材管施加朝向衬管本体的第二端的推力；第二夹紧套螺接在所述衬管本体的第二端，旋转第二夹紧套可向各靶材管施加朝向衬管本体的第一端的推力，本实用新型的旋转靶材绑定用衬管组件，只需要旋转第一夹紧套或第二夹紧套即可实现对各个靶材管的夹紧，安装或拆卸靶材管时也只需要旋转第一夹紧套或第二夹紧套即可，缩短了安装或拆卸作业的耗时，有利于旋转靶材的大批量加工。

附图说明

图1为本发明的旋转靶材绑定用衬管组件的结构示意图；

图2为本发明的旋转靶材绑定装置的结构示意图；

图中，100、靶材管；201、底座；202、支撑杆；203、顶部安装台；204、第一锥形柱；205、第二锥形柱；300、焊液填充腔；1、衬管本体；2、第一夹紧套；21、法兰部；3、第二夹紧套；4、第一端距调节环；5、第二端距调节环。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。应当理解的是，本实用新型中采用术语“第一”、“第二”等来描述各种信息，但这些信息不应限于这些术语，这些术语仅用来将同一类型的信息彼此区分开。例如，在不脱离本实用新型范围的情况下，“第一”信息也可以被称为“第二”信息，类似的，“第二”信息也可以被称为“第一”信息。

如图1所示，本实用新型的旋转靶材绑定用衬管组件的优选实施例，包括：衬管本体1，用于穿设多个靶材管100；第一夹紧套2，螺接在衬管本体1的第一端，旋转第一夹紧套2，可使第一夹紧套2向衬管本体1的第二端的方向顶推各靶材管100；第二夹紧套3，螺接在衬管本体1的第二端，旋转第二夹紧套3，可使第二夹紧套3向衬管本体1的第一端的方向顶推各靶材管100。本实施例的旋转靶材绑定用衬管组件，只需要旋转第一夹紧套2或第二夹紧套3即可实现对各个靶材管100的夹紧，安装或拆卸靶材管100时也只需要旋转第一夹紧套或第二夹紧套即可，缩短了安装或拆卸作业的耗时，有利于旋转靶材的大批量加工。

具体的，本实施例中，衬管本体100的第一端的外侧和第二端的外侧均设有外螺纹，第一夹紧套2和第二夹紧套3均设有内螺纹，第一夹紧套2的端部和第二夹紧套3的端部可以直接顶压各靶材管100，也可以通过中间过渡件间接顶压各靶材管100；将旋转靶材安装在磁控溅射机的旋转靶材座上时，针对不同的加工对象，需要改变靶材管100距离衬管100的第一端的端部的距离，为便于调节靶材管100距离衬管本体1的第一端的端距；本实施例中，旋转靶材绑定用衬管组件包括套设在衬管本体1外侧的第一端距调节环4，第一夹紧套2、第一端距调节环4和各靶材管100沿衬管本体1的轴向依次布置。

进一步地，由于第一端距调节环4的上端与靶材管100的端部接触，为避免焊液填充腔300中的焊液泄露，第一端距调节环4需要起到对焊液填充腔300的密封作用，本实施例中，第一端距调节环4的内径与衬管本体1的外径的差值大于等于0.03mm且小于等于0.06mm，既保证了焊液无法通过第一端距调节环4与衬管本体1之间的配合间隙流出，又保证了第一端距调节环4能够顺利套设在衬管本体1的端部且能够顺利从衬管本体1上拆除。

本实施例中，为便于调节靶材管100与衬管本体1的第二端端部的距离，旋转靶材绑定用衬管组件包括套设在衬管本体1外侧的第二端距调节环5，第二夹紧套3、第二端距调节环5和各靶材管100沿衬管本体1的轴向依次布置。第二端距调节环5的内径与衬管本体1的外径的差值大于等于0.03mm且小于等于0.06mm。生产时，可提前准备不同高度的第一端距调节环4和第二端距调节环5，在使用过程中，根据旋转靶材的使用要求，选取合适规格。

为便于将旋转靶材连接在磁控溅射机上，本实施例中，第一夹紧套2远离各靶材管100的一端的外侧设有法兰部21，法兰部21设有环绕第一夹紧套2的轴向间隔设有多个螺栓孔。具体的，各个螺栓孔的位置与磁控溅射机上用于连接靶材管的螺栓连接孔对应布置。

本实施例中，衬管本体1的第一端的外螺纹的大径和衬管本体1的第二端的外外螺纹的大径均小于等于衬管本体1的外径。具体的，各个靶材管100绑定完成后，还需要检测绑定质量是否合格，若绑定质量达不到设定要求，需要将不符合质量要求的靶材管100从衬管本体1上解除绑定，若靠近衬管本体1第一端的靶材管100不合格，将第一夹紧套2从城管本体1上拆除，由于衬管本体1的第一端的外螺纹的大径小于等于衬管本体1的外径，因此衬管本体1的第一端的外螺纹不会对需要拆除的靶材管造成阻碍，把靠近衬管本体1第一端的靶材管100从衬管本体的第一端去除即可，方便了靶材管100的解绑。

一种旋转靶材绑定装置的实施例，包括上述的旋转靶材绑定用衬管组件，旋转靶材绑定装置还包括：机架，包括底座201、设置在底座201一侧的支撑杆202和设置在支撑杆202上且可上下移动的顶部安装台203；旋转驱动装置，设置在底座201上；第一锥形柱204，直径较大的一端与旋转驱动装置的驱动轴止转连接，直径较小的一端插设在位于衬管本体1下端的第一夹紧套2内；第二锥形柱205，与第一锥形柱204上下相对布置，第二锥形柱205的直径较大的一端水平转动连接在顶部安装台203的下端，第二锥形柱205的直径较小的一端插设在位于衬管本体1上端的第二夹紧套3中。向下移动顶部安装台203，能够使得第二锥形柱205向下压第二夹紧套3，从而使得第一锥形柱204和第二锥形柱205能够压紧衬管组件，使得第一夹紧套2的内壁与第一锥形柱204的外壁之间存在较大的摩擦力，旋转驱动装置带动第一锥形柱204转动，即可通过第一锥形柱204带动衬管组件转动。此外，第一锥形柱204和第二锥形柱205的设置还能起到对衬管本体1的自动对中作用，只需要将衬管组件放置在第一锥形柱204上，且使得第二锥形柱205压紧第二夹紧套3，即可使得衬管组件保持竖直，便于衬管组件的安放。

其中，顶部安装台203上下滑动导向连接在支撑杆202上，旋转靶材绑定装置还包括驱动电机和丝杆，丝杆的一端与驱动电机的输出轴止转连接，丝杆的另一端与顶部安装台螺接。

为保证第二锥形柱205的转动顺畅，本实施例中，顶部安装台203的下端连接有转盘轴承，第二锥形柱205的上端与转盘轴承连接。

综上，本实用新型的旋转靶材绑定用衬管组件，包括第一夹紧套2、第二夹紧套3和用于穿设多个靶材管100的衬管本体1，衬管本体100的第一端的外侧和第二端的外侧均设有外螺纹；第一夹紧套2设有内螺纹，第一夹紧套2螺接在衬管本体1的第一端，旋转第一夹紧套2，可使第一夹紧套2向衬管本体1的第二端的方向顶推各靶材管100；第二夹紧套3设有内螺纹，第二夹紧套3螺接在衬管本体1的第二端，旋转第二夹紧套3，可使第二夹紧套3向衬管本体1的第一端的方向顶推各靶材管100。本实施例的旋转靶材绑定用衬管组件，只需要旋转第一夹紧套2或第二夹紧套3即可实现对各个靶材管100的夹紧，安装或拆卸靶材管100时也只需要旋转第一夹紧套或第二夹紧套即可，缩短了安装或拆卸作业的耗时，有利于旋转靶材的大批量加工。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，包括：

衬管本体(1)，用于穿设多个靶材管(100)；

第一夹紧套(2)，螺接在所述衬管本体(1)的第一端，旋转所述第一夹紧套(2)，可使所述第一夹紧套(2)向所述衬管本体(1)的第二端的方向顶推各所述靶材管(100)；

第二夹紧套(3)，螺接在所述衬管本体(1)的第二端，旋转所述第二夹紧套(3)，可使所述第二夹紧套(3)向所述衬管本体(1)的第一端的方向顶推各所述靶材管(100)。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，所述旋转靶材绑定用衬管组件包括套设在所述衬管本体(1)外侧的第一端距调节环(4)，所述第一夹紧套(2)、所述第一端距调节环(4)和各所述靶材管(100)沿所述衬管本体(1)的轴向依次布置。

3.根据权利要求2所述的旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，所述第一端距调节环(4)的内径与所述衬管本体(1)的外径的差值大于等于0.03mm且小于等于0.06mm。

4.根据权利要求1所述的旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，所述旋转靶材绑定用衬管组件包括套设在所述衬管本体(1)外侧的第二端距调节环(5)，所述第二夹紧套(3)、所述第二端距调节环(5)和各所述靶材管(100)沿所述衬管本体(1)的轴向依次布置。

5.根据权利要求4所述的旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，所述第二端距调节环(5)的内径与所述衬管本体(1)的外径的差值大于等于0.03mm且小于等于0.06mm。

6.根据权利要求1所述的旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，所述第一夹紧套(2)远离各所述靶材管(100)的一端的外侧设有法兰部(21)，所述法兰部(21)设有环绕所述第一夹紧套(2)的轴向间隔设有多个螺栓孔。

7.根据权利要求1所述的旋转靶材绑定用衬管组件，其特征在于，所述衬管本体(1)的第一端的外螺纹的大径和所述衬管本体(1)的第二端的外外螺纹的大径均小于等于所述衬管本体(1)的外径。

8.一种旋转靶材绑定装置，其特征在于，包括权利要求1至7任一项所述的旋转靶材绑定用衬管组件，所述旋转靶材绑定装置还包括：

机架，包括底座(201)、设置在所述底座(201)一侧的支撑杆(202)和设置在所述支撑杆(202)上且可上下移动的顶部安装台(203)；

旋转驱动装置，设置在所述底座(201)上；

第一锥形柱(204)，直径较大的一端与所述旋转驱动装置的驱动轴止转连接，直径较小的一端插设在位于衬管本体(1)下端的第一夹紧套(2)内；

第二锥形柱(205)，与所述第一锥形柱(204)上下相对布置，所述第二锥形柱(205)的直径较大的一端水平转动连接在所述顶部安装台(203)的下端，所述第二锥形柱(205)的直径较小的一端插设在位于所述衬管本体(1)上端的第二夹紧套(3)中。

9.根据权利要求8所述的旋转靶材绑定装置，其特征在于，所述顶部安装台(203)上下滑动导向连接在所述支撑杆(202)上，所述旋转靶材绑定装置还包括驱动电机和丝杆，所述丝杆的一端与所述驱动电机的输出轴止转连接，所述丝杆的另一端与所述顶部安装台螺接。

10.根据权利要求8所述的旋转靶材绑定装置，其特征在于，所述顶部安装台(203)的下端连接有转盘轴承，所述第二锥形柱(205)的上端与所述转盘轴承连接。