CN220537895U - 一种带有降温功能的腔体 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及工件加工技术领域，尤其为一种带有降温功能的腔体，包括腔体和换热箱，所述换热箱的内侧固定连接有底座，所述换热箱的内侧固定连接有盖座，所述换热箱的内侧固定连接有换热盘管结构，所述换热盘管结构包括回流管、曲形管和导流管，所述回流管、曲形管和导流管之间连接有固定套，所述回流管上安装有泵体，所述换热箱上安装有散热结构，所述换热箱的内部两侧均转动连接有传输叶轮，所述换热箱的外侧固定连接有电机，所述电机的输出轴末端与上侧传输叶轮的轴杆固定连接，本实用新型中，通过设置的换热盘管结构、传输叶轮、螺旋叶轮和传动轮等结构，实现了腔体的降温结构可以始终保持较高的降温效率对腔体进行降温。

Description

一种带有降温功能的腔体

技术领域

本实用新型涉及工件加工技术领域，具体为一种带有降温功能的腔体。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件（金属、半导体或绝缘体）表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜装置腔室的前部会进行加热工作，而后部需要通过降温结构进行降温，使镀膜后的工件可以进行拿取。

现有对腔室的降温方式通常是采用水循环降温，因腔室20米的长度使腔室需要降温的面积较大，导致水循环一次的流程增大，在循环水吸收换热性能有限的情况下，对腔室不同区域的降温效果相差较大，因此，根据上述问题提出一种带有降温功能的腔体。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有降温功能的腔体，以解决现有腔体的降温结构在进行大面积降温时降温效果变化较大的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种带有降温功能的腔体，包括腔体和换热箱，所述换热箱的内侧固定连接有底座，所述换热箱的内侧固定连接有盖座，所述换热箱的内侧固定连接有换热盘管结构，所述换热盘管结构包括回流管、曲形管和导流管，所述回流管、曲形管和导流管之间连接有固定套，所述回流管上安装有泵体，所述换热箱上安装有散热结构，所述换热箱的内部两侧均转动连接有传输叶轮，所述换热箱的外侧固定连接有电机，所述电机的输出轴末端与上侧传输叶轮的轴杆固定连接，所述传输叶轮的另一端均固定连接有齿轮，所述换热箱的内壁固定连接有基杆，所述基杆的上侧均转动连接有转杆，所述转杆的上端均固定连接有螺旋叶轮，所述换热箱的内壁转动连接有转轴，所述转轴的外侧与上侧传输叶轮的轴杆外侧均固定连接有传动轮，所述传动轮的外侧套接有传动带，所述转轴的外侧与转杆的外侧均固定连接有锥齿轮，一组所述锥齿轮之间相互啮合。

优选的，所述曲形管均设置在腔体的上侧，所述曲形管的外表面均与腔体的上端面相贴合，所述导流管与回流管均设置在换热箱的内侧。

优选的，所述传输叶轮均设置在底座与盖座的内侧，一组所述齿轮之间相互啮合，所述传输叶轮均设置在换热盘管结构的上下两侧。

优选的，所述基杆的个数共有7个，所述基杆的内侧均开设有穿孔，所述转轴均设置在基杆的内侧，所述传动轮的外侧与传动带的内侧均设置有阻尼层。

优选的，所述散热结构由散热叶片、导热条和导热板组成，所述散热结构的导热板设置在换热箱的内侧，所述散热结构的散热叶片设置在换热箱的上侧，所述盖座与换热箱的内壁之间留有间距。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型中，通过设置的换热盘管结构、传输叶轮、螺旋叶轮和传动轮等结构，使换热盘管结构每对腔体的部分区域进行降温换热后，都会通过导流管进行一个回流，使循环水的温度下降再对腔体的下一区域进行降温换热，通过传输叶轮配合螺旋叶轮可以加快换热箱内的冷却水循环流动，进而使换热盘管结构内的循环水快速降温，而散热结构则可以将冷却水换来的热量散发出去，实现了腔体的降温结构，可以始终保持较高的降温效率对腔体进行降温，解决了现有腔体的降温结构在进行大面积降温时，降温效果变化较大的问题。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型图1的半剖展开结构示意图；

图3为本实用新型图2的A处结构示意图；

图4为本实用新型基杆处结构示意图；

图5为本实用新型换热盘管结构的结构示意图；

图6为本实用新型散热结构的结构示意图；

图7为本实用新型盖座处俯视结构示意图。

图中：1、腔体；2、换热箱；3、底座；4、盖座；5、换热盘管结构；51、回流管；52、曲形管；53、导流管；54、固定套；6、泵体；7、散热结构；8、传输叶轮；9、电机；10、齿轮；11、基杆；12、转杆；13、螺旋叶轮；14、转轴；15、传动轮；16、传动带；17、锥齿轮。

实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

在本发明的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。

请参阅图1-7，本实用新型提供一种技术方案：

一种带有降温功能的腔体，包括腔体1和换热箱2，换热箱2的内侧固定连接有底座3，换热箱2的内侧固定连接有盖座4，换热箱2的内侧固定连接有换热盘管结构5，换热盘管结构5包括回流管51、曲形管52和导流管53，回流管51、曲形管52和导流管53之间连接有固定套54，回流管51上安装有泵体6，换热箱2上安装有散热结构7，换热箱2的内部两侧均转动连接有传输叶轮8，换热箱2的外侧固定连接有电机9，电机9的输出轴末端与上侧传输叶轮8的轴杆固定连接，传输叶轮8的另一端均固定连接有齿轮10，换热箱2的内壁固定连接有基杆11，基杆11的上侧均转动连接有转杆12，转杆12的上端均固定连接有螺旋叶轮13，换热箱2的内壁转动连接有转轴14，转轴14的外侧与上侧传输叶轮8的轴杆外侧均固定连接有传动轮15，传动轮15的外侧套接有传动带16，转轴14的外侧与转杆12的外侧均固定连接有锥齿轮17，一组锥齿轮17之间相互啮合。

曲形管52均设置在腔体1的上侧，曲形管52的外表面均与腔体1的上端面相贴合，导流管53与回流管51均设置在换热箱2的内侧，通过曲形管52的位置可以对腔体1进行降温散热，而回流管51与导流管53可以将循环水导流到换热箱2的内侧，使循环水可以得到冷却水的换热降温；传输叶轮8均设置在底座3与盖座4的内侧，一组齿轮10之间相互啮合，传输叶轮8均设置在换热盘管结构5的上下两侧，通过设置的传输叶轮8可以加快冷却水的流速，进而加快了冷却水对导流管53内循环水的降温速度；基杆11的个数共有7个，基杆11的内侧均开设有穿孔，转轴14均设置在基杆11的内侧，传动轮15的外侧与传动带16的内侧均设置有阻尼层，通过基杆11的穿孔使转轴14可以设置在基杆11的内侧，通过转轴14的转动使锥齿轮17可以带动各个螺旋叶轮13进行转动；散热结构7由散热叶片、导热条和导热板组成，散热结构7的导热板设置在换热箱2的内侧，散热结构7的散热叶片设置在换热箱2的上侧，盖座4与换热箱2的内壁之间留有间距，通过设置的散热结构7可以将回流冷却水吸收的热量散发出去，使冷却水可以长时间保持一个较低的温度。

工作流程：当需要对腔体1进行降温时，首先启动电机9，通过电机9可以带动上侧传输叶轮8进行旋转，因齿轮10的相互啮合使下侧的传输叶轮8同时被带动，通过传输叶轮8可以加快冷却水的流速，进而加快了冷却水对导流管53内循环水的降温速度，同时传输叶轮8的转动通过传动轮15与传动带16可以带动转轴14进行旋转，通过转轴14配合锥齿轮17之间的相互啮合，使转杆12可以带动螺旋叶轮13进行旋转，通过螺旋叶轮13的转动可以将冷却水向上传输，使冷却水可以通过盖座4的上侧空间进行回流，回流的过程中可以通过散热结构7将冷却水吸收的热量散发出去，此时通过控制器启动泵体6使换热盘管结构5内的循环水进行循环流动，当循环水进入曲形管52处时对贴合处的腔体1部分区域进行换热降温，而经过换热的循环水会通过导流管53进入换热箱2内，通过换热箱2内快速流动的冷却水对导流管53内的循环水进行降温换热，经过降温的循环水会再次流向下一段的曲形管52内，对腔体1的下一区域进行换热降温，通过上述操作使循环水始终保持较高的降温换热效率对腔体1进行换热降温。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种带有降温功能的腔体，包括腔体（1）和换热箱（2），其特征在于：所述换热箱（2）的内侧固定连接有底座（3），所述换热箱（2）的内侧固定连接有盖座（4），所述换热箱（2）的内侧固定连接有换热盘管结构（5），所述换热盘管结构（5）包括回流管（51）、曲形管（52）和导流管（53），所述回流管（51）、曲形管（52）和导流管（53）之间连接有固定套（54），所述回流管（51）上安装有泵体（6），所述换热箱（2）上安装有散热结构（7），所述换热箱（2）的内部两侧均转动连接有传输叶轮（8），所述换热箱（2）的外侧固定连接有电机（9），所述电机（9）的输出轴末端与上侧传输叶轮（8）的轴杆固定连接，所述传输叶轮（8）的另一端均固定连接有齿轮（10），所述换热箱（2）的内壁固定连接有基杆（11），所述基杆（11）的上侧均转动连接有转杆（12），所述转杆（12）的上端均固定连接有螺旋叶轮（13），所述换热箱（2）的内壁转动连接有转轴（14），所述转轴（14）的外侧与上侧传输叶轮（8）的轴杆外侧均固定连接有传动轮（15），所述传动轮（15）的外侧套接有传动带（16），所述转轴（14）的外侧与转杆（12）的外侧均固定连接有锥齿轮（17），一组所述锥齿轮（17）之间相互啮合。

2.根据权利要求1所述的一种带有降温功能的腔体，其特征在于：所述曲形管（52）均设置在腔体（1）的上侧，所述曲形管（52）的外表面均与腔体（1）的上端面相贴合，所述导流管（53）与回流管（51）均设置在换热箱（2）的内侧。

3.根据权利要求1所述的一种带有降温功能的腔体，其特征在于：所述传输叶轮（8）均设置在底座（3）与盖座（4）的内侧，一组所述齿轮（10）之间相互啮合，所述传输叶轮（8）均设置在换热盘管结构（5）的上下两侧。

4.根据权利要求1所述的一种带有降温功能的腔体，其特征在于：所述基杆（11）的个数共有7个，所述基杆（11）的内侧均开设有穿孔，所述转轴（14）均设置在基杆（11）的内侧，所述传动轮（15）的外侧与传动带（16）的内侧均设置有阻尼层。

5.根据权利要求1所述的一种带有降温功能的腔体，其特征在于：所述散热结构（7）由散热叶片、导热条和导热板组成，所述散热结构（7）的导热板设置在换热箱（2）的内侧，所述散热结构（7）的散热叶片设置在换热箱（2）的上侧，所述盖座（4）与换热箱（2）的内壁之间留有间距。