CN220524668U - 一种新型的气体管道结构、高温退火设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种新型的气体管道结构、高温退火设备。本实用新型提供了一种新型的气体管道结构，包括：保护罩，所述保护罩内安装有加热灯管；以及所述保护罩一端设置有进气接口；所述保护罩底部开设有若干排气孔。将工艺气体从原先直接通过管路将气体通入高温腔体内的方式，改为将气体通入保护罩内，以使工艺气体在保护罩内时，通过加热灯管进行预热，从而减少在高温腔室内开进气口，进而减少辅材的消耗。其次，工艺气体通过这种方式，在进气的同时能带走一部分加热灯管的热量，来延长加热灯管的使用寿命。

Description

一种新型的气体管道结构、高温退火设备

技术领域

本实用新型涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种新型的气体管道结构、高温退火设备。

背景技术

太阳能电池的制作是经过多道工序完成的，其中扩散氧化退火吸杂工序是不可或缺的一步。这个工艺的实现一般有两种方式：管式高温氧化退火吸杂和链式高温氧化退火吸杂。其中，链式高温氧化退火吸杂设备就是采用链式传输的方式，兼容不同尺寸电池片的生产，此设备结构是红外加热管的控温方式，但由于红外加热灯管处于长时间的工作状态，其使用寿命会下降，为此设计一种新型的气体管道结构、高温退火设备，来解决上述问题是必要的。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种新型的气体管道结构、高温退火设备，以解决上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种新型的气体管道结构，包括：保护罩，所述保护罩内安装有加热灯管；以及

所述保护罩一端设置有进气接口；

所述保护罩底部开设有若干排气孔；其中

所述保护罩内适于通过进气接口通入工艺气体，并通过排气孔排出。

进一步地，所述排气孔沿所述保护罩的长度方向均匀开设。

进一步地，所述保护罩远离所述进气接口的一端设置有封闭件，所述封闭件与所述保护罩密封连接，且所述封闭件与所述加热灯管卡接。

进一步地，所述保护罩外壁设置有螺纹套，所述封闭件与所述螺纹套螺纹连接。

进一步地，所述螺纹套端部与所述封闭件之间设置有密封圈。

进一步地，所述封闭件内部设置有密封垫，所述密封垫与所述加热灯管密封连接，且所述密封垫设置在所述保护罩端部。

此外，本实用新型还提供了一种高温退火设备，包括若干上文中所示的气体管道结构，还包括：高温腔室，所述高温腔室顶部开设有若干安装孔，一个保护罩安装在一个安装孔内。

进一步地，所述高温腔室内阵列设置有若干传送辊。

相对于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：将工艺气体从原先直接通过管路将气体通入高温腔体内的方式，改为将气体通入保护罩内，以使工艺气体在保护罩内时，通过加热灯管进行预热，从而减少在高温腔室内开进气口，进而减少辅材的消耗。其次，工艺气体通过这种方式，在进气的同时能带走一部分加热灯管的热量，来延长加热灯管的使用寿命。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1示出了本实用新型的高温退火设备的主视图；

图2示出了图1中沿A-A剖面线的剖视图；

图3示出了本实用新型的保护罩的局部剖视图。

图中：

1、保护罩；11、进气接口；12、螺纹套；13、密封圈；14、排气孔；

2、加热灯管；3、封闭件；4、密封垫；

5、高温腔室；51、安装孔；52、传送辊。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例一，如图1至3所示，本实施例提供了一种新型的气体管道结构，包括：保护罩1，所述保护罩1内安装有加热灯管2。保护罩1采用石英制成，石英的导热性能好，且能够耐高温，因此，本实施例中可以通过加热灯管2加热保护罩1来实现保护罩1对高温退火设备进行加热以及保持高温的功能。

需要说明的是，现有技术中的在向高温退火设备内通入工艺气体时，通常需要专门设置一个进气管路，然后将工艺气体先预热后，再通过进气管路通入高温退火设备内。此外，现有技术中的加热灯管2也是暴露在外的，通过加热灯管2直接对高温退火设备的内腔进行加热。采用现有技术的机构以及方式对工件，即太阳能电池片，进行退火工序会存在如下问题：第一，加热灯管2长期处于高温的工作环境内，其使用寿命必然相比设计寿命会出现一定程度的下降。第二，通过进气管路来引入工艺气体，会导致设备上需要设置更多的辅材，比如密封圈13等，这些辅材由于要适应高温的环境，因此对于材质以及品质又提成更高的要求，因此为了确保设备的运行稳定性以及节省成本，需要减少此类辅材的消耗。

本实施例中，为了解决上述问题，除了将加热灯管2设置在保护罩1内以外，还在保护罩1的一端设置有进气接口11，进气接口11可连接输送工艺气体的设备，这样，工艺气体可以从进气接口11进入保护罩1内，再通过保护罩1进入高温退火设备内部。具体来说，所述保护罩1底部开设有若干排气孔14，所述保护罩1内的工艺气体，可通过排气孔14排出。通过上述设置，使得工艺气体先进入保护罩1，工艺气体在保护罩1内，加热灯管2能够对工艺气体进行预热，同时工艺气体也带走了一部分加热灯管2的热量，进而实现延长灯管寿命的效果，同时，保护罩1在此时除了作为导热机构外，还能够作为工艺气体的进气管道的功用，减少了设备上的额外开口，因此，也减少了辅材的使用。

为了确保工艺气体在高温退火设备内的分布均匀，本实施例中，所述排气孔14沿所述保护罩1的长度方向均匀开设。通过这种设置，在保护罩1内的气体充足的情况下，各个排气孔14可以同步均匀地向设备内部喷工艺气体。

为了使保护罩1定位加热灯管2并密封保护罩1，所述保护罩1远离所述进气接口11的一端设置有封闭件3，所述封闭件3与所述保护罩1密封连接，以防止工艺气体从保护罩1的端部泄漏。同时，所述封闭件3与所述加热灯管2卡接，以使加热灯管2同轴固定在保护罩1内部。

本实施例中，作为优选，所述保护罩1外壁设置有螺纹套12，所述封闭件3与所述螺纹套12螺纹连接。所述螺纹套12端部与所述封闭件3之间设置有密封圈13。通过螺纹套12能够实现对密封圈13以及封闭件3的定位作用，同时，密封圈13可以密封封闭件3与螺纹套12之间的间隙，以实现对保护罩1的密封。

本实施例中，作为可选，所述封闭件3内部设置有密封垫4，所述密封垫4与所述加热灯管2密封连接，且所述密封垫4设置在所述保护罩1端部。密封垫4可以密封加热灯管2与封闭件3之间的间隙。

实施例二，本实施例是在实施例一的基础上实施的，本实施例提供了一种高温退火设备，包括如实施例一中所示的气体管道结构，此外，高温退火设备还包括：高温腔室5，所述高温腔室5顶部开设有若干安装孔51，一个保护罩1安装在一个安装孔51内。通过多个均匀设置的气体管道结构即可实现对高温腔室5内部整体的温度控制，以及工艺气体的持续输送。

此外，所述高温腔室5内阵列设置有若干传送辊52。本实施例中，传动辊可分为三行，每一行的传送辊52可形成一层独立的输送机构，以输送工件穿过高温腔室5。

值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的高温退火设备的其他部件等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的实用新型点所在，本实用新型专利不作进一步具体展开详述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种新型的气体管道结构，其特征在于，包括：

保护罩（1），所述保护罩（1）内安装有加热灯管（2）；以及

所述保护罩（1）一端设置有进气接口（11）；

所述保护罩（1）底部开设有若干排气孔（14）；其中

所述保护罩（1）内适于通过进气接口（11）通入工艺气体，并通过排气孔（14）排出。

2.如权利要求1所述的气体管道结构，其特征在于，

所述排气孔（14）沿所述保护罩（1）的长度方向均匀开设。

3.如权利要求1所述的气体管道结构，其特征在于，

所述保护罩（1）远离所述进气接口（11）的一端设置有封闭件（3），所述封闭件（3）与所述保护罩（1）密封连接，且所述封闭件（3）与所述加热灯管（2）卡接。

4.如权利要求3所述的气体管道结构，其特征在于，

所述保护罩（1）外壁设置有螺纹套（12），所述封闭件（3）与所述螺纹套（12）螺纹连接。

5.如权利要求4所述的气体管道结构，其特征在于，

所述螺纹套（12）端部与所述封闭件（3）之间设置有密封圈（13）。

6.如权利要求3所述的气体管道结构，其特征在于，

所述封闭件（3）内部设置有密封垫（4），所述密封垫（4）与所述加热灯管（2）密封连接，且所述密封垫（4）设置在所述保护罩（1）端部。

7.一种高温退火设备，包括若干如权利要求1-6任一项所述的气体管道结构，其特征在于，还包括：

高温腔室（5），所述高温腔室（5）顶部开设有若干安装孔（51），一个保护罩（1）安装在一个安装孔（51）内。

8.如权利要求7所述的高温退火设备，其特征在于，

所述高温腔室（5）内阵列设置有若干传送辊（52）。