CN220520627U - 一种pecvd设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于PECVD设备技术领域，尤其是一种PECVD设备，包括底座，所述底座顶部固定安装有功能箱，功能箱顶部两侧均固定安装有调节箱，两个调节箱相邻的一侧均开设有座孔，功能箱与调节箱之间设置有调节机构，功能箱顶部内壁固定安装有第一电机，第一电机输出轴与功能箱底部内壁转动连接；功能箱内设置有传动机构，两个调节箱之间设置有炉体托环，炉体托环顶部固定安装有安装箱。本实用新型设计合理，通过设置有夹持机构，能够通过压垫对炉体进行压紧固定，能够实现将炉体固定到炉体托环内的目的，通过设置有调节机构，能够实现对炉体进行精确调节高度的目的，能够达到对炉体高度调节省时省力的目的。

Description

一种PECVD设备

技术领域

本实用新型涉及PECVD设备技术领域，尤其涉及一种PECVD设备。

背景技术

PECVD中文全称为离子体增强化学气相淀积，设备主要用于硅片太阳能器件制造中减反射膜的镀膜工艺，炉体是镀膜工艺的反应腔室，需要固定在支撑横梁上；为了保证推舟送片机构顺利进入炉体，就必须将炉体与推舟送片机构的相对位置对准，由于推舟送片机构是固定在送料滑台上的，无法调节，因此只能对炉体位置进行调节，炉体为圆柱形，长度一般在2米左右，外径一般在0.3-0.6米之间，重量约100-200千克，体积大、重量重，且支撑横梁会占用一定的高度空间，导致炉体的高度较高，进一步增加了炉体位置调节的难度。

在实际使用中发现，现有PECVD设备中的炉体支撑调节主要包括安装在支撑横梁上的四个坡面支架，调节时需要操作人员手动移动坡面支架，操作费力，调节的距离需要依靠操作人员的经验，很难调节精确，且不便于控制，存在对炉体调解时费时费力，且不能进行精确调节的问题，因此我们提出了一种PECVD设备用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在：对炉体调解时费时费力，且不能进行精确调节的缺点，而提出的一种PECVD设备。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种PECVD设备，包括底座，所述底座顶部固定安装有功能箱，功能箱顶部两侧均固定安装有调节箱，两个调节箱相邻的一侧均开设有座孔，功能箱与调节箱之间设置有调节机构，功能箱顶部内壁固定安装有第一电机，第一电机输出轴与功能箱底部内壁转动连接；功能箱内设置有传动机构，两个调节箱之间设置有炉体托环，炉体托环顶部固定安装有安装箱，安装箱顶部内壁固定安装有第二电机，第二电机与炉体托环之间设置有夹持机构。

优选的，所述调节机构包括两个丝杆、两个丝杆座和两个安装座，所述功能箱底部内壁转动安装有两个丝杆，两个丝杆设置有旋向相反的外螺纹，两个丝杆分别位于第一电机两侧，丝杆顶端与调节箱顶部内壁转动连接，丝杆上螺纹套设有丝杆座，丝杆座与座孔相适配，两个丝杆座相邻的一侧均固定安装有安装座，两个安装座相邻的一侧均与炉体托环固定连接，丝杆座与调节箱之间设置有滑动机构。

优选的，所述滑动机构包括滑块和滑槽，两个丝杆座相互远离的一侧均设置有滑块，两个调节箱相互远离的一侧内壁均开设有滑槽，滑块与滑槽滑动连接。

优选的，所述传动机构包括两个限位座和两个转轴，所述功能箱底部内壁固定安装有两个限位座，限位座位于第一电机和丝杆之间，两个限位座上均转动安装有转轴，第一电机与转轴之间设置有第一齿动机构，转轴与丝杆之间设置有第二齿动机构。

优选的，所述第一齿动机构包括三个第一锥轮，两个转轴相邻的一端与第一电机输出轴上均固定安装有第一锥轮，三个第一锥轮相啮合。

优选的，所述第二齿动机构包括两个第二锥轮和两个第三锥轮，两个转轴相互远离的一端均固定安装有第二锥轮，两个丝杆上均固定安装有第三锥轮，第三锥轮位于功能箱内，第二锥轮与相对应第三锥轮相啮合。

优选的，所述夹持机构包括螺杆、杆筒、弹簧、压环和压垫，所述第二电机输出轴上固定安装有螺杆，螺杆上螺纹套设有杆筒，杆筒底端延伸至炉体托环内，炉体托环顶部与安装箱底部开设有同一个筒孔，杆筒与筒孔相适配，炉体托环顶部内壁固定安装有弹簧，弹簧底端固定安装有压环，压环底部设置有压垫，杆筒底端与压环顶部相适配，杆筒与安装箱之间设置有限位机构。

优选的，所述限位机构包括限位板和限位杆，所述杆筒左侧顶部固定安装有限位板，安装箱底部内壁固定安装有限位杆，限位板滑动套设在限位杆上。

本实用新型的有益效果：

1、通过第二电机、螺杆和杆筒的配合，能够实现通过杆筒顶动压环向下移动，通过压环和压垫的配合，能够实现带动压垫向下移动，能够通过压垫对炉体进行压紧固定，能够实现将炉体固定到炉体托环内的目的；

2、通过第一电机、三个第一锥轮、转轴、两个第二锥轮和两个第三锥轮的配合，能够实现带动两个丝杆同时转动，通过两个丝杆、两个丝杆座和两个安装座的配合，能够实现通过安装座带动炉体托环上下移动，能够实现带动炉体进行稳定的上下移动，能够实现对炉体进行精确调节高度的目的，能够达到对炉体高度调节省时省力的目的。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种PECVD设备的立体结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种PECVD设备的主视剖面结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种PECVD设备的A部分结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种PECVD设备的B部分结构示意图。

图中：1、底座；2、功能箱；3、调节箱；4、第一电机；5、限位座；6、转轴；7、丝杆；8、丝杆座；9、安装座；10、炉体托环；11、安装箱；12、第二电机；13、螺杆；14、杆筒；15、压环；16、压垫；17、弹簧；18、限位板；19、限位杆；20、第一锥轮；21、第二锥轮；22、第三锥轮；23、座孔；24、滑块；25、滑槽。

具体实施方式

下面将结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

参照图1-4，一种PECVD设备，包括底座1，底座1顶部固定安装有功能箱2，功能箱2顶部两侧均固定安装有调节箱3，两个调节箱3相邻的一侧均开设有座孔23，功能箱2与调节箱3之间设置有调节机构，功能箱2顶部内壁固定安装有第一电机4，第一电机4输出轴与功能箱2底部内壁转动连接；功能箱2内设置有传动机构，两个调节箱3之间设置有炉体托环10，炉体托环10顶部固定安装有安装箱11，安装箱11顶部内壁固定安装有第二电机12，第二电机12与炉体托环10之间设置有夹持机构。

本实施例中，调节机构包括两个丝杆7、两个丝杆座8和两个安装座9，功能箱2底部内壁转动安装有两个丝杆7，两个丝杆7设置有旋向相反的外螺纹，两个丝杆7分别位于第一电机4两侧，丝杆7顶端与调节箱3顶部内壁转动连接，丝杆7上螺纹套设有丝杆座8，丝杆座8与座孔23相适配，两个丝杆座8相邻的一侧均固定安装有安装座9，两个安装座9相邻的一侧均与炉体托环10固定连接，丝杆座8与调节箱3之间设置有滑动机构，通过设置有调节机构，使得两个丝杆7能够带动两个安装座9同时上下移动，能够实现带动炉体托环10进行上下移动的目的。

本实施例中，滑动机构包括滑块24和滑槽25，两个丝杆座8相互远离的一侧均设置有滑块24，两个调节箱3相互远离的一侧内壁均开设有滑槽25，滑块24与滑槽25滑动连接，通过设置有滑动机构，使得滑块24能够在滑槽25内滑动，能够实现丝杆座8在上下移动时更加稳定的目的。

本实施例中，传动机构包括两个限位座5和两个转轴6，功能箱2底部内壁固定安装有两个限位座5，限位座5位于第一电机4和丝杆7之间，两个限位座5上均转动安装有转轴6，第一电机4与转轴6之间设置有第一齿动机构，转轴6与丝杆7之间设置有第二齿动机构，通过设置有传动机构，使得第一锥轮20通过转轴6带动第二锥轮21转动，能够实现带动第三锥轮22转动的目的。

本实施例中，第一齿动机构包括三个第一锥轮20，两个转轴6相邻的一端与第一电机4输出轴上均固定安装有第一锥轮20，三个第一锥轮20相啮合，通过设置有第一齿动机构，使得第一电机4能够带动两个转轴6同时转动，能够实现同时带动两个第二锥轮21转动的目的。

本实施例中，第二齿动机构包括两个第二锥轮21和两个第三锥轮22，两个转轴6相互远离的一端均固定安装有第二锥轮21，两个丝杆7上均固定安装有第三锥轮22，第三锥轮22位于功能箱2内，第二锥轮21与相对应第三锥轮22相啮合，通过设置有第二齿动机构，使得转轴6能够带动丝杆7进行转动。

本实施例中，夹持机构包括螺杆13、杆筒14、弹簧17、压环15和压垫16，第二电机12输出轴上固定安装有螺杆13，螺杆13上螺纹套设有杆筒14，杆筒14底端延伸至炉体托环10内，炉体托环10顶部与安装箱11底部开设有同一个筒孔，杆筒14与筒孔相适配，炉体托环10顶部内壁固定安装有弹簧17，弹簧17底端固定安装有压环15，压环15底部设置有压垫16，杆筒14底端与压环15顶部相适配，杆筒14与安装箱11之间设置有限位机构，通过设置有夹持机构，使得第二电机12能够带动压垫16向下移动，能够实现通过压垫16对炉体进行压紧固定的目的。

本实施例中，限位机构包括限位板18和限位杆19，杆筒14左侧顶部固定安装有限位板18，安装箱11底部内壁固定安装有限位杆19，限位板18滑动套设在限位杆19上，通过设置有限位机构，使得限位板18能够在限位杆19上滑动，能够实现避免杆筒14跟随螺杆13进行转动，能够实现杆筒14只能够上下移动的目的。

本实用新型中，使用时，首先将炉体放置到炉体托环10底部内壁上，通过正向启动第二电机12能够带动螺杆13顺时针转动，能够带动杆筒14向下移动，能够顶动压环15向下移动，能够带动压垫16向下移动，能够通过压垫16对炉体进行压紧固定，能够实现将炉体固定到炉体托环10内的目的，当需要对炉体进行高度调节时，通过启动第一电机4能够通过三个第一锥轮20带动两个转轴6转动，能够通过两个第二锥轮21和两个第三锥轮22带动两个丝杆7同时转动，由于两个丝杆7螺纹旋向相反，能够实现带动两个丝杆座8同时上下移动，能够通过安装座9带动炉体托环10上下移动，能够实现带动炉体进行稳定的上下移动，能够实现对炉体进行精确调节高度的目的，能够达到对炉体高度调节省时省力的目的。

以上对本实用新型所提供的一种PECVD设备进行了详细介绍。本文中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (8)

1.一种PECVD设备，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）顶部固定安装有功能箱（2），所述功能箱（2）顶部两侧均固定安装有调节箱（3），两个所述调节箱（3）相邻的一侧均开设有座孔（23），所述功能箱（2）与调节箱（3）之间设置有调节机构，所述功能箱（2）顶部内壁固定安装有第一电机（4），所述第一电机（4）输出轴与功能箱（2）底部内壁转动连接；

所述功能箱（2）内设置有传动机构，两个所述调节箱（3）之间设置有炉体托环（10），所述炉体托环（10）顶部固定安装有安装箱（11），所述安装箱（11）顶部内壁固定安装有第二电机（12），所述第二电机（12）与炉体托环（10）之间设置有夹持机构。

2.根据权利要求1所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述调节机构包括两个丝杆（7）、两个丝杆座（8）和两个安装座（9），所述功能箱（2）底部内壁转动安装有两个丝杆（7），两个所述丝杆（7）设置有旋向相反的外螺纹，两个所述丝杆（7）分别位于第一电机（4）两侧，所述丝杆（7）顶端与调节箱（3）顶部内壁转动连接，所述丝杆（7）上螺纹套设有丝杆座（8），所述丝杆座（8）与座孔（23）相适配，两个所述丝杆座（8）相邻的一侧均固定安装有安装座（9），两个所述安装座（9）相邻的一侧均与炉体托环（10）固定连接，所述丝杆座（8）与调节箱（3）之间设置有滑动机构。

3.根据权利要求2所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述滑动机构包括滑块（24）和滑槽（25），两个所述丝杆座（8）相互远离的一侧均设置有滑块（24），两个所述调节箱（3）相互远离的一侧内壁均开设有滑槽（25），所述滑块（24）与滑槽（25）滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述传动机构包括两个限位座（5）和两个转轴（6），所述功能箱（2）底部内壁固定安装有两个限位座（5），所述限位座（5）位于第一电机（4）和丝杆（7）之间，两个所述限位座（5）上均转动安装有转轴（6），所述第一电机（4）与转轴（6）之间设置有第一齿动机构，所述转轴（6）与丝杆（7）之间设置有第二齿动机构。

5.根据权利要求4所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述第一齿动机构包括三个第一锥轮（20），两个所述转轴（6）相邻的一端与第一电机（4）输出轴上均固定安装有第一锥轮（20），三个所述第一锥轮（20）相啮合。

6.根据权利要求4所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述第二齿动机构包括两个第二锥轮（21）和两个第三锥轮（22），两个所述转轴（6）相互远离的一端均固定安装有第二锥轮（21），两个所述丝杆（7）上均固定安装有第三锥轮（22），所述第三锥轮（22）位于功能箱（2）内，所述第二锥轮（21）与相对应第三锥轮（22）相啮合。

7.根据权利要求1所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述夹持机构包括螺杆（13）、杆筒（14）、弹簧（17）、压环（15）和压垫（16），所述第二电机（12）输出轴上固定安装有螺杆（13），所述螺杆（13）上螺纹套设有杆筒（14），所述杆筒（14）底端延伸至炉体托环（10）内，所述炉体托环（10）顶部与安装箱（11）底部开设有同一个筒孔，所述杆筒（14）与筒孔相适配，所述炉体托环（10）顶部内壁固定安装有弹簧（17），所述弹簧（17）底端固定安装有压环（15），所述压环（15）底部设置有压垫（16），所述杆筒（14）底端与压环（15）顶部相适配，所述杆筒（14）与安装箱（11）之间设置有限位机构。

8.根据权利要求7所述的一种PECVD设备，其特征在于，所述限位机构包括限位板（18）和限位杆（19），所述杆筒（14）左侧顶部固定安装有限位板（18），所述安装箱（11）底部内壁固定安装有限位杆（19），所述限位板（18）滑动套设在限位杆（19）上。