CN220498818U - 一种研磨液供应装置及研磨系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种研磨液供应装置及研磨系统，应用于晶圆研磨领域，该装置包括：供液桶的出口端与供液泵组件的入口端导通连接；供液泵组件的第一出口端与供液管道导通连接，第二出口端通过循环管道与供液桶的回流入口端导通连接；过滤器设置在供液管道中；至少一个控温装置设置在循环管道中；至少一个控温装置设置在供液泵组件与过滤器之间的供液管道中。本实用新型通过分别在循环管道和供液管道中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏。

Description

一种研磨液供应装置及研磨系统

技术领域

本实用新型涉及晶圆研磨领域，特别涉及一种研磨液供应装置及研磨系统。

背景技术

在芯片制造工艺过程中普遍会采用化学机械研磨，对晶圆表面进行平坦化处理。研磨液在研磨工艺中与晶圆直接接触，通过化学反应以及机械摩擦力作用将需要去除的膜质去除，同时减薄需要保留的膜质，现有工艺中，常温下研磨液经供液桶的搅拌后，在泵的抽吸下进入管道，通过研磨粒过滤器，最终喷洒在晶圆表面，但这种方式容易出现研磨粒子聚集，部分未被过滤器去除的聚集粒子会进入研磨机台，造成晶圆刮伤。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种研磨液供应装置及研磨系统，解决了现有技术中研磨液中聚集粒子进入研磨机台，造成晶圆刮伤的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种研磨液供应装置，包括：

供液桶、循环管道、供液管道、供液泵组件、过滤器和至少两个控温装置；

所述供液桶的出口端与所述供液泵组件的入口端导通连接；

所述供液泵组件的第一出口端与所述供液管道导通连接，所述供液泵组件的第二出口端通过所述循环管道与所述供液桶的回流入口端导通连接，以使经所述供液泵组件的第二出口端流出的研磨液回流至所述供液桶；

所述过滤器设置在所述供液管道中；

至少一个所述控温装置设置在所述循环管道中，作为第一控温组件，以使所述供液泵组件的第二出口端流出的研磨液流经所述第一控温组件进行温度调节；至少一个所述控温装置设置在所述供液泵组件与所述过滤器之间的供液管道中，作为第二控温组件，以使所述供液泵组件的第一出口端流出的研磨液流经所述第二控温组件进行温度调节。

可选的，所述控温装置，包括：

控温部件、控制部件和控温装置内部管道；

所述控温装置内部管道的一侧与所述控温装置的入口端导通连接，所述控温装置内部管道的另一侧与所述控温装置的出口端导通连接；

所述控制部件与所述控温部件通信连接，所述控温部件与控温装置内部管道连接，以使所述控温部件调节流经所述控温装置内部管道的研磨液的温度；

所述供液泵组件的第二出口端通过所述循环管道与所述供液桶的回流入口端导通连接，包括：

所述第二出口端通过第一循环管道与所述控温装置的入口端导通连接，所述控温装置的出口端通过第二循环管道与所述供液桶的回流入口端导通连接；

所述供液泵组件的第一出口端与所述供液管道导通连接，包括：

所述第一出口端通过第一供液管道与所述控温装置的入口端导通连接，所述控温装置的出口端通过第二供液管道与所述过滤器导通连接。

可选的，所述控温装置内部管道包括多个并联设置的子管道；

多个所述子管道的一侧分别与所述控温装置的入口端导通连接，多个所述子管道的另一侧分别与所述控温装置的出口端导通连接。

可选的，所述子管道为螺旋式设置的管道。

可选的，所述控温装置，还包括检测研磨液温度的温度传感器；

所述温度传感器与所述控制部件通信连接，以使所述控制部件接收温度传感器检测到的温度信息。

可选的，所述控温部件，包括对所述研磨液进行升温的加热部件和对所述研磨液进行降温的冷却部件。

可选的，所述控温装置，还包括控制所述控温装置内部管道中研磨液流速的流速控制器。

可选的，供液泵组件为一个供液泵；

所述供液泵中设置有供液泵入口端、所述第一出口端和所述第二出口端；

所述第一出口端和第二出口端设置有开关，以控制所述供液泵入口端与所述第一出口端或所述第二出口端中的一个出口端导通。

可选的，所述研磨液供应装置，还包括：

原液桶和混合桶；

所述原液桶的出口端与所述混合桶的入口端导通连接；

所述混合桶的出口端与所述供液桶的供液入口端导通连接。

本实用新型还提供了一种研磨系统，包括：

如上述的研磨液供应装置、供液臂和研磨机台；

所述研磨液供应装置中的供液管道背向供液泵组件的一端，与所述供液臂导通连接；

所述供液臂中设置有喷液口，所述喷液口与所述供液管道导通连接，以使研磨液能够经所述喷液口喷洒至所述研磨机台放置晶圆的表面处。

可见，本实用新型提供的研磨液供应装置，包括供液桶、循环管道、供液管道、供液泵组件、过滤器和至少两个控温装置，供液桶的出口端与供液泵组件的入口端导通连接，供液泵组件的第一出口端与供液管道导通连接，供液泵组件的第二出口端通过循环管道与供液桶的回流入口端导通连接，以使经供液泵组件的第二出口端流出的研磨液回流至供液桶，过滤器设置在供液管道中，至少一个控温装置设置在循环管道中，作为第一控温组件，以使供液泵组件的第二出口端流出的研磨液流经第一控温组件进行温度调节，至少一个控温装置设置在供液泵组件与过滤器之间的供液管道中，作为第二控温组件，以使供液泵组件的第一出口端流出的研磨液流经第二控温组件进行温度调节。本实用新型通过分别在循环管道和供液管道中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，同时在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏。

此外，本实用新型还提供了一种研磨系统，同样具有上述有益效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种现有的研磨液供应装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种研磨液供应装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的另一种研磨液供应装置的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的一种研磨液供应装置中控温装置的结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的一种控温装置中控温装置内部管道的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的另一种研磨液供应装置中控温装置的结构示意图。

图7为本实用新型实施例提供的一种研磨系统的结构示意图；

图1至图7中，附图标记说明如下：

10-供液桶，11-混合桶，12-原液桶；

20-循环管道；

30-供液管道；

40-供液泵组件；

50-过滤器；

60-控温装置，61-控温部件，62-控制部件，63-控温装置内部管道，64-温度传感器，611-加热部件，612-冷却部件；

70-供液臂；

80-研磨机台。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在芯片制造工艺过程中普遍会采用化学机械研磨，对晶圆表面进行化学机械研磨。研磨液在研磨工艺中与晶圆直接接触，通过化学反应以及机械摩擦力作用将需要去除的膜质去除，同时减薄需要保留的膜质，现有工艺中，常温下研磨液经供液桶的搅拌后，在泵的抽吸下进入管道，通过研磨粒过滤器，最终喷洒在晶圆表面，但这种方式容易出现研磨粒子聚集，部分未被过滤器去除的聚集粒子会进入研磨机台，造成晶圆刮伤，同时当研磨液中过多研磨粒子被过滤，会导致研磨速率波动，进而降低晶圆质量。现有研磨液供应装置可以参考图1，图1为本实用新型实施例提供的一种现有的研磨液供应装置的结构示意图。可见，现有技术中供液桶10的出口端与供液泵组件40的入口端导通连接，供液泵组件40包括两个出口端，分别为与供液桶10的回流入口端导通连接的出口端，以及与过滤器50导通连接的出口端。当对供液桶10中的研磨液进行搅拌时，研磨液经供液桶10的出口端流至供液泵组件40，并经供液泵组件40与供液桶10的回流入口端导通连接的出口端回流至供液桶10；当将供液桶10中的研磨液输出使用时，研磨液经供液桶10的出口端流至供液泵组件40，并经供液泵组件40与过滤器50导通连接的出口端流至过滤器50过滤聚集的研磨粒子。

本实用新型通过分别在循环管道和供液管道中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，同时在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏。

实施例1：

请参考图2，图2为本实用新型实施例提供的一种研磨液供应装置的结构示意图。该装置可以包括：

供液桶10、循环管道20、供液管道30、供液泵组件40、过滤器50和至少两个控温装置60；

供液桶10的出口端与供液泵组件40的入口端导通连接；

供液泵组件40的第一出口端与供液管道30导通连接，供液泵组件40的第二出口端通过循环管道20与供液桶10的回流入口端导通连接，以使经供液泵组件40的第二出口端流出的研磨液回流至供液桶10；

过滤器50设置在供液管道30中；

至少一个控温装置60设置在循环管道20中，作为第一控温组件，以使供液泵组件40的第二出口端流出的研磨液流经第一控温组件进行温度调节；至少一个控温装置60设置在供液泵组件40与过滤器50之间的供液管道30中，作为第二控温组件，以使供液泵组件40的第一出口端流出的研磨液流经第二控温组件进行温度调节。

本实施例中通过设置的第一控温组件和第二控温组件分别对循环管道20中的研磨液和供液管道30中的研磨液进行温度调节，以使研磨液在搅匀混合过程中，通过循环管道20中设置的第一控温组件对研磨液的温度进行调节，避免研磨液中研磨粒子的积聚，同时在使用过程中通过供液管道30中设置的第二控温组件对研磨液的温度进行调节，以将研磨液调整至正常使用温度。需要进行说明的是，可以通过在研磨液中添加固化剂，以减少经搅匀混合处理后的研磨液中，研磨粒子的积聚，由于固化剂在高温下易失效，因此本实施例中可以在研磨液储存时，将研磨液的温度调低，此时，调低研磨液的存储温度同时可以降低分子热运动，避免研磨液中研磨粒子的积聚，本实施例中存储时将研磨液温度调低可以通过第一控温组件实现。本实施例中在对研磨液进行搅匀混合处理时，研磨液经供液桶10流至供液泵组件40，后经供液泵组件40的第二出口端，流经第一控温组件后回流至该供液桶10，实现搅匀混合。此时为了提高搅匀混合处理的效率，本实施例可以适当将研磨液的温度调高，以提高研磨液中的分子热运动程度，以便研磨液中研磨粒子更快的扩散。此外，本实施例中在进行化学机械研磨时，通过第二控温组件对供液管道30中研磨液的温度进行调节，以使研磨液温度恢复正常使用温度，当将低温存储的研磨液输出使用时，此时第二控温组件可以是调高研磨液的温度，以使研磨液能够正常使用。进一步，本实施例中在搅匀混合研磨液的过程中，研磨液经循环管道20回流至研磨桶10，此时可以通过第一温控组件调高流经循环管道20的研磨液的温度，以提高研磨液搅匀混合的效率；当研磨液完成搅匀混合后，可以利用第一温控组件调低流经循环管道20的研磨液的温度，以使研磨液处于低温储存，能够避免固化剂失效，同时降低了分子热运动；当需要输出使用研磨液时，研磨液经供液桶10输送至供液泵组件40，并经供液管道30输送至过滤器50，此时为保证过滤器50的过滤效果，同时保证研磨液能够正常使用，可以利用第二控温组件调高流经供液泵组件40与过滤器50之间供液管道30的研磨液的温度，以使低温存储的研磨液温度恢复室温。

本实施例并不限定供液泵组件40中供液泵的具体数量。例如供液泵的数量可以是1个，或者供液泵的数量也可以是多个。需要说明的是，当供液泵的数量为多个时，可以将部分供液泵用于研磨液的搅匀混合，部分供液泵用于研磨液的供液。本实施例并不限定控温装置60的具体数量，只要是大于两个即可。

进一步需要说明的是，本实施例中第二控温组件在研磨液到达过滤器50前，将研磨液的温度调节至正常使用温度，以使调节温度后的研磨液，其内部不符合使用要求的研磨粒子被过滤器50过滤。

进一步地，为了降低装置的购置成本，上述供液泵组件40可以为一个供液泵；

供液泵中设置有供液泵入口端、第一出口端和第二出口端；

第一出口端和第二出口端设置有开关，以控制供液泵入口端与第一出口端或所述第二出口端中的一个出口端导通。

本实施例中通过将供液泵组件40设置为一个供液泵，该供液泵同时设置第一出口端和第二出口端，并通过控制供液泵的入口端与第一出口端或第二出口端导通，实现研磨液经循环管道20回流至供液桶10，或使研磨液经供液管道30实现供液。需要进行说明的是，本实施例并不限定该供液泵中设置第一出口端的具体数量和第二出口端的具体数量，可以根据操作人员进行设定，例如，可以将供液泵中的第二出口端的数量设置为多个，以提高研磨液搅匀混合的效率。

进一步地，为了使该研磨液供应装置能够实现研磨液的储存和加工，可以参考图3，图3为本实用新型实施例提供的另一种研磨液供应装置的结构示意图。该装置还可以包括：原液桶12和混合桶11；

原液桶12的出口端与混合桶11的入口端导通连接；

混合桶11的出口端与供液桶10的供液入口端导通连接。

需要进行说明的是，本实施例中通过在供液桶10的入口处导通连接混合桶11，并在混合桶11的入口端导通连接原液桶12，以使原液桶12中的原液进入混合桶11进行混合制备，后进入供液桶10，使研磨液供应装置能够及时提供研磨液，提高了供液效率。

应用本实用新型实施例提供的研磨液供应装置，包括供液桶10、循环管道20、供液管道30、供液泵组件40、过滤器50和至少两个控温装置60，供液桶10的出口端与供液泵组件40的入口端导通连接，供液泵组件40的第一出口端与供液管道30导通连接，供液泵组件40的第二出口端通过循环管道20与供液桶10的回流入口端导通连接，以使经供液泵组件40的第二出口端流出的研磨液回流至供液桶10，过滤器50设置在供液管道30中，至少一个控温装置60设置在循环管道20中，作为第一控温组件，以使供液泵组件40的第二出口端流出的研磨液流经第一控温组件进行温度调节，至少一个控温装置60设置在供液泵组件40与过滤器50之间的供液管道30中，作为第二控温组件，以使供液泵组件40的第一出口端流出的研磨液流经第二控温组件进行温度调节。本实用新型通过分别在循环管道20和供液管道30中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，同时在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏。此外，本实用新型实施例通过将供液泵组件40设置为一个供液泵，该供液泵同时设置第一出口端和第二出口端，并通过控制供液泵的入口端与第一出口端或第二出口端导通，实现研磨液经循环管道20回流至供液桶10，或使研磨液经供液管道30实现供液，降低了装置的配置成本；通过在供液桶10的入口处导通连接混合桶11，并在混合桶11的入口端导通连接原液桶12，提高了供液效率，降低了时间成本。

实施例2：

请参考图4，图4为本实用新型实施例提供的一种研磨液供应装置中控温装置的结构示意图。该研磨液供应装置可以包括：

供液桶、循环管道、供液管道、供液泵组件、过滤器和至少两个控温装置；

供液桶的出口端与供液泵组件的入口端导通连接；

供液泵组件的第一出口端与供液管道导通连接，供液泵组件的第二出口端通过循环管道与供液桶的回流入口端导通连接，以使经供液泵组件的第二出口端流出的研磨液回流至供液桶；

过滤器设置在供液管道中；

至少一个控温装置设置在循环管道中，作为第一控温组件，以使供液泵组件的第二出口端流出的研磨液流经第一控温组件进行温度调节；至少一个控温装置设置在供液泵组件与过滤器之间的供液管道中，作为第二控温组件，以使供液泵组件的第一出口端流出的研磨液流经第二控温组件进行温度调节；

所述控温装置，包括：

控温部件61、控制部件62和控温装置内部管道63；

所述控温装置内部管道63的一侧与控温装置的入口端导通连接，控温装置内部管道63的另一侧与控温装置的出口端导通连接；

控制部件62与控温部件61通信连接，控温部件61与控温装置内部管道63连接，以使控温部件调节流经控温装置内部管道63的研磨液的温度；

供液泵组件的第二出口端通过循环管道与供液桶的回流入口端导通连接，包括：

第二出口端通过第一循环管道与控温装置的入口端导通连接，控温装置的出口端通过第二循环管道与供液桶的回流入口端导通连接；

供液泵组件的第一出口端与供液管道导通连接，包括：

第一出口端通过第一供液管道与控温装置的入口端导通连接，控温装置的出口端通过第二供液管道与过滤器导通连接。

需要进行说明的是，本实施例中通过将所述控温装置内部管道63的一侧与控温装置的入口端导通连接，将控温装置内部管道63的另一侧与控温装置的出口端导通连接，且将控温装置的入口端与供液泵组件的第一出口端或第二出口端导通连接，将控温装置的出口端与供液桶或过滤器导通连接，以使研磨液在搅匀混合或供液过程均流经控温装置内部管道63，通过控制部件62控制控温部件61对流经控温装置内部管道63的研磨液的温度进行调节。

本实施例并不限定控温装置内部管道63的具体结构，只要是能够连通控温装置的出口端和入口端即可。例如，控温装置内部管道63可以是由一个内部管道形成，或者控温装置内部管道63也可以由多个内部管道形成，其中控温装置内部管道63的具体形状可以是直管形状，或者控温装置内部管道63也可以是其他形状。

进一步地，为了提高控温装置对研磨液温度的调节效率，上述控温装置内部管道63可以包括多个并联设置的子管道；

多个子管道的一侧分别与控温装置的入口端导通连接，多个子管道的另一侧分别与控温装置的出口端导通连接。

需要进行说明的是，本实施例中通过将控温装置内部管道63设置为多个并联设置的子管道，能够增加同时调节的研磨液流量，进而提高控温部件61对研磨液温度的调节能力。

进一步地，为了进一步提高控温装置的调温效率，上述子管道可以为螺旋式设置的管道。

需要进行说明的是，本实施例中通过将子管道设置为螺旋式管道，能够进一步提高该子管道能够容纳的研磨液流量，提高对研磨液的温度进行调节的持续时间，进而提高对研磨液的温度进行调节的效率。本实施例中螺旋式设置的管道可以参考图5，图5为本实用新型实施例提供的一种控温装置中控温装置内部管道的结构示意图。

应用本实用新型实施例提供的研磨液供应装置，通过分别在循环管道和供液管道中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，同时在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏，通过使研磨液搅匀混合或供液过程均流经控温装置内部管道63，通过控制部件62控制控温部件61对流经控温装置内部管道63的研磨液的温度进行调节，保证控温装置能够对流经的全部研磨液的温度进行调节。此外，本实用新型通过将控温装置内部管道63设置为多个并联设置的子管道，能够增加同时调节的研磨液流量，进而提高控温部件61对研磨液温度的调节能力；通过将子管道设置为螺旋式的管道，能够进一步提高该子管道能够容纳的研磨液流量，提高对研磨液的温度进行调节的持续时间，进而提高对研磨液的温度进行调节的效率。

实施例3：

请参考图6，图6为本实用新型实施例提供的另一种研磨液供应装置中控温装置的结构示意图。该研磨液供应装置可以包括：

供液桶、循环管道、供液管道、供液泵组件、过滤器和至少两个控温装置；

供液桶的出口端与供液泵组件的入口端导通连接；

供液泵组件的第一出口端与供液管道导通连接，供液泵组件的第二出口端通过循环管道与供液桶的回流入口端导通连接，以使经供液泵组件的第二出口端流出的研磨液回流至供液桶；

过滤器设置在供液管道中；

至少一个控温装置设置在循环管道中，作为第一控温组件，以使供液泵组件的第二出口端流出的研磨液流经第一控温组件进行温度调节；至少一个控温装置设置在供液泵组件与过滤器之间的供液管道中，作为第二控温组件，以使供液泵组件的第一出口端流出的研磨液流经第二控温组件进行温度调节；

所述控温装置，包括：

控温部件61、控制部件62、控温装置内部管道63和检测研磨液温度的温度传感器64；

所述控温装置内部管道63的一侧与控温装置的入口端导通连接，控温装置内部管道63的另一侧与控温装置的出口端导通连接；

控制部件62与控温部件61通信连接，控温部件61与控温装置内部管道63连接，以使控温部件61调节流经控温装置内部管道63的研磨液的温度；

供液泵组件的第二出口端通过循环管道与供液桶的回流入口端导通连接，包括：

第二出口端通过第一循环管道与控温装置的入口端导通连接，控温装置的出口端通过第二循环管道与供液桶的回流入口端导通连接；

供液泵组件的第一出口端与供液管道导通连接，包括：

第一出口端通过第一供液管道与控温装置的入口端导通连接，控温装置的出口端通过第二供液管道与过滤器导通连接；

温度传感器64与控制部件62通信连接，以使控制部件62接收温度传感器64检测到的温度信息。

本实施例中通过将温度传感器64与控制部件62通信连接，能够使控制部件62根据温度传感器64检测到的温度信息，对研磨液的温度进行调节。例如，为了提高装置使用的便捷性，本实施例中控制部件62可以根据温度传感器64检测到的温度信息，自动控制控温部件61对控温装置内部管道63中研磨液的温度进行调节。本实施例中还可以将温度传感器64检测到的温度信息进行展示。需要进行说明的是，本实施例中温度传感器64用于检测研磨液的温度。

进一步地，为了保证控温部件的功能性，上述控温部件，可以包括对研磨液进行升温的加热部件611和对研磨液进行降温的冷却部件612。

需要进行说明的是，本实施例中通过将控温部件设置为包括加热部件611和冷却部件612，能够保证单个控温部件实现对研磨液进行升温和降温操作，提高控温部件的功能性。

进一步地，为了进一步提高控温装置对研磨液的温度进行调节的效率，上述控温装置，还可以包括控制控温装置内部管道63中研磨液流速的流速控制器。

需要进行说明的是，通过在控温装置中设置流速控制器，对控温装置内部管道63中研磨液的流速进行调节，能够根据实际工况对控温装置内部管道63中研磨液的流速进行调整，例如当需要对研磨液进行快速升温或快速降温时，可以减缓研磨液的流速，实现对研磨液温度的充分调节。本实施例并不限定流速控制器的具体结构，只要是能够调节控温装置内部管道63中研磨液的流速即可。

应用本实用新型实施例提供的研磨液供应装置，通过分别在循环管道和供液管道中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，同时在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏，通过使研磨液搅匀混合或供液过程均流经控温装置内部管道63，利用控制部件62控制控温部件61对流经控温装置内部管道63的研磨液的温度进行调节，能够保证控温装置对流经循环管道或供液管道的全部研磨液进行温度调节，通过将温度传感器64与控制部件62通信连接，能够使控制部件62根据温度传感器64检测到的温度信息，对研磨液的温度进行调节，以提高研磨液供应装置使用的便捷性。此外，本实用新型通过将控温部件设置为包括加热部件611和冷却部件612，能够保证单个控温部件实现对研磨液进行升温和降温操作，提高控温部件的功能性；通过在控温装置中设置流速控制器，对控温装置内部管道63中研磨液的流速进行调节，能够根据实际工况对控温装置内部管道63中研磨液的流速进行调整，进一步提高了控温装置对研磨液温度进行调节的效率。

为了使本实用新型更便于理解，上述研磨液供应装置，具体可以包括以下结构：

供液桶、循环管道、供液管道、供液泵、过滤器、至少两个控温装置、原液桶和混合桶；控温装置包括控温部件、控制部件、控温装置内部管道、检测研磨液温度的温度传感器和控制控温装置内部管道中研磨液流速的流速控制器；控制部件与控温部件通信连接，控温部件与控温装置内部管道连接，以使控温部件调节流经控温装置内部管道的研磨液的温度；控温装置内部管道包括多个并联设置的子管道，多个子管道的一侧分别与控温装置的入口端导通连接，多个子管道的另一侧分别与控温装置的出口端导通连接；子管道为螺旋式设置的管道；温度传感器与控制部件通信连接，以使控制部件接收温度传感器检测到的温度信息；控温部件包括对研磨液进行升温的加热部件和对研磨液进行降温的冷却部件；

供液桶的出口端与供液泵组件的入口端导通连接；

供液泵的第一出口端通过第一供液管道与控温装置的入口端导通连接，控温装置的出口端通过第二供液管道与过滤器导通连接；供液泵的第二出口端通过第一循环管道与控温装置的入口端导通连接，控温装置的出口端通过第二循环管道与供液桶的回流入口端导通连接，以使经供液泵的第二出口端流出的研磨液回流至供液桶；

过滤器设置在供液管道中；

至少一个控温装置设置在循环管道中，作为第一控温组件，以使供液泵的第二出口端流出的研磨液流经第一控温组件进行温度调节；至少一个控温装置设置在供液泵与过滤器之间的供液管道中，作为第二控温组件，以使供液泵的第一出口端流出的研磨液流经第二控温组件进行温度调节；

原液桶的出口端与混合桶的入口端导通连接；混合桶的出口端与供液桶的供液入口端导通连接。

需要进行说明的是，本具体实施例中，至少一个控温装置在循环管道中对研磨液进行加热，能够促进研磨液在循环管道中的搅拌效果，减少研磨粒子团聚，搅拌后需及时将其冷却至合适温度，并保持恒温，以备使用。由于供液桶中的研磨液在保存时使用的温度并不符合研磨液在使用时的工作温度，因此至少一个控温装置需要置于供液管道中对研磨液进行加热或冷却，可以对研磨液循环调节后的温度进行二次调节，确保进入机台的研磨液温度达到工作温度，以保证晶圆正常生产的进行。

下面对本实用新型实施例提供的研磨系统进行介绍，下文描述的研磨系统与上文描述的研磨液供应装置可相互对应参照。

请参考图7，图7为本实用新型实施例提供的一种研磨系统的结构示意图，可以包括：

如上述的研磨液供应装置、供液臂70和研磨机台80；

研磨液供应装置中的供液管道30背向供液泵组件40的一端，与供液臂70导通连接；

供液臂70中设置有喷液口，喷液口与供液管道30导通连接，以使研磨液能够经喷液口喷洒至研磨机台80放置晶圆的表面处。

需要进行说明的是，本实施例中通过将上述研磨液供应装置中，供液管道30背向供液泵组件40的一端与供液臂70中的喷液口导通连接，能够使上述研磨液供应装置在对研磨机台中的晶圆进行化学机械研磨时，提供研磨液并输送至供液臂70中喷液口，以喷洒至晶圆表面。

应用本实用新型实施例提供的研磨系统，包括如上述的研磨液供应装置、供液臂70和研磨机台80，研磨液供应装置中的供液管道30背向供液泵组件40的一端，与供液臂70导通连接，供液臂70中设置有喷液口，喷液口与供液管道30导通连接，以使研磨液能够经喷液口喷洒至研磨机台80放置晶圆的表面处。本实用新型通过分别在循环管道和供液管道中对研磨液进行温度调节，能够在研磨液混合以及储存过程中对研磨液温度进行调节，降低研磨粒子的积聚，同时在使用时将研磨液的温度调节至正常使用温度，能够不影响研磨液的实际使用，最终避免研磨过程中由于研磨粒子积聚，对晶圆造成刮伤损坏。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系属于仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其他任何变体意在涵盖非排他性的包含。

以上对本实用新型所提供的一种研磨液供应装置及研磨系统进行了详细介绍，本文中应用了多个具体个例对本实用新型进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种研磨液供应装置，其特征在于，包括：

供液桶、循环管道、供液管道、供液泵组件、过滤器和至少两个控温装置；

所述供液桶的出口端与所述供液泵组件的入口端导通连接；

所述供液泵组件的第一出口端与所述供液管道导通连接，所述供液泵组件的第二出口端通过所述循环管道与所述供液桶的回流入口端导通连接，以使经所述供液泵组件的第二出口端流出的研磨液回流至所述供液桶；

所述过滤器设置在所述供液管道中；

至少一个所述控温装置设置在所述循环管道中，作为第一控温组件，以使所述供液泵组件的第二出口端流出的研磨液流经所述第一控温组件进行温度调节；至少一个所述控温装置设置在所述供液泵组件与所述过滤器之间的供液管道中，作为第二控温组件，以使所述供液泵组件的第一出口端流出的研磨液流经所述第二控温组件进行温度调节。

2.根据权利要求1所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述控温装置，包括：

控温部件、控制部件和控温装置内部管道；

所述控温装置内部管道的一侧与所述控温装置的入口端导通连接，所述控温装置内部管道的另一侧与所述控温装置的出口端导通连接；

所述控制部件与所述控温部件通信连接，所述控温部件与控温装置内部管道连接，以使所述控温部件调节流经所述控温装置内部管道的研磨液的温度；

所述供液泵组件的第二出口端通过所述循环管道与所述供液桶的回流入口端导通连接，包括：

所述第二出口端通过第一循环管道与所述控温装置的入口端导通连接，所述控温装置的出口端通过第二循环管道与所述供液桶的回流入口端导通连接；

所述供液泵组件的第一出口端与所述供液管道导通连接，包括：

所述第一出口端通过第一供液管道与所述控温装置的入口端导通连接，所述控温装置的出口端通过第二供液管道与所述过滤器导通连接。

3.根据权利要求2所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述控温装置内部管道包括多个并联设置的子管道；

多个所述子管道的一侧分别与所述控温装置的入口端导通连接，多个所述子管道的另一侧分别与所述控温装置的出口端导通连接。

4.根据权利要求3所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述子管道为螺旋式设置的管道。

5.根据权利要求2所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述控温装置，还包括检测研磨液温度的温度传感器；

所述温度传感器与所述控制部件通信连接，以使所述控制部件接收温度传感器检测到的温度信息。

6.根据权利要求2所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述控温部件，包括对所述研磨液进行升温的加热部件和对所述研磨液进行降温的冷却部件。

7.根据权利要求2所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述控温装置，还包括控制所述控温装置内部管道中研磨液流速的流速控制器。

8.根据权利要求1所述的研磨液供应装置，其特征在于，供液泵组件为一个供液泵；

所述供液泵中设置有供液泵入口端、所述第一出口端和所述第二出口端；

所述第一出口端和第二出口端设置有开关，以控制所述供液泵入口端与所述第一出口端或所述第二出口端中的一个出口端导通。

9.根据权利要求1所述的研磨液供应装置，其特征在于，所述研磨液供应装置，还包括：

原液桶和混合桶；

所述原液桶的出口端与所述混合桶的入口端导通连接；

所述混合桶的出口端与所述供液桶的供液入口端导通连接。

10.一种研磨系统，其特征在于，包括：

如权利要求1至9任一项所述的研磨液供应装置、供液臂和研磨机台；

所述研磨液供应装置中的供液管道背向供液泵组件的一端，与所述供液臂导通连接；

所述供液臂中设置有喷液口，所述喷液口与所述供液管道导通连接，以使研磨液能够经所述喷液口喷洒至所述研磨机台放置晶圆位置的表面处。