CN220468143U - 镀膜载具及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光伏材料加工设备技术领域，公开了一种镀膜载具及镀膜设备，该镀膜载具包括框体、载具本体以及加热模块。该框体包括第一固定部与第二固定部，该第一固定部与第二固定部相对设置；该载具本体设置于该第一固定部与该第二固定部之间，用于承载电池片；该加热模块设置于该框体。该镀膜载具能够提前进行预热，缩短其在炉管中的加热时间，并且能够在镀膜工艺中提升炉管内的温度均匀性，提高镀膜效率和镀膜质量。

Description

镀膜载具及镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及光伏材料加工设备技术领域，尤其涉及一种镀膜载具及镀膜设备。

背景技术

镀膜设备能够对光伏材料(如太阳能硅片)进行镀膜，镀膜的主要目的是提高太阳能电池片的光转换率，例如，利用等离子体增强化学气相沉积方式对光伏材料如太阳能硅片进行镀膜，这道工序运用等离子体增强化学气相沉积技术，通过晶舟、射频电源以及适量的反应气体在硅片表面沉淀一层深蓝色氮化硅膜。

在上述镀膜过程中，需要在炉管内放置镀膜载具并通入电场，在工艺气体以及高温条件下放电，从而在硅片表面产生所需要的薄膜。一般提前对炉管进行预热，且炉管内需设置额外的辅热管对镀膜载具进行辅助加热。

对于炉管管径较大且镀膜载具尺寸较大的情况下，在进行炉管预热阶段或对镀膜载具进行辅助加热时，升温时间会延长，所需加热功率会上升，间接导致产能降低。

因此，亟需一种镀膜载具及镀膜设备，以解决以上问题。

实用新型内容

根据本实用新型的一个方面，目的在于提供一种镀膜载具，该镀膜载具能够提前进行预热，缩短其在炉管中的加热时间，并且能够在镀膜工艺中提升炉管内的温度均匀性，提高镀膜效率和镀膜质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

镀膜载具，包括：

框体，所述框体包括第一固定部与第二固定部，所述第一固定部与第二固定部相对设置；

载具本体，所述载具本体设置于所述第一固定部与所述第二固定部之间，用于承载电池片；

加热模块，所述加热模块设置于所述框体。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部和/或所述第二固定部均设置有所述加热模块；和/或，

所述加热模块设置于所述框体内，位于所述第一固定部与所述第二固定部之间。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述框体包括承托结构；

所述承托结构设置于所述第二固定部背离所述载具本体的一侧，所述加热模块设置于所述承托结构。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述承托结构包括托板和多个连接件，多个所述连接件间隔设置于所述托板的周侧，能够固连于所述第二固定部，所述托板用于承载所述加热模块。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部包括外框和多个梁体，多个所述梁体相互平行并间隔设置于所述外框中，所述加热模块设置于多个所述梁体背离所述载具本体的一侧。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，沿所述框体的长度方向设置有多个载具本体，相邻的所述载具本体之间设置有所述加热模块。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部开设插设通孔，所述插设通孔的开口处两侧设置有连接栓，所述加热模块沿所述框体的高度方向插设于所述插设通孔中，并连接于所述连接栓。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述框体还包括多个支柱，多个所述支柱沿所述框体的周向间隔支撑于所述第二固定部和所述第一固定部之间。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述第一固定部和所述第二固定部均布置有所述加热模块，两个所述加热模块之间通过至少一个所述支柱电连接。

作为本实用新型提供的镀膜载具的可选方案，所述加热模块包括沿所述载具本体的长度方向布置的多个加热装置，多个所述加热装置的温度能够分别实现单独的温度控制，以沿所述载具本体的长度方向形成多个单独的加热区域。

根据本实用新型的另一个方面，目的在于提供一种镀膜设备，所述镀膜设备包括炉管，还包括上述方案任一项所述的镀膜载具，所述镀膜载具能够容纳于所述炉管中。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的镀膜载具包括框体、载具本体以及加热模块。该框体包括第一固定部与第二固定部，该第一固定部与第二固定部相对设置。该框体为载具本体和加热模块提供安装位置。该载具本体设置于该第一固定部与该第二固定部之间，用于承载电池片。该加热模块设置于该框体。也就是说，该加热模块能够发热，对载具本体进行预热，缩短其在炉管中的加热时间，并且能够在镀膜工艺中持续进行加热，提升炉管内的温度均匀性，提高镀膜效率和镀膜质量。

附图说明

图1是本实用新型实施例一提供的镀膜载具的轴测图；

图2是本实用新型实施例一提供的镀膜载具的主视图；

图3是本实用新型实施例一提供的框体的轴测图；

图4是本实用新型实施例一提供的承托结构和加热模块的结构示意图；

图5是本实用新型实施例二提供的镀膜载具的轴测图；

图6是本实用新型实施例二提供的镀膜载具的部分结构示意图；

图7是图6中结构标记为A的局部放大图。

图中：

100、框体；110、第一固定部；111、外框；112、梁体；113、插设通孔；114、连接栓；120、第二固定部；121、热传导通孔；130、承托结构；131、托板；132、连接件；140、支柱；150、支撑脚；

200、载具本体；

300、加热模块。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、“左”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

实施例一

本实施例提供了一种镀膜载具及镀膜设备。该镀膜设备包括炉管，还包括本实施例提供的镀膜载具。该镀膜载具能够用于承载电池片，并能够容纳于该炉管中，进行电池片的镀膜工序。

图1示出本实用新型实施例一提供的镀膜载具的轴测图；图2示出本实用新型实施例一提供的镀膜载具的主视图。参照图1和图2，本实施例提供的镀膜载具包括框体100、载具本体200以及加热模块300。该框体100包括第一固定部110与第二固定部120，该第一固定部110与第二固定部120相对设置，该载具本体200设置于该第一固定部110与该第二固定部120之间，该加热模块300设置于该框体100。

在本实施例中，该第一固定部110为框体100的顶部，该第二固定部120为框体100的底部，该载具本体200为水平插片方式。在另一个实施例中，该第一固定部110和该第二固定部120还可以是框体100相对的左右两侧部，此时该载具本体200为竖直插片方式。

具体地，该第一固定部110或该第二固定部120设置有该加热模块300，用以对载具本体200进行加热。优选地，在其他实施例中，还可以在第一固定部110和该第二固定部120同时设置加热模块300，如图2所示，以提升加热的均匀性。

再为具体地，该框体100还包括多个支柱140。多个该支柱140沿该框体100的周向间隔布置，支撑于该第二固定部120和该第一固定部110之间，以在第一固定部110和第二固定部120之间形成容置空间，用以容纳载具本体200。

更为具体地，图3示出本实用新型实施例一提供的框体的轴测图。参照图3，该第一固定部110包括外框111和多个梁体112。多个该梁体112沿框体100的长度方向相互平行并间隔设置于该外框111中。多个该梁体112能够承托加热模块300，该加热模块300设置于多个该梁体112背离该载具本体200的一侧。通过多个该梁体112能够对长度较长的加热模块300进行可靠支撑安装。

在另一实施例中，该外框111朝向载具本体200的一侧还可以设置承载板，该承载板能够供加热模块300安装。也就是说，该加热模块300能够通过该承载板安装于多个梁体112和载具本体200的顶部之间。

图4示出本实用新型实施例一提供的承托结构和加热模块的结构示意图，参照图2和图4，该第二固定部120背离该载具本体200的一侧设置承托结构130，该承托结构130用以为安装于第二固定部120的加热模块300提供安装位置，使加热模块300能够可靠安装于承托结构130与该第二固定部120之间。

具体地，该承托结构130包括托板131和多个连接件132。该托板131呈矩形结构，其长度和宽度与第二固定部120的长度和宽度基本相等。该托板131用于承载该加热模块300。多个该连接件132间隔设置于该托板131的周侧，能够固连于该第二固定部120。该连接件132具体呈L形板状结构，其包括一体成型的第一连接部和第二连接部，该第一连接部垂直固连于该托板131的侧部，并朝向该第二固定部120延伸，该第二连接部平行于第二固定部120，并采用面接触的方式连接于第二固定部120，以提升整个承托结构130与第二固定部120的连接可靠性。

再为具体地，该第二固定部120背离载具本体200的一侧设置有多个支撑脚150。多个支撑脚150沿周向设置于第二固定部120，能够支撑于炉管内底部，在炉管内底部和第二固定部120之间形成具有一定高度的空间，用以容纳承托结构130。

可选地，为了便于安装于托板131和第二固定部120之间的加热模块300对载具本体200进行加热，该第二固定部120均匀开设有多个热传导通孔121。如图3所示，该热传导通孔121呈圆角矩形状，且呈矩形阵列方式均匀开设于该第二固定部120。

可选地，在本实施例中，该加热模块300为呈蛇形布置的电加热丝。该电加热丝的接线端设置在第二固定部120上，当第一固定部110和第二固定部120均设置有加热模块300时，位于第一固定部110的加热模块300和位于第二固定部120的加热模块300通过至少一个支柱140进行导通。需要说明的是，作为电流导通的支柱140内部能够导通电流，其外部包覆绝缘材料，以实现与载具本体200之间的绝缘。该绝缘材料可以采用陶瓷材质制成。

可选地，炉管中沿炉管长度方向设有多个温区，炉管中设有多个温区，加热模块300可以沿载具本体200的长度方向分为多个加热区域，多个加热区域中的加热装置可以分别与电源电连接，分别为多个温区进行辅助加热。多个加热区域中的加热装置可以分别实现单独的温度控制，从而可以实现对炉管多个温区进行单独的辅助加热。第一固定部110和第二固定部120均布置有加热模块300，第一固定部中第一加热区域的加热装置与第二固定部中对应的第二加热区域的加热装置通过支柱140进行导通，从而在炉管上下两个区域进行加热，进一步提高了辅助加热的均匀性。

例如，多根加热丝形成第一加热装置，另外多根加热丝形成第二加热装置，加热模块包括第一加热装置、第二加热装置，第一加热装置与第二加热装置沿沿载具本体200的长度方向排列，且第一加热装置、第二加热装置可以实现单独的温度控制，则第一加热装置、第二加热装置可以单独对炉管中的第一温区、第二温区进行单独的辅助加热。

在其他实施例中，该加热模块300还可以为加热板结构、加热管或呈其他形式均匀布置的电加热丝，以能够为载具本体200提供均匀的加热效果为准，其结构形式本实施例在此不做限制。

实施例二

图5示出本实用新型实施例二提供的镀膜载具的轴测图；图6示出本实用新型实施例二提供的镀膜载具的部分结构示意图。参照图5和图6，本实施例与实施例一的不同之处在于，本实施例提供的镀膜载具的加热模块300设置于该框体100内，并位于该第一固定部110与该第二固定部120之间。

具体地，沿该框体100的长度方向设置有多个载具本体200，相邻的该载具本体200之间设置有该加热模块300。设置于框体100内部的加热模块300能够更为直接地对载具本体200进行加热，以提升其升温效率。

再为具体地，该第一固定部110开设插设通孔113，具体地，该插设通孔113开设在梁体112上。该插设通孔113的开口处两侧设置有连接栓114，如图7所示。该连接栓114用于供加热模块300挂接。在本实施例中，该支柱140与外框111通过绝缘螺栓进行固定连接，该绝缘螺栓凸出于该外框111，可以直接充当连接栓114。该加热模块300为蛇形布置的电加热丝，沿该框体100的高度方向插设于该插设通孔113中。该蛇形布置的电加热丝的两端弯折形成圆环状结构，以环设于该连接栓114。

需要说明的是，同一个框体100，也可以在第一固定部110、第二固定部120以及内部同时设置加热模块300，以进一步提升加热均匀性和升温效率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (11)

1.镀膜载具，其特征在于，包括：

框体(100)，所述框体(100)包括相对设置的第一固定部(110)与第二固定部(120)；

载具本体(200)，所述载具本体(200)设置于所述第一固定部(110)与所述第二固定部(120)之间，用于承载电池片；

加热模块(300)，所述加热模块(300)设置于所述框体(100)。

2.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)和/或所述第二固定部(120)均设置有所述加热模块(300)；和/或，

所述加热模块(300)设置于所述框体(100)内，位于所述第一固定部(110)与所述第二固定部(120)之间。

3.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述框体(100)包括承托结构(130)；

所述承托结构(130)设置于所述第二固定部(120)背离所述载具本体(200)的一侧，所述加热模块(300)设置于所述承托结构(130)。

4.根据权利要求3所述的镀膜载具，其特征在于，所述承托结构(130)包括托板(131)和多个连接件(132)，多个所述连接件(132)间隔设置于所述托板(131)的周侧，能够固连于所述第二固定部(120)，所述托板(131)用于承载所述加热模块(300)。

5.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)包括外框(111)和多个梁体(112)，多个所述梁体(112)间隔设置于所述外框(111)中，所述加热模块(300)设置于多个所述梁体(112)背离所述载具本体(200)的一侧。

6.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，沿所述框体(100)的长度方向设置有多个所述载具本体(200)，相邻的所述载具本体(200)之间设置有所述加热模块(300)。

7.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)开设插设通孔(113)，所述插设通孔(113)的开口处两侧设置有连接栓(114)，所述加热模块(300)沿所述框体(100)的高度方向插设于所述插设通孔(113)中，并连接于所述连接栓(114)。

8.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述框体(100)还包括多个支柱(140)，多个所述支柱(140)沿所述框体(100)的周向间隔支撑于所述第二固定部(120)和所述第一固定部(110)之间。

9.根据权利要求8所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一固定部(110)和所述第二固定部(120)均布置有所述加热模块(300)，两个所述加热模块(300)之间通过至少一个所述支柱(140)电连接。

10.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述加热模块(300)包括沿所述载具本体(200)的长度方向布置的多个加热装置，多个所述加热装置的温度能够分别实现单独的温度控制，以沿所述载具本体(200)的长度方向形成多个单独的加热区域。

11.镀膜设备，其特征在于，包括炉管，还包括权利要求1-10任一项所述的镀膜载具，所述镀膜载具能够容纳于所述炉管中。