CN220468107U - 防金属液飞溅的蒸发舟组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种防金属液飞溅的蒸发舟组件，包括：舟体，其长度方向的两端设置第一夹持端和第二夹持端，用于与电极接触并电性导通；蒸发区，设置在舟体的蒸发侧；在蒸发区上方至少设置一个部分覆盖蒸发区的盖板，盖板底部与蒸发区表面具有一定的间隙。本实用新型通过在舟体的蒸发区域上部分覆盖盖板的方式，来降低金属液飞溅，并提升原料利用率；另外，在送丝位点设置盖板，并在该盖板处设置送丝孔洞，进而控制送丝过程中铝丝的熔化产生的溅铝情况；通过设置加强件，以增加盖板的强度。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空蒸发镀覆技术领域，尤其涉及一种防金属液飞溅的蒸发舟组件。
背景技术
使用PVD(物理气相沉积)进行所谓的真空带式金属化，是用金属涂布柔性衬底的常见方法。例如，柔性衬底可以是塑料膜、金属箔、膜或纸张。用于涂布衬底的最常用的金属是铝。
为了产生金属蒸气，通常使用蒸发舟。现有蒸发舟一般为舟状结构，中部设置凹槽，在真空环境下，使用电流的直接通过将这些蒸发舟加热到大约1700℃的温度，将例如铝等金属丝引导到预热的蒸发舟接近中部位置，金属丝熔融后，气化形成金属蒸汽并附着于基底表面。
在进行蒸镀生产过程中，铝液铺展过程中是逐步润湿舟体，而蒸发舟在较大加热功率下，送料位点处，铝液易堆积产生飞溅；同时未润湿的舟体部分，接触到铝液时也容易产生飞溅的情况。
现有技术中，如CN111778482A，CN217378013U，其所公开的蒸发舟结构中，均采用了在蒸发舟表面设置具有若干通孔的盖板结构，盖板结构完全覆盖蒸发面。如此设置，一方面起到阻挡遮盖较大颗粒的溅铝，同时可起到改善镀膜均匀性的问题。
上述具有全覆盖式的盖板的蒸发舟，进料处设置在舟体的两端，为了保证均匀性，一般两端同时进料送丝，进而使得两端的铝液朝向中部润湿，多个送丝点位，反而会加剧对端侧舟体的腐蚀；另外端侧朝向中部润湿的方式，中部的润湿性也相对较差，大多都在端部蒸发；完全覆盖的盖板方式，蒸镀的源材料大多附着在盖板上，也造成了原料的浪费。
实用新型内容
本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种防金属液飞溅的蒸发舟组件，在舟体的蒸发区域上局部覆盖盖板的方式，来降低溅铝，并提升原料利用率。
本实用新型的技术方案如下：
一种防金属液飞溅的蒸发舟组件，包括：
舟体，其长度方向的两端设置第一夹持端和第二夹持端，用于与电极接触并电性导通；
蒸发区，设置在舟体的蒸发侧；
其中，在蒸发区上方至少设置一个部分覆盖蒸发区的盖板，盖板底部与蒸发区表面具有一定的间隙。
局部设置盖板的方式，可以减小对舟体蒸发侧的阻挡，进而充分利用铝丝，同时对送丝位置进行遮挡，可减少铝丝熔融时的溅铝情况。
进一步的，盖板设置在蒸发区上方对应送丝位置，并在该盖板上开设有送丝通道，用于铝丝的送入。
进一步的，送丝通道倾斜设置，以匹配送丝方向，即对应送丝方向与舟体的蒸发侧法线具有一定的夹角。
进一步的，盖板设置在蒸发区上方的其他位置。
进一步的，盖板设置在舟体端侧位置。
在舟体端侧的边沿部位设置在盖板，能够减少边缘部位的溅铝情况。
进一步的，盖板的宽度不超过舟体蒸发区长度的1/2。
进一步的，舟体的蒸发区设置为凹槽状或平面状。
进一步的，在盖板上开设若干气孔。
设置气孔，便于铝液蒸发后从气孔中排出，提升原料利用率，并保证蒸发后气体的均匀性。
进一步的，盖板长度方向的两端侧设置限位板，与盖板整体协同扣设并限位在舟体上。
进一步的，在盖板长度方向连接有至少一个加强件。
设置加强件，可提升盖板强度，减少其高温断裂的问题。
进一步的，在盖板的各平面的长度方向设置有加强件的嵌入槽，用于加强件的嵌入。
进一步的，在加强件上对应的开设有匹配结构槽孔。
本实用新型中的有益效果：通过在舟体的蒸发区域上部分覆盖盖板的方式，来降低金属液飞溅，并提升原料利用率；另外，在送丝位点设置盖板，并在该盖板处设置送丝孔洞，进而控制送丝过程中铝丝的熔化产生的溅铝情况；通过设置加强件，以增加盖板的强度。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1为本实用新型提出的防金属液飞溅的蒸发舟组件中蒸发区为槽状的结构示意图；
图2为图1中箭头方向的剖视结构示意图；
图3为舟体蒸发区为平面状的结构示意图；
图4为图3中箭头方向的剖视结构示意图；
图5为舟体上蒸发区不同部位设置多个盖板的示意图；
图6为图2中盖板端部设置限位板的示意图；
图7为图4中盖板端部设置限位板的示意图；
图8为盖板的改进方案的俯视结构示意图；
图9为图8中A方向的剖视结构示意图；
图10为盖板的另一改进方案的俯视结构示意图；
图11为图10中B方向的剖视结构示意图。
图中：1-舟体；11-第一夹持端；12-第二夹持端；13-蒸发区；2-第一盖板；21-送丝通道；22-间隙；23-气孔；24-装配区；241-嵌入槽；3-第二盖板；31-气孔；4-加强件；41-结构槽孔。
L：盖板长度方向，垂直电流方向。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1和图2，一种防金属液飞溅的蒸发舟组件，包括：
舟体1，其长度方向的两端设置第一夹持端11和第二夹持端12，用于与电极接触并电性导通，第一夹持端11和第二夹持端12断面形状为多边形，如可以是矩形，当然也可以是梯形、正多边形等；
蒸发区13，设置在舟体1的蒸发侧，蒸发区13为凹槽状结构；当然，蒸发区的蒸发侧不仅限于凹槽内，其凹槽的外沿部分，也应当被认为是蒸发区；
其中，在蒸发区13上方对应送丝位置局部设置第一盖板2，第一盖板2上开始有送丝通道21，用于铝丝的送入，第一盖板2底部与蒸发区表面存在一定间隙22，便于铝液铺展。第一盖板2的宽度不宜超过舟体1蒸发区长度的1/2，优选为不超过1/4。
局部设置盖板的方式，可以减小对舟体蒸发侧的阻挡，进而充分利用铝丝，同时对送丝位置进行遮挡，可减少铝丝熔融时的溅铝情况。
参照图3-4，舟体1的蒸发区13设置平面状，此时，第一盖板2端部设置局部凸起的支撑底，以使得第一盖板2中部保持与蒸发区13存在间隙22，该支撑底基本设置在蒸发区13中铝液铺展的外围区域，优选设置在舟体的宽度方向的端部位置。
同时，进一步在第一盖板2上开设若干气孔23，便于送丝位置处，铝液蒸发后从气孔23中排出，提升原料利用率，并保证蒸发后气体的均匀性。
另外，考虑到送丝机构中铝丝从送丝管输出后是呈一定倾角输送至蒸发舟表面，第一盖板2上的送丝通道21倾斜设置，以匹配送丝方向，即对应送丝方向与舟体的蒸发侧法线具有一定的夹角。
参照图5，在舟体1的蒸发区13的端侧还设置有第二盖板3，第二盖板3结构基本与第一盖板2类似，并也在第二盖板3上对应蒸发区13开设若干气孔31。端侧设置第二盖板的作用主要是考虑到舟体边缘位置铝液相对较少，温度相对中部位置更高，当铝液润湿时，可能会产生溅铝的情况。当然实际第二盖板3的数量及位置，可根据舟体尺寸进行局部设置。
参照图6-7，考虑到装配可靠性，盖板长度方向的两端侧设置限位板，与盖板整体协同扣设并限位在舟体上。
在舟体1工作过程中，如陶瓷材料的盖板，容易产生高温断裂的问题，为提升盖板强度，在盖板长度方向连接有加强件4。
参照图8-9，在第一盖板2顶部沿其长度方向贯通设置有加强件4的嵌入槽241，本实施中，加强件4为(金属)片材，考虑到加工便利性，预先铣出装配区24后，进一步在装配区24底部两端铣出嵌入槽241，以使得装配区整体呈T型槽状，加强件4的厚度与嵌入槽241的厚度D匹配。当然，嵌入槽241也可仅设置在装配区的一端。当然，加强件4也可以设置在底部位置。
同时，考虑到第一盖板2上送丝通道21和/或气孔23，在加强件4上对应的开设有匹配结构槽孔41，使得相关通孔能够保持连通。
参照图10-11，嵌入槽241仅设置在第一盖板2的侧面位置，也可以两侧均设置。
当然，上述结构也适用于第二盖板3，在此不再赘述。
盖板的材料应当选择耐高温的材质，如陶瓷或金属材质，如氮化硼，钨、钼及其合金材料等，同时送丝位置处的盖板应当优先选择绝缘材料或具有绝缘涂层的材料，避免短路。
本申请中，未详细说明的结构及连接关系均为现有技术，其结构及原理已为公知技术，在此不再赘述；如舟体的材料，相关尺寸参数的限定，可根据实际需求进行选择。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种防金属液飞溅的蒸发舟组件，包括：
舟体，其对应电流方向的两端设置第一夹持端和第二夹持端，用于与电极接触并电性导通；
蒸发区，设置在舟体的蒸发侧；
其特征在于：在蒸发区上方至少设置一个部分覆盖蒸发区的盖板，盖板底部与蒸发区表面具有间隙。
2.根据权利要求1所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：盖板设置在蒸发区上方对应送丝位置，并在该盖板上开设有送丝通道，用于铝丝的送入。
3.根据权利要求2所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：送丝通道倾斜设置，以匹配送丝方向。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：盖板设置在蒸发区上方偏离送丝位点的易溅铝位置。
5.根据权利要求4所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：盖板设置在舟体端侧位置。
6.根据权利要求2或5所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：在盖板上开设若干气孔。
7.根据权利要求6所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：舟体的蒸发区设置为凹槽状或平面状；盖板的宽度不超过舟体蒸发区长度的1/2。
8.根据权利要求1-3、5、7中任意一项中任意一项所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：盖板长度方向的两端侧设置限位板，与盖板整体协同扣设并限位在舟体上。
9.根据权利要求8所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：在盖板长度方向连接有至少一个加强件。
10.根据权利要求9所述的防金属液飞溅的蒸发舟组件，其特征在于：在盖板的各平面的长度方向设置有加强件的嵌入槽，用于加强件的嵌入；在加强件上对应的开设有匹配结构槽孔。
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