CN220246235U - 蒸发舟结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蒸发舟结构，包括：舟体，其两端设置第一夹持端和第二夹持端，用于与电极接触；蒸发区，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发金属液；在蒸发区对应送丝位置设置凸起部，凸起部顶部呈球面体状。本实用新型设置为球面体的凸起部作为送丝点，更利于金属液铺展；设置导流区，可以更利于金属液润湿、分散铺展，金属液流向至线槽后，利于金属液在蒸发区进行润湿；同时，在槽状蒸发区设置内凹部，也可以改善金属液的润湿速度。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空蒸发镀覆技术领域，尤其涉及一种蒸发舟结构。
背景技术
使用PVD(物理气相沉积)进行所谓的真空带式金属化，是用金属涂布柔性衬底的常见方法。例如，柔性衬底可以是塑料膜、金属箔、膜或纸张。用于涂布衬底的最常用的金属是铝。
为了产生金属蒸气，通常使用蒸发舟。现有蒸发舟一般为舟状结构，中部设置凹槽，在真空环境下，使用电流的直接通过将这些蒸发舟加热到大约1700℃的温度，将例如铝等金属丝引导到预热的蒸发舟接近中部位置，金属丝熔融后，气化形成金属蒸汽并附着于基底表面。
由于现有蒸发舟材料主要成分是二硼化钛(TiB2)与氮化硼(BN)等，在进行镀铝作业时，液态铝不易铺展；且液态铝会与BN反应，更易在送丝点位置处对舟体产生局部腐蚀，进而影响蒸发舟的均匀性。
针对上述铺展问题，现有技术中，如CN202347083，其在舟体上沿长度方向开设若干内凹弧形轨道，促进铝液的浸润铺展。还是存在蒸发舟对应送丝处腐蚀的情况。
如CN218089762U，其公开了蒸发舟的凹槽表面设置凸台结构，并进一步在凸台顶面设置多条交错的导流槽。设置凸台状结构，能够增加舟体的耐蚀能力，协同导流槽，也能够促进铝液分散、铺展。但是上述凸台状结构(圆台状)，随着蒸镀的进行，顶部的凸台还是会存在局部腐蚀，出现槽/孔，后期容易积聚铝液，反而不易铝液铺展。
实用新型内容
本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种蒸发舟结构，在蒸镀过程中，更易于铝液铺展。
本实用新型的技术方案如下：
一种蒸发舟结构，包括：
舟体，其两端设置第一夹持端和第二夹持端，用于与电极接触；
蒸发区，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发金属液；
其中，在蒸发区对应送丝位置设置凸起部，凸起部顶部呈球面体状。
凸起部顶部设置为球面体状，在送丝时，更易于铝液在其顶部朝向蒸发区分散、铺展，同时，也可局部增加了送丝位点的蒸发舟厚度，增加耐蚀能力。
进一步的，凸起部的高径比不大于1/2。以使得凸起相对较为平缓。
进一步的，第一夹持端和第二夹持端断面形状为多边形。
进一步的，蒸发区为凹槽状结构或平面结构。
进一步的，为了在蒸发区底部沿蒸发舟长度方向设置若干线槽，线槽沿舟体宽度方向间隔设置。更利于金属液铺展，润湿舟体。
进一步的，线槽设置为直线、弧线、蛇形线的一种或组合。
进一步的，凸起部顶部设置为导流区，导流区包括若干交错设置的导流槽。
进一步的，导流槽包括第一导流槽和第二导流槽，第一导流槽和第二导流槽朝向蒸发区的平面投影垂直。
进一步的，导流槽宽度为0.2-1mm，深度为0.1-0.5mm。
设置导流槽，可以增加表面积，使得在金属丝被蒸发舟加热熔融后的液体滴落在其表面时，可以快速分散，也一定程度减少了金属液的飞溅。
进一步的，凸起部在导流区下方设置连通的导流槽。可以更好的对铝液进行导流。
进一步的，在舟体呈凹槽状的蒸发区内侧设置至少一个内凹部。使得蒸发器体积局部变小，利于金属液在蒸发区快速铺展开。
进一步的，至少一个内凹部对应凸起部设置。
本实用新型中的有益效果：设置为球面体的凸起部作为送丝点，利于金属液铺展；进一步设置导流区，也更利于金属液润湿、分散铺展，金属液流向至线槽后，利于金属液在蒸发区进行润湿；同时，在槽状蒸发区设置内凹部，也可以改善金属液的润湿速度。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1为本实用新型提出的蒸发舟结构的结构示意图；
图2为图1中设置直线线槽的改进方案的结构示意图；
图3为图1中的设置曲线线槽的改进方案的结构示意图；
图4为图1中凸起部设置导流区的改进方案的示意图；
图5为图4中凸起部的俯视结构示意图；
图6为图1中蒸发区设置内凹部的示意图。
图中：1-舟体；11-第一夹持端；12-第二夹持端；13-蒸发区；131-线槽；14-内凹部；2-凸起部；21-导流区；211-第一导流槽；212-第二导流槽；
L：蒸发舟长度方向，平行电流方向；蒸发舟宽度方向为垂直于长度方向。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参照图1，一种蒸发舟结构，包括：
舟体1，其两端设置第一夹持端11和第二夹持端12，用于与电极接触，第一夹持端11和第二夹持端12断面形状为多边形，如可以是矩形，当然也可以是梯形、正多边形等；
蒸发区13，设置在舟体1的蒸发侧，蒸发区13可以是图1中的槽状结构，也可以是舟体1对应蒸发侧的平面结构；
其中，在蒸发区13对应送丝位置设置凸起部2，凸起部2顶部呈球面体状；球面体可以是半球状，也可以是四分之一球体状，当然还可以是完整球体被平面分割后的其他分割比例的球面体形状；该球面体应当具有一定的高径比(高度/直径)，其高径比不大于1/2；优选为1/6-2/5，更优为1/5-1/3，以使得凸起相对较为平缓。
凸起部2顶部设置为球面体状，在送丝时，更易于铝液在其顶部朝向蒸发区分散、铺展，同时，也可局部增加了送丝位点的蒸发舟厚度，增加耐蚀能力。
进一步参照图2，为了在蒸发区13底部沿蒸发舟长度方向设置若干线槽131，线槽131沿舟体1宽度方向间隔设置；优选为等间距设置，并呈对称设置；且线槽131设置为直线状。
如图3，部分线槽131呈弧线状，更利于金属(铝)液铺展，润湿舟体1。
当然，上述润湿线槽也可以是波浪形分布；也可以在舟体1长度方向往复蛇形盘绕设置。
参照图4和图5，凸起部2顶部设置为导流区21，导流区21包括若干交错设置的导流槽。本实施中，导流槽包括第一导流槽211和第二导流槽212，第一导流槽211和第二导流槽212朝向蒸发区13的平面投影垂直。
导流槽宽度为0.2-1mm，深度为0.1-0.5mm。设置交错的导流槽，可以增加表面积，使得在金属丝被蒸发舟加热熔融后的液体滴落在其表面时，可以快速分散，也一定程度减少了金属液的飞溅。
考虑到进一步引流，凸起部2在导流区21下方还可以进一步设置连通的导流槽。
参照图6，在舟体1的槽状蒸发区长度方向的内侧设置至少一个内凹部14，可使得蒸发区体积局部变小，因此利于金属液在蒸发区快速铺展开。内凹部14优选对应凸起部2设置，以使得蒸发区在凸起部2处体积较小，更易向两侧铺展。
本申请中，未详细说明的结构及连接关系均为现有技术，其结构及原理已为公知技术，在此不再赘述；如舟体的材料，相关尺寸参数的限定，可根据实际需求进行选择。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种蒸发舟结构，包括：
舟体，其两端设置第一夹持端和第二夹持端，用于与电极接触；
蒸发区，设置在舟体的蒸发侧，用于承载并加热蒸发金属液；
其特征在于：在蒸发区对应送丝位置设置凸起部，凸起部顶部呈球面体状。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟结构，其特征在于：凸起部的高径比不大于1/2。
3.根据权利要求1所述的蒸发舟结构，其特征在于：第一夹持端和第二夹持端断面形状为多边形。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的蒸发舟结构，其特征在于：蒸发区为凹槽状结构或平面结构。
5.根据权利要求4所述的蒸发舟结构，其特征在于：为了在蒸发区底部沿蒸发舟长度方向设置若干线槽，线槽沿舟体宽度方向间隔设置。
6.根据权利要求5所述的蒸发舟结构，其特征在于：线槽设置为直线、弧线、蛇形线的一种或组合。
7.根据权利要求6所述的蒸发舟结构，其特征在于：凸起部顶部设置为导流区，导流区包括若干交错设置的导流槽。
8.根据权利要求7所述的蒸发舟结构，其特征在于：导流槽包括第一导流槽和第二导流槽，第一导流槽和第二导流槽朝向蒸发区的平面投影垂直；
和/或，凸起部在导流区下方设置连通的导流槽。
9.根据权利要求5-8中任意一项所述的蒸发舟结构，其特征在于：在舟体的凹槽状蒸发区对应其长度方向的内侧设置至少一个内凹部，以使蒸发区体积局部变小。
10.根据权利要求9所述的蒸发舟结构，其特征在于：至少一个所述内凹部对应凸起部设置。
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