CN220460078U - 一种氯硅烷渣浆处理装置 - Google Patents
一种氯硅烷渣浆处理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220460078U CN220460078U CN202321990357.XU CN202321990357U CN220460078U CN 220460078 U CN220460078 U CN 220460078U CN 202321990357 U CN202321990357 U CN 202321990357U CN 220460078 U CN220460078 U CN 220460078U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- back flushing
- pipeline
- chlorosilane
- tank body
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002002 slurry Substances 0.000 title claims abstract description 57
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 title claims abstract description 49
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 49
- 239000002893 slag Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims abstract description 69
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 15
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 22
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 14
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 6
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000011001 backwashing Methods 0.000 description 2
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000012065 filter cake Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种氯硅烷渣浆处理装置，涉及氯硅烷处理设备技术领域，主要目的是提供一种能够降低氯硅烷渣浆处理成本，同时降低设备的检修难度的一种氯硅烷渣浆处理装置。本实用新型的主要技术方案为：一种氯硅烷渣浆处理装置，包括：罐体，罐体的顶部设置反冲洗管道和输出管道，罐体的下部侧面设置进料管道，罐体的底部设置排渣管道；过滤部件，过滤部件包括花盘和多个烧结滤芯，花盘的外侧固定连接于罐体的侧面，花盘具有多个安装通孔，多个烧结滤芯与多个安装通孔一一对应连接；反冲洗部件，反冲洗部件连接于反冲洗管道。本实用新型主要用于氯硅烷渣浆过滤。
Description
技术领域
本实用新型涉及氯硅烷处理设备技术领域，尤其涉及一种氯硅烷渣浆处理装置。
背景技术
目前最为常见的渣浆处理工艺流程其具体操作是将渣浆输送到闪蒸罐中，然后在外壁铺满通有蒸汽的伴热管线，用加热升温的方式，在搅拌的作用下，使渣浆在闪蒸罐内混合均匀，与闪蒸罐壁蒸汽热充分接触吸热，使渣浆中的氯硅烷达到沸点汽化，并对气相氯硅烷进行冷凝回收，闪蒸罐汽化提浓渣浆效果差，氯硅烷损失仍严重。
由于闪蒸罐干燥过程中，搅拌机的搅拌速度的影响，无法使得渣浆在干燥过程中都能与器壁进行充分传热，使得氯硅烷的汽化量受到了限制，仍有少部分氯硅烷夹杂在滤渣中一起排出闪蒸罐，由于渣浆在汽化提浓的过程中，渣浆的固体含量越来越高，渣浆易吸附在干燥器内壁，导致闪蒸罐的换热效果会越来越差，氯硅烷损失也会越来越高，严重影响闪蒸罐处理渣浆的能力，随着多晶硅产能的不断提高，系统产生的渣浆量也不断突破闪蒸罐的处理能力，目前只能通过扩大渣浆处理生产线来提高渣浆的处理。这样不仅使得氯硅烷损失进一步加大，也增加了处理渣浆的成本。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型实施例提供一种氯硅烷渣浆处理装置，主要目的是提供一种能够降低氯硅烷渣浆处理成本，同时降低设备的检修难度的一种氯硅烷渣浆处理装置。
为达到上述目的，本实用新型主要提供如下技术方案：
本实用新型实施例提供了一种氯硅烷渣浆处理装置，该装置包括：
罐体，所述罐体的顶部设置反冲洗管道和输出管道，所述罐体的下部侧面设置进料管道，所述罐体的底部设置排渣管道；
过滤部件，所述过滤部件包括花盘和多个烧结滤芯，所述花盘的外侧固定连接于所述罐体的侧面，所述花盘具有多个安装通孔，多个所述烧结滤芯与多个所述安装通孔一一对应连接；
反冲洗部件，所述反冲洗部件连接于所述反冲洗管道。
进一步的，所述烧结滤芯包括过滤层、滤芯本体和安装头，所述安装头的一端连接于所述滤芯本体，所述安装头的侧面连接于所述安装通孔，所述过滤层包裹在所述滤芯本体的外部。
进一步的，所述滤芯本体包括中心管和多个多孔管，多个所述多孔管包围在所述中心管的外部。
进一步的，所述烧结滤芯还包括封堵头，所述封堵头可拆卸连接于所述滤芯本体远离所述安装头的一端。
进一步的，所述罐体包括罐本体和盖体，所述罐本体的上部设置第一安装盘，所述盖体的下部设置第二安装盘，所述花盘设置在所述第一安装盘和所述第二安装盘之间，所述第一安装盘和所述第二安装盘通过固定螺栓连接。
进一步的，所述第一安装盘的一侧设置第一限位环，所述第二安装盘的一侧设置第二限位环，所述花盘设置在所述第一限位环和所述第二限位环之间。
进一步的，所述反冲洗部件包括氮气反吹部件和氯硅烷冲洗部件，所述反冲洗管道包括气体反吹管道和液体反冲洗管道，所述气体反吹管道连接于所述氮气反吹部件，所述液体反冲洗管道连接于所述氯硅烷冲洗部件。
进一步的，所述反冲洗管道还包括下部反吹管道，所述下部反吹管道设置在所述罐体的下部侧面，所述下部反吹管道连接于所述氮气反吹部件。
进一步的，干燥机，所述干燥机连接于所述排渣管道。
进一步的，温度检测器和压力检测器，所述温度检测器和所述压力检测器分别连接于所述罐体。
与现有技术相比，本实用新型具有如下技术效果：
本实用新型实施例提供的技术方案中，罐体的作用是提供渣浆处理的场所，所述罐体的顶部设置反冲洗管道和输出管道，所述罐体的下部侧面设置进料管道，所述罐体的底部设置排渣管道；过滤部件的作用是对渣浆进行过滤处理，所述过滤部件包括花盘和多个烧结滤芯，所述花盘的外侧固定连接于所述罐体的侧面，所述花盘具有多个安装通孔，多个所述烧结滤芯与多个所述安装通孔一一对应连接；反冲洗部件的作用是对罐体和过滤部件进行反冲洗处理，所述反冲洗部件连接于所述反冲洗管道，相对于现有技术，渣浆在汽化提浓的过程中，渣浆的固体含量越来越高，渣浆易吸附在干燥器内壁，导致闪蒸罐的换热效果会越来越差，氯硅烷损失也会越来越高，严重影响闪蒸罐处理渣浆的能力，随着多晶硅产能的不断提高，系统产生的渣浆量也不断突破闪蒸罐的处理能力，目前只能通过扩大渣浆处理生产线来提高渣浆的处理。这样不仅使得氯硅烷损失进一步加大，也增加了处理渣浆的成本，本技术方案中，通过在罐体设置花盘，在花盘上设置多个烧结滤芯，渣浆从罐体的下部进入罐体，渣浆中的绝大多数细硅粉和高氯化合物通过烧结滤芯时被阻挡并沉积到罐体的底部，含有少量杂质的液体通过烧结滤芯并从罐体的顶部排出，使得大多数杂质被过滤和阻挡，减轻了后续工序分离的能源消耗，同时，降低了管道阻塞的概率，从而达到降低氯硅烷渣浆处理成本的技术效果，并且，通过反冲洗部件定期对罐体和过滤部件进行反冲洗，从而达到了降低设备的检修难度的技术效果。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种氯硅烷渣浆处理装置的结构示意图；
图2为图1中A处的放大结构示意图；
图3为图1中B处的放大结构示意图；
图4为本实用新型实施例提供的一种花盘的结构示意图；
图5为本实用新型实施例提供的一种氯硅烷渣浆处理装置的使用状态结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如图1至图5所示，本实用新型实施例提供了一种氯硅烷渣浆处理装置，该装置包括：
罐体1，所述罐体1的顶部设置反冲洗管道13和输出管道14，所述罐体1的下部侧面设置进料管道15，所述罐体1的底部设置排渣管道16；
过滤部件，所述过滤部件包括花盘21和多个烧结滤芯22，所述花盘21的外侧固定连接于所述罐体1的侧面，所述花盘21具有多个安装通孔211，多个所述烧结滤芯22与多个所述安装通孔211一一对应连接；
反冲洗部件，所述反冲洗部件连接于所述反冲洗管道13。
本实用新型实施例提供的技术方案中，罐体1的作用是提供渣浆处理的场所，所述罐体1的顶部设置反冲洗管道13和输出管道14，所述罐体1的下部侧面设置进料管道15，所述罐体1的底部设置排渣管道16；过滤部件的作用是对渣浆进行过滤处理，所述过滤部件包括花盘21和多个烧结滤芯22，所述花盘21的外侧固定连接于所述罐体1的侧面，所述花盘21具有多个安装通孔211，多个所述烧结滤芯22与多个所述安装通孔211一一对应连接；反冲洗部件的作用是对罐体1和过滤部件进行反冲洗处理，所述反冲洗部件连接于所述反冲洗管道13，相对于现有技术，渣浆在汽化提浓的过程中，渣浆的固体含量越来越高，渣浆易吸附在干燥器内壁，导致闪蒸罐的换热效果会越来越差，氯硅烷损失也会越来越高，严重影响闪蒸罐处理渣浆的能力，随着多晶硅产能的不断提高，系统产生的渣浆量也不断突破闪蒸罐的处理能力，目前只能通过扩大渣浆处理生产线来提高渣浆的处理。这样不仅使得氯硅烷损失进一步加大，也增加了处理渣浆的成本，本技术方案中，通过在罐体1设置花盘21，在花盘21上设置多个烧结滤芯22，渣浆从罐体1的下部进入罐体1，渣浆中的绝大多数细硅粉和高氯化合物通过烧结滤芯22时被阻挡并沉积到罐体1的底部，含有少量杂质的液体通过烧结滤芯22并从罐体1的顶部排出，使得大多数杂质被过滤和阻挡，减轻了后续工序分离的能源消耗，同时，降低了管道阻塞的概率，从而达到降低氯硅烷渣浆处理成本的技术效果，并且，通过反冲洗部件定期对罐体1和过滤部件进行反冲洗，从而达到了降低设备的检修难度的技术效果。
上述罐体1的作用是提供渣浆处理的场所，所述罐体1的顶部设置反冲洗管道13和输出管道14，所述罐体1的下部侧面设置进料管道15，所述罐体1的底部设置排渣管道16，罐体1包括罐本体11和盖体12，所述罐本体11的上部设置第一安装盘111，所述盖体12的下部设置第二安装盘121，所述花盘21设置在所述第一安装盘111和所述第二安装盘121之间，所述第一安装盘111和所述第二安装盘121通过固定螺栓连接，使得罐本体11和盖体12能够对花盘21进行夹持和固定，进料管道15设置在罐体1的下部侧面，排渣管道16设置在罐体1的底部，用于排出废渣；过滤部件的作用是对渣浆进行过滤处理，所述过滤部件包括花盘21和多个烧结滤芯22，所述花盘21的外侧固定连接于所述罐体1的侧面，所述花盘21具有多个安装通孔211，多个所述烧结滤芯22与多个所述安装通孔211一一对应连接，花盘21上设置多个安装通孔211，罐本体11和盖体12对花盘21进行夹持和固定，烧结滤芯22的一端固定在安装通孔211上，另一端朝向罐体1的底部的方向延伸，渣浆从罐体1的下部进入罐体1，然后经过烧结滤芯22进行过滤，使渣浆中的绝大多数细硅粉和高氯化合物通过烧结滤芯22时被阻挡并沉积到罐体1的底部，含有少量杂质的液体通过烧结滤芯22并从罐体1的顶部排出，使得渣浆中大部分的固体杂质被除去，减轻的后续分离的能源消耗，过滤后的液体进入渣浆处理装置进行处理，从而达到减少渣浆中的杂质的技术效果；反冲洗部件的作用是对罐体1和过滤部件进行反冲洗处理，所述反冲洗部件连接于所述反冲洗管道13，在设备运行一段时间后，关闭进料管道15，反冲洗部件开启，对罐体1和烧结滤芯22的表面进行反冲洗，使烧结滤芯22表面的杂质掉落到罐体1的底部，从而达到方便清洗设备的技术效果。
进一步的，所述烧结滤芯22包括过滤层221、滤芯本体222和安装头223，所述安装头223的一端连接于所述滤芯本体222，所述安装头223的侧面连接于所述安装通孔211，所述过滤层221包裹在所述滤芯本体222的外部。本实施例中，进一步限定了烧结滤芯22，滤芯本体222采用由金属粉末烧结制成，过滤精度为1μM，滤芯本体222的外部包裹过滤层221，过滤层221采用聚四氟乙烯滤布，安装头223设置在滤芯本体222的上端，用于将烧结滤芯22安装在安装通孔211内，过滤时，氯硅烷残液被泵入罐体1内,氯硅烷残液过滤层221和滤芯本体222的中心汇总到安装头223的上部并排出,绝大多数细硅粉和高氯化合物被滤布阻挡沉积到罐体1的下部，过滤一段时间后，残液中的细硅粉沉积到过滤层221上,形成滤饼层,滤饼层能够起到辅助过滤的作用，从而达到对渣浆进行过滤的技术效果。
进一步的，所述滤芯本体222包括中心管和多个多孔管，多个所述多孔管包围在所述中心管的外部。本实施例中，进一步限定了滤芯本体222，滤芯本体222由一个中心管和多个多孔管组成，多个多孔管的数量为六个，六个多孔管包围在中心管的外围组成复式梅花结构，过滤层221预先对渣浆进行过滤，液体进入多孔管中继续过滤，然后进入中心管，液体逐渐向上流动至罐体1顶部的输出管道14并排出，从而达到逐级过滤的技术效果，可选的，所述烧结滤芯22还包括封堵头，所述封堵头可拆卸连接于所述滤芯本体222远离所述安装头223的一端，能够对滤芯本体222进行封堵，需要进行拆卸时，可以将封堵头拆卸后，将滤芯本体222进行拆卸和更换，从而达到方便拆卸和更换滤芯本体222的技术效果。
进一步的，所述第一安装盘111的一侧设置第一限位环112，所述第二安装盘121的一侧设置第二限位环122，所述花盘21设置在所述第一限位环112和所述第二限位环122之间。本实施例中，进一步限定了第一安装盘111和第二安装盘121，在第一安装盘111的一侧设置突出的第一限位环112，第一限位环112的直径略大于花盘21的直径，使得花盘21能够放置在第一限位环112内部，第二限位环122的直径与第一限位环112的直径相同，使得第一限位环112和第二限位环122能够对花盘21进行夹持和固定，可选的，在花盘21的外侧设置密封条，用于密封限位环与花盘21之间的间隙，从而达到密封的技术效果。
进一步的，所述反冲洗部件包括氮气反吹部件31和氯硅烷冲洗部件32，所述反冲洗管道13包括气体反吹管道131和液体反冲洗管道132，所述气体反吹管道131连接于所述氮气反吹部件31，所述液体反冲洗管道132连接于所述氯硅烷冲洗部件32。本实施例中，进一步限定了反冲洗部件，氯硅烷冲洗部件32主要包括液体冲洗设备，在液体冲洗设备内装载氯硅烷液体，通过将氯硅烷液体通过液体反冲洗管道132从罐体1的上部喷入到罐体1，然后经过花盘21和烧结滤芯22，将烧结滤芯22外表面附着的固体杂质冲洗到罐体1底部，从而达到对罐体1和过滤部件进行反冲洗的作用，然后启动氮气反吹部件31，将氮气通过气体反吹管道131从罐体1的上部通入罐体1，然后经过花盘21和烧结滤芯22，对过滤部件进行反吹操作，从而达到对罐体1和过滤部件进行反吹干燥的技术效果，可选的，所述反冲洗管道13还包括下部反吹管道133，所述下部反吹管道133设置在所述罐体1的下部侧面，所述下部反吹管道133连接于所述氮气反吹部件31，当气体反吹管道131反吹完毕后，关闭气体反吹管道131，开启下部反吹管道133，对罐体1进行吹扫，从而达到使罐体1干燥的技术效果。
进一步的，干燥机4，所述干燥机4连接于所述排渣管道16。本实施例中，增加了干燥机4，干燥机4的作用是对准备外排的杂质进行干燥处理，干燥处理后，再进行装袋或者后续处理。
进一步的，温度检测器5和压力检测器6，所述温度检测器5和所述压力检测器6分别连接于所述罐体1。本实施例中，增加了温度检测器5和压力检测器6，温度检测器5和压力检测器6安装在罐体1上，能够实时监测罐体1内的温度数据和压力数据，从而达到实时监测的技术效果。
以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，包括：
罐体，所述罐体的顶部设置反冲洗管道和输出管道，所述罐体的下部侧面设置进料管道，所述罐体的底部设置排渣管道；
过滤部件，所述过滤部件包括花盘和多个烧结滤芯，所述花盘的外侧固定连接于所述罐体的侧面，所述花盘具有多个安装通孔，多个所述烧结滤芯与多个所述安装通孔一一对应连接；
反冲洗部件，所述反冲洗部件连接于所述反冲洗管道。
2.根据权利要求1所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述烧结滤芯包括过滤层、滤芯本体和安装头，所述安装头的一端连接于所述滤芯本体，所述安装头的侧面连接于所述安装通孔，所述过滤层包裹在所述滤芯本体的外部。
3.根据权利要求2所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述滤芯本体包括中心管和多个多孔管，多个所述多孔管包围在所述中心管的外部。
4.根据权利要求3所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述烧结滤芯还包括封堵头，所述封堵头可拆卸连接于所述滤芯本体远离所述安装头的一端。
5.根据权利要求1所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述罐体包括罐本体和盖体，所述罐本体的上部设置第一安装盘，所述盖体的下部设置第二安装盘，所述花盘设置在所述第一安装盘和所述第二安装盘之间，所述第一安装盘和所述第二安装盘通过固定螺栓连接。
6.根据权利要求5所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述第一安装盘的一侧设置第一限位环，所述第二安装盘的一侧设置第二限位环，所述花盘设置在所述第一限位环和所述第二限位环之间。
7.根据权利要求1至6任一项所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述反冲洗部件包括氮气反吹部件和氯硅烷冲洗部件，所述反冲洗管道包括气体反吹管道和液体反冲洗管道，所述气体反吹管道连接于所述氮气反吹部件，所述液体反冲洗管道连接于所述氯硅烷冲洗部件。
8.根据权利要求7所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，
所述反冲洗管道还包括下部反吹管道，所述下部反吹管道设置在所述罐体的下部侧面，所述下部反吹管道连接于所述氮气反吹部件。
9.根据权利要求1至6任一项所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，还包括：
干燥机，所述干燥机连接于所述排渣管道。
10.根据权利要求1至6任一项所述的一种氯硅烷渣浆处理装置，其特征在于，还包括：
温度检测器和压力检测器，所述温度检测器和所述压力检测器分别连接于所述罐体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321990357.XU CN220460078U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 一种氯硅烷渣浆处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321990357.XU CN220460078U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 一种氯硅烷渣浆处理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN220460078U true CN220460078U (zh) | 2024-02-09 |
Family
ID=89798844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321990357.XU Active CN220460078U (zh) | 2023-07-27 | 2023-07-27 | 一种氯硅烷渣浆处理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN220460078U (zh) |
-
2023
- 2023-07-27 CN CN202321990357.XU patent/CN220460078U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN210473106U (zh) | 一种带搅拌的三元前驱体小颗粒的过滤浓缩装置 | |
| CN209612365U (zh) | 一种去除熔盐中固体夹杂物的过滤净化装置 | |
| CN106552452A (zh) | Mto急冷水与水洗水净化处理装置 | |
| CN107758673A (zh) | 氯硅烷净化回收设备及方法 | |
| CN220460078U (zh) | 一种氯硅烷渣浆处理装置 | |
| CN211273771U (zh) | 一种排干渣式反冲洗过滤器 | |
| CN115970460B (zh) | 一种烟气处理装置及处理方法 | |
| CN215161212U (zh) | 锅炉用水处理设备 | |
| CN210699050U (zh) | 一种废液回收处理装置 | |
| CN107935226A (zh) | 含铅废水预处理一体化装置 | |
| CN204469549U (zh) | 高效脱硫废液提盐回收装置 | |
| CN104645830B (zh) | 高效脱硫废液提盐回收装置 | |
| CN209922908U (zh) | 一种多晶硅冷氢化流化床反应装置 | |
| CN219355526U (zh) | 一种固体催化剂分离装置 | |
| CN208648962U (zh) | 一种白酒生产用废水处理装置 | |
| CN208287606U (zh) | 一种微孔精密过滤机 | |
| CN112007454A (zh) | 一种化工用水洗式废气除尘装置 | |
| CN207391015U (zh) | 氯硅烷净化回收设备 | |
| CN105217576A (zh) | 氟化氢制备工艺中过滤洗涤控制方法 | |
| CN219399206U (zh) | 陶瓷过滤机酸洗装置 | |
| CN219272320U (zh) | 一种新型高温高压黑水固液分离装置 | |
| CN219681841U (zh) | 一种碘化铯提纯回收装置 | |
| CN214582608U (zh) | 一种急冷塔用喷淋水过滤系统 | |
| CN219722190U (zh) | 一种石灰浆制备用除杂装置 | |
| CN208553325U (zh) | 新型过滤装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |