CN220454731U - 一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪 - Google Patents

一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪 Download PDF

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葛荣胜
渠美龙
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Abstract

本实用新型属于炉温测试仪技术领域,尤其为一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体,所述炉壁本体的内壁固定连接有安装座,所述安装座内设置有多位置温度便捷检测机构;防护箱通过限位板滑动卡接在防护壳体的内壁一侧,拆装组件设置在防护箱上,进而通过启动气缸可在推板的作用下,带动防护箱在防护壳体的内部进行横向的运动,因此将炉温测试仪放置在防护箱内部,使得炉温测试仪可便捷地对横向的不同位置进行实时的检测,使得检测的范围更佳的全面,通过防护盖板,可对炉温测试仪形成第一层的防护,而将炉温测试仪放置在防护箱内后,通过盖板卡接完成后,通过导热棒的导热,使得炉温测试仪的检测精度更佳。

Description

一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪
技术领域
本实用新型属于炉温测试仪技术领域,具体涉及一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪。
背景技术
在进行真空镀膜时需要使用到炉温测试仪,炉温跟踪仪以随量测物进入炉内的测温方式,精确快速取得并记录监控炉内温度变化情形,使用者可藉由量测数据、调整、监控炉内各区间温度,进而达到炉子温度环境的最佳控制;在中国专利CN218955936U中公开了一种炉温测试仪,其通过设置电机、齿轮、齿板、滑槽和滑槽使得齿板可以在齿轮的带动下上下运动,从而实现升降的作用,这样方便了操作人员在实际使用中测量炉内不同高度以及多个部位的温度,增强了装置的实用性;
从上述可知,在通过炉温测试仪对炉温进行温度检测时,其通过齿轮的转动可带动炉温测试仪测量炉内不同高度以及多个部位的温度,增强了装置的实用性,而该方案不足之处在于,对于炉内的温度测试,只能对不同高度的温度进行测试,而对于每层高度的横向的不同位置无法进行检测,因此当真空镀膜机运转时,无法对炉内周边的温度进行便捷的检测,从而导致检测的数据不够全面。
为解决上述问题,本申请中提出一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪。
实用新型内容
为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,能够通过增加的多位置温度便捷检测机构,可以解决只能对不同高度的温度进行测试,而对于每层高度的横向的不同位置无法进行检测,因此当真空镀膜机运转时,无法对炉内周边的温度进行便捷的检测,从而导致检测的数据不够全面的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体,所述炉壁本体的内壁固定连接有安装座,所述安装座内设置有多位置温度便捷检测机构;
所述多位置温度便捷检测机构包括驱动电机、螺纹丝杆、螺纹套板、安装侧板、调节组件和拆装组件,所述驱动电机安装在所述安装座的顶部,所述螺纹丝杆转动连接在所述安装座的内壁两端,且所述螺纹丝杆的一端与所述驱动电机的输出端固定连接,所述螺纹套板螺纹套接在所述螺纹丝杆上,所述安装侧板的一侧通过与所述螺纹套板的外壁固定连接滑动卡接在所述安装座的一侧,所述调节组件设置在所述安装侧板的另一侧,所述拆装组件设置在所述调节组件上。
作为本实用新型一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪优选的,所述调节组件包括防护壳体、气缸、推板和防护箱,所述防护壳体固定连接在所述安装侧板的另一侧,所述气缸安装在所述防护壳体的内壁一端,所述推板的一侧与所述气缸的输出端固定连接,所述防护箱的外壁一侧与所述推板的另一侧固定连接,且所述防护箱的外壁两侧固定连接有限位板,所述防护箱通过所述限位板滑动卡接在所述防护壳体的内壁一侧,所述拆装组件设置在所述防护箱上。
作为本实用新型一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪优选的,所述拆装组件包括防护盖板、炉温测试仪、连接头和导热棒,所述防护盖板通过螺栓安装在所述防护壳体的一侧,所述炉温测试仪安装在所述防护箱的内部,所述连接头安装在所述炉温测试仪的一侧,所述导热棒的一端与所述连接头相卡接,所述导热棒的另一端依次滑动贯穿所述防护箱和所述防护盖板。
作为本实用新型一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪优选的,所述安装侧板的一侧对称固定连接有导向板,所述炉壁本体的内壁对称开设有与所述导向板相匹配的导向槽。
作为本实用新型一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪优选的,所述限位板的一端滑动卡接在所述防护壳体的内壁两侧。
作为本实用新型一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪优选的,所述防护盖板的一侧开设有用于所述导热棒滑动的限位槽。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、防护箱通过限位板滑动卡接在防护壳体的内壁一侧,拆装组件设置在防护箱上,进而通过启动气缸可在推板的作用下,带动防护箱在防护壳体的内部进行横向的运动,因此将炉温测试仪放置在防护箱内部,使得炉温测试仪可便捷的对横向的不同位置进行实时的检测,使得检测的范围更佳的全面;
2、导热棒的一端与连接头相卡接,导热棒的另一端依次滑动贯穿防护箱和防护盖板,进而通过防护盖板,可对炉温测试仪形成第一层的防护,而将炉温测试仪放置在防护箱内后,通过盖板卡接完成后,可将导热棒可穿过防护箱与连接头相连接,从而通过导热棒的导热,使得炉温测试仪的检测精确度更佳,且拆装更佳便捷。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型中螺纹丝杆的结构示意图;
图3为本实用新型中防护壳体的结构示意图;
图4为本实用新型中图3A处放大的结构示意图。
图中:
1、炉壁本体;11、导向槽;
2、安装座;
3、多位置温度便捷检测机构;31、驱动电机;32、螺纹丝杆;33、螺纹套板;34、安装侧板;341、导向板;35、调节组件;351、防护壳体;352、气缸;353、推板;354、防护箱;3541、限位板;36、拆装组件;361、防护盖板;3611、限位槽;362、炉温测试仪;363、连接头;364、导热棒。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
如图1所示;
一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体1,炉壁本体1的内壁固定连接有安装座2,安装座2内设置有多位置温度便捷检测机构3。
本实施方案中:在一般的情况下,中国专利CN218955936U中公开了一种炉温测试仪,其通过炉温测试仪对炉温进行温度检测时,其通过齿轮的转动可带动炉温测试仪测量炉内不同高度以及多个部位的温度,增强了装置的实用性,而该方案不足之处在于,对于炉内的温度测试,只能对不同高度的温度进行测试,而对于每层高度的横向的不同位置无法进行检测,因此当真空镀膜机运转时,无法对炉内周边的温度进行便捷的检测,从而导致检测的数据不够全面,进而通过增加的多位置温度便捷检测机构3,可对炉内横向的位置进行便捷的检测,因此可提升检测的范围,进而实用性得到有效的提升。
如图1-图4所示;
基于现有的炉温测试仪,能够通过增加的多位置温度便捷检测机构3,可以解决只能对不同高度的温度进行测试,而对于每层高度的横向的不同位置无法进行检测,因此当真空镀膜机运转时,无法对炉内周边的温度进行便捷的检测,从而导致检测的数据不够全面的问题。
进一步而言:
结合上述内容,为了对炉内横向的位置进行便捷的检测,因此可提升检测的范围,进而实用性得到有效的提升,安装座2内设置有多位置温度便捷检测机构3,多位置温度便捷检测机构3包括驱动电机31、螺纹丝杆32、螺纹套板33、安装侧板34、调节组件35和拆装组件36,驱动电机31安装在安装座2的顶部,螺纹丝杆32转动连接在安装座2的内壁两端,且螺纹丝杆32的一端与驱动电机31的输出端固定连接,螺纹套板33螺纹套接在螺纹丝杆32上,安装侧板34的一侧通过与螺纹套板33的外壁固定连接滑动卡接在安装座2的一侧,调节组件35设置在安装侧板34的另一侧,拆装组件36设置在调节组件35上。
本实施方案中:为了使得炉温测试仪对炉内的温度检测更佳全面,因驱动电机31安装在安装座2的顶部,螺纹丝杆32转动连接在安装座2的内壁两端,且螺纹丝杆32的一端与驱动电机31的输出端固定连接,螺纹套板33螺纹套接在螺纹丝杆32上,安装侧板34的一侧通过与螺纹套板33的外壁固定连接滑动卡接在安装座2的一侧,调节组件35设置在安装侧板34的另一侧,拆装组件36设置在调节组件35上,进而通过启动驱动电机31可带动螺纹丝杆32转动,进而带动螺纹套板33在螺纹丝杆32上进行上下的位置移动,同步的当螺纹套板33位置移动时,可带动安装侧板34对调节组件35和拆装组件36的位置进行同步的移动,通过调节组件35可带动拆装组件36进行横向的位置移动,拆装组件36则保证了炉温测试仪拆装的便捷性。
更进一步而言:调节组件35包括防护壳体351、气缸352、推板353和防护箱354,防护壳体351固定连接在安装侧板34的另一侧,气缸352安装在防护壳体351的内壁一端,推板353的一侧与气缸352的输出端固定连接,防护箱354的外壁一侧与推板353的另一侧固定连接,且防护箱354的外壁两侧固定连接有限位板3541,防护箱354通过限位板3541滑动卡接在防护壳体351的内壁一侧,拆装组件36设置在防护箱354上。
本实施方案中:为了使得炉温测试仪测试的位置更佳全面,因防护壳体351固定连接在安装侧板34的另一侧,气缸352安装在防护壳体351的内壁一端,推板353的一侧与气缸352的输出端固定连接,防护箱354的外壁一侧与推板353的另一侧固定连接,且防护箱354的外壁两侧固定连接有限位板3541,防护箱354通过限位板3541滑动卡接在防护壳体351的内壁一侧,拆装组件36设置在防护箱354上,进而通过启动气缸352可在推板353的作用下,带动防护箱354在防护壳体351的内部进行横向的运动,因此将炉温测试仪362放置在防护箱354内部,使得炉温测试仪362可便捷的对横向的不同位置进行实时的检测,使得检测的范围更佳的全面。
更进一步而言:拆装组件36包括防护盖板361、炉温测试仪362、连接头363和导热棒364,防护盖板361通过螺栓安装在防护壳体351的一侧,炉温测试仪362安装在防护箱354的内部,连接头363安装在炉温测试仪362的一侧,导热棒364的一端与连接头363相卡接,导热棒364的另一端依次滑动贯穿防护箱354和防护盖板361。
本实施方案中:由于炉温测试仪362长时间处于高温环境,因此为了便于炉温测试仪362的便捷更换,因防护盖板361通过螺栓安装在防护壳体351的一侧,炉温测试仪362安装在防护箱354的内部,连接头363安装在炉温测试仪362的一侧,导热棒364的一端与连接头363相卡接,导热棒364的另一端依次滑动贯穿防护箱354和防护盖板361,进而通过防护盖板361,可对炉温测试仪362形成第一层的防护,而将炉温测试仪362放置在防护箱354内后,通过盖板卡接完成后,可将导热棒364可穿过防护箱354与连接头363相连接,从而通过导热棒364的导热,使得炉温测试仪362的检测精确度更佳,且拆装更佳便捷。
应当理解的是:安装侧板34的一侧对称固定连接有导向板341,炉壁本体1的内壁对称开设有与导向板341相匹配的导向槽11,限位板3541的一端滑动卡接在防护壳体351的内壁两侧,防护盖板361的一侧开设有用于导热棒364滑动的限位槽3611。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,包括炉壁本体(1),所述炉壁本体(1)的内壁固定连接有安装座(2),其特征在于:所述安装座(2)内设置有多位置温度便捷检测机构(3);
所述多位置温度便捷检测机构(3)包括驱动电机(31)、螺纹丝杆(32)、螺纹套板(33)、安装侧板(34)、调节组件(35)和拆装组件(36),所述驱动电机(31)安装在所述安装座(2)的顶部,所述螺纹丝杆(32)转动连接在所述安装座(2)的内壁两端,且所述螺纹丝杆(32)的一端与所述驱动电机(31)的输出端固定连接,所述螺纹套板(33)螺纹套接在所述螺纹丝杆(32)上,所述安装侧板(34)的一侧通过与所述螺纹套板(33)的外壁固定连接滑动卡接在所述安装座(2)的一侧,所述调节组件(35)设置在所述安装侧板(34)的另一侧,所述拆装组件(36)设置在所述调节组件(35)上。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述调节组件(35)包括防护壳体(351)、气缸(352)、推板(353)和防护箱(354),所述防护壳体(351)固定连接在所述安装侧板(34)的另一侧,所述气缸(352)安装在所述防护壳体(351)的内壁一端,所述推板(353)的一侧与所述气缸(352)的输出端固定连接,所述防护箱(354)的外壁一侧与所述推板(353)的另一侧固定连接,且所述防护箱(354)的外壁两侧固定连接有限位板(3541),所述防护箱(354)通过所述限位板(3541)滑动卡接在所述防护壳体(351)的内壁一侧,所述拆装组件(36)设置在所述防护箱(354)上。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述拆装组件(36)包括防护盖板(361)、炉温测试仪(362)、连接头(363)和导热棒(364),所述防护盖板(361)通过螺栓安装在所述防护壳体(351)的一侧,所述炉温测试仪(362)安装在所述防护箱(354)的内部,所述连接头(363)安装在所述炉温测试仪(362)的一侧,所述导热棒(364)的一端与所述连接头(363)相卡接,所述导热棒(364)的另一端依次滑动贯穿所述防护箱(354)和所述防护盖板(361)。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述安装侧板(34)的一侧对称固定连接有导向板(341),所述炉壁本体(1)的内壁对称开设有与所述导向板(341)相匹配的导向槽(11)。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述限位板(3541)的一端滑动卡接在所述防护壳体(351)的内壁两侧。
6.根据权利要求3所述的真空镀膜设备用耐腐蚀炉温测试仪,其特征在于:所述防护盖板(361)的一侧开设有用于所述导热棒(364)滑动的限位槽(3611)。
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