CN220453447U - 一种液体供应装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种液体供应装置，涉及液体供应技术领域。装置包括：吨桶、导管、补液罐、泵；补液罐包括进口、出口，进口的位置比出口远离地心；吨桶通过导管连接补液罐的进口，吨桶用于向补液罐补充液体；补液罐的出口与泵、设备依次连接，泵用于从补液罐抽取液体至设备。本实用新型中，从吨桶向补液罐补充液体，再用泵从补液罐抽取液体至设备，更换吨桶过程中，可用泵从补液罐抽取液体至设备，不会造成临时性断供。更换吨桶过程中，连接吨桶和补液罐的进口的导管内进入空气，吨桶更换完成后，导管内进入的空气及吨桶内的液体一起流入补液罐，进口的位置比出口远离地心，泵从补液罐抽取靠近出口的液体至设备，不会影响设备的正常运行。

Description

一种液体供应装置

技术领域

本实用新型涉及液体供应技术领域，特别是涉及一种液体供应装置。

背景技术

液体供应技术用于供应液体，其中，液体化学品供应技术被广泛用于半导体行业、光伏行业。

现有技术中，主要采用吨桶供应液体化学品的方式，当吨桶中液体化学品用光后，需要及时进行吨桶更换。

但更换吨桶的过程中存在临时性断供的问题，并且，更换吨桶时，需要拆下连接吨桶和设备之间的导管，导致导管内进入空气，吨桶更换完成后，导管内进入的空气以及吨桶中的液体一起流入设备，进而影响设备的正常运行。

实用新型内容

本实用新型提供一种液体供应装置，旨在解决现有技术吨桶更换过程中存在临时性断供及连接吨桶和设备之间的导管内进入空气进而影响设备正常运行的问题。

本实用新型提供一种液体供应装置，所述装置包括：吨桶、导管、补液罐、泵；

所述补液罐包括进口、出口，所述进口的位置比所述出口远离地心；

所述吨桶通过所述导管连接所述补液罐的进口，所述吨桶用于向所述补液罐补充液体；

所述补液罐的出口与所述泵、设备依次连接，所述泵用于从所述补液罐抽取液体至所述设备。

本实用新型中，补液罐可以存储液体，从而当更换吨桶时，仍可用泵从补液罐抽取液体至设备，不会造成临时性断供。此外，补液罐的进口的位置比出口远离地心，即便是更换吨桶过程中，连接吨桶和补液罐的进口的导管内进入空气，吨桶更换完成后，导管内进入的空气以及吨桶内的液体一起从补液罐的进口，流入补液罐，由于重力作用，在补液罐中气体更远离地心，液体更靠近地心，且补液罐的出口更靠近地心，也就是，液体更靠近出口，而气体更远离出口，补液罐的出口与泵连接，泵从补液罐抽取液体至设备的过程中，主要是将更靠近出口的液体抽入设备，而基本不会将远离出口的空气抽入设备，不会影响设备的正常运行。

可选的，所述装置还包括第一阀门、第二阀门，所述第一阀门位于所述吨桶与所述补液罐的进口之间，所述第二阀门位于所述补液罐的出口与所述泵之间。

可选的，更换所述吨桶的过程中，所述第一阀门关闭。

可选的，在接收到液体供应信号的情况下，所述第二阀门开启，所述液体供应信号为所述设备需要供应液体时所发出的信号；在未接收到所述液体供应信号的情况下，所述第二阀门关闭。

可选的，在接收到所述液体供应信号的情况下，所述第一阀门开启；在未接收到所述液体供应信号的情况下，所述第一阀门关闭。

可选的，所述第一阀门、所述第二阀门为电磁气动阀。

可选的，所述补液罐为透明的容器，所述补液罐上标有刻度。

可选的，所述泵为隔膜泵。

可选的，所述装置还包括清洗管路、排出管路；

所述清洗管路连接所述补液罐，所述清洗管路上设置有第三阀门，所述清洗管路用于向所述补液罐中通入清洗介质，以清洗所述补液罐；

所述排出管路连接所述补液罐，所述排出管路上设置有第四阀门，所述排出管路用于排出所述清洗所述补液罐后的废液。

可选的，所述排出管路还用于从所述补液罐中收集所述液体，以作为液体样品。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本实用新型实施例中的一种液体供应装置的结构示意图。

附图标记说明：

11-吨桶，23-导管，12-补液罐，13-泵，14-进口，15-出口，16-第一阀门，17-第二阀门，18-清洗管路，19-第三阀门，20-排出管路，21-第四阀门，22-设备。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。并且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第二对象可以是一个。

在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1，图1示出了本实用新型实施例中的一种液体供应装置的结构示意图，本实用新型实施例中的一种液体供应装置包括：吨桶11、导管23、补液罐12、泵13；补液罐12包括进口14、出口15，进口14的位置比出口15远离地心；吨桶11通过导管23连接补液罐12的进口14，吨桶11用于向补液罐12补充液体；补液罐12的出口15与泵13、设备22依次连接，泵13用于从补液罐12抽取液体至设备22。

实用新型人发现，原有的更换吨桶11过程中，更换吨桶11时存在临时性断供的问题，并且更换吨桶11时需要拆下连接吨桶11和设备22之间的导管23，导致导管23内进入空气，吨桶11更换完成后，导管23内进入的空气以及吨桶11中的液体一起流入设备22，影响设备22的正常运行。针对该问题，实用新型人创造性的增加补液罐12，吨桶11连接补液罐12的进口14，从吨桶11向补液罐12补充液体，补液罐12的出口15与泵13、设备22依次连接，用泵13从补液罐12抽取液体至设备22，补液罐12可以存储液体，从而当更换吨桶11时，仍可用泵13从补液罐12抽取液体至设备22，不会造成临时性断供，此外，补液罐12的进口14的位置比出口15远离地心，即便是更换吨桶11过程中，连接吨桶11和补液罐12的进口14的导管23内进入空气，吨桶11更换完成后，导管23内进入的空气以及吨桶11内的液体一起从补液罐12的进口14流入补液罐12，由于重力作用，在补液罐12中气体更远离地心，液体更靠近地心，且补液罐12的出口15更靠近地心，也就是，液体更靠近出口15，而气体更远离出口15，补液罐12的出口15与泵13连接，泵13从补液罐12抽取液体至设备22的过程中，主要是将更靠近出口15的液体抽入设备22，而基本不会将远离出口15的空气抽入设备22，不会影响设备22的正常运行。可选的，补液罐12的进口设置在补液罐12的顶端，补液罐12的出口设置在补液罐12的底端，可以使得补液罐中留存液体较少的情况下，泵13不会抽取液体上方的空气至设备22。

本实用新型实施例中的液体包括液体化学品，如双氧水、硫酸、氨水、稀释剂、显影剂、溶剂等，设备22可以为光伏行业中的制绒设备、碱抛设备，此处不做具体限定。例如，双氧水用于清洗设备对硅晶片进行清洗。

地心，是地核的俗称，是指地球的中心部分。

泵13，是输送液体或使液体增压的机械。泵13的抽力与泵13的功率、泵体密封性等有关，对于泵13的抽力的大小，此处不做限定。

导管23，是指用钢铁、塑胶或其他化学制品做成，以用来传输物质的管子。

可选的，装置还包括第一阀门16、第二阀门17，第一阀门16位于吨桶11与补液罐12的进口14之间，第二阀门17位于补液罐12的出口15与泵13之间。

增加第一阀门16便于控制吨桶11与补液罐12之间的管路开闭，从而控制吨桶11是否向补液罐12补充液体，同理，增加第二阀门17便于控制补液罐12与泵13之间的管路开闭，从而控制补液罐12是否向设备22补充液体。具体地，第一阀门16位于连接吨桶11和补液罐12的进口14的导管23上。另外，安装第一阀门16和第二阀门17还便于补液罐12的维修和更换。

可选的，更换吨桶11的过程中，第一阀门16关闭。更换吨桶11的过程中，需要拆下连接吨桶11和补液罐12的进口14的导管23，导致导管23内进入空气。第一阀门16关闭，可以隔绝大部分的空气，避免大部分的空气从导管23进入补液罐12中又无法排出，影响更换后的吨桶11向补液罐12补充液体。

可选的，在接收到液体供应信号的情况下，第二阀门17开启，液体供应信号为设备22需要供应液体时所发出的信号；在未接收到液体供应信号的情况下，第二阀门17关闭。

第二阀门17的开启和关闭和液体供应信号一致运行的情况下，可以避免泵13从补液罐12抽取液体至设备22不及时或者强制输送的情况。具体地，在接收到液体供应信号的情况下，第二阀门17开启，可以使得泵13能够及时从补液罐12抽取液体至设备22；在未接收到液体供应信号的情况下，第二阀门17关闭，会避免强制补充液体至设备22的情况，从而，第二阀门17的开启和关闭和液体供应信号一致运行可以避免对设备22的正常运行造成影响。可选的，泵13和液体供应信号一致运行，在接收到液体供应信号的情况下，第二阀门17开启，泵13开启，使得泵13能够及时从补液罐12抽取液体至设备22；在未接收到液体供应信号的情况下，第二阀门17关闭，泵13关闭，避免第二阀门17关闭，泵13无法抽取液体，损失多余的能量消耗。

可选的，在接收到液体供应信号的情况下，第一阀门16开启；在未接收到液体供应信号的情况下，第一阀门16关闭。

在第二阀门17的开启和关闭和液体供应信号一致运行的情况下，第一阀门16的开启和关闭和液体供应信号一致运行，可以避免吨桶11向补液罐12输送液体不及时或者使得补液罐12中液体过多、压力过大的情况，具体的，在接收到液体供应信号的情况下，第一阀门16开启，可以使得吨桶11及时向补液罐12补充液体，进而使得补液罐12有足够的液体补充到设备22，使得设备22正常运行；在未接收到液体供应信号的情况下，第一阀门16关闭，会避免时间长的情况下导致补液罐12中液体过多、压力过大，从而，第一阀门16的开启和关闭和液体供应信号一致运行可以避免对设备22的正常运行造成影响。

可选的，第一阀门16、第二阀门17为电磁气动阀。电磁气动阀具有响应速度快的优点，在接收到液体供应信号的情况下，利用压缩空气带动阀门工作，可以迅速打开第一阀门16、第二阀门17，迅速打开第一阀门16使得吨桶11及时向补液罐12补充液体，迅速打开第二阀门17使得泵13能够及时从补液罐12抽取液体至设备22。在液体供应信号停止、未接收到液体供应信号的情况下，可以迅速关闭第一阀门16、第二阀门17，迅速关闭第一阀门16，吨桶11停止向补液罐12补充液体，会避免补液罐12中液体过多、压力过大，迅速关闭第二阀门17，补液罐12停止向设备22补充液体，会避免强制补充液体至设备22的情况。

可选的，补液罐12为透明的容器，补液罐12上标有刻度。补液罐12为透明容器且补液罐12上标有刻度可以便于查看补液罐12中剩余的液体的量，从而避免补液罐12中的液体用光后影响设备22的正常运行。具体地，可以根据现场工艺情况制定一个液体体积数值，当看到补液罐12中的液体体积少于该数值时，查看吨桶11中的液体剩余的量，查看吨桶11是否需要进行更换，对补液罐12进行液体补充。例如，当看到补液罐12中的液体体积小于补液罐的十分之一或者小于1L时，可以查看吨桶11中的液体剩余多少，当吨桶11中的液体用光的情况下，及时更换吨桶11。

可选的，补液罐12的形状可以为圆柱或长方体，规则的圆柱或长方体结构可以便于刻度标记，另外，采用长方体结构，可以减少补液罐12所占的空间。

可选的，泵13为隔膜泵13。隔膜泵13具有对输送物料损伤小、输送物料种类多的优点，隔膜泵13可以输送低粘度物料或高粘度物料，应用广泛。通常吨桶11供应液体的装置中采用隔膜泵13可以良好地运输液体化学品，对液体化学品的损伤小，基本不会对液体化学品进行搅动。隔膜泵13还可以用于控制补液罐12向设备22补充液体的流量，例如，根据设备22的运行需要设置流量的值，流量的值的范围可以为大于等于60mL/s，小于等于80mL/s。可以根据流量以及换吨桶11的时间选择补液罐12的大小，例如，当流量为60mL/s，换吨桶11的时间需要2min时，补液罐12需要向设备22补充7.2L，为了确保补液罐12中剩余一定的液体，可以选择10L的补液罐12，具体可以根据现场工艺情况确定。

可选的，装置还包括清洗管路18、排出管路20；清洗管路18连接补液罐12，清洗管路18上设置有第三阀门19，清洗管路18用于向补液罐12中通入清洗介质，以清洗补液罐12；排出管路20连接补液罐12，排出管路20上设置有第四阀门21，排出管路20用于排出清洗补液罐12后的废液。

连接清洗管路18便于清洗补液罐12，避免补液罐12中积累杂质，影响液体的纯度。清洗管路18上设置有第三阀门19可以便于控制清洗管路18的开闭。清洗介质可以为纯水，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域。清洗介质也可以为蒸馏水、纯净水等，具体根据设备的洁净要求程度确定。清洗补液罐12后的废液从排出管路20排出，从而不影响补液罐12向设备22补充液体。排出管路20上设置有第四阀门21可以便于控制排出管路20的开闭。可选的，第三阀门19和第四阀门21可以为手动阀门，由人力来操纵阀门动作。清洗补液罐12时，第一阀门16和第二阀门17、泵13均关闭。清洗补液罐12的动作过程可以为：第一阀门16和第二阀门17、泵13关闭，第三阀门19开启，清洗管路18向补液罐12中通入清洗杂质，补液罐12清洗完成后，第三阀门19关闭，第四阀门21打开，将清洗补液罐12后的废液排出，待废液排出完毕，第四阀门21关闭。

可选的，在补液罐12中有气体的情况下，可以从补液罐12上连接清洗管路18的接口处拆下清洗管路18，将该接口作为排气口排出气体，防止补液罐12中有较多的气体。

可选的，排出管路20还用于从补液罐12中收集液体，以作为液体样品。排出管路20还用于从补液罐12中收集液体，实际生产过程中，针对液体化学品，可能会选用不同厂家或者不同批次的液体化学品，为了判断其是否达到设备22运行的合格标准，需要取样进行检测，检测结果为合格方能使用，安装排出管路20可以便于收集液体以作为液体样品。排出管路20从补液罐12中收集液体，以作为液体样品的动作过程可以为：第一阀门16开启，吨桶11中的液体流入补液罐12，打开第四阀门21，收集液体完成后，第四阀门21关闭，第一阀门16关闭。可选的，排出管路20下方可以分为两个管路，一个管路用于排出清洗补液罐12后的废液，一个管路用于从补液罐12中收集液体，以作为液体样品，并分别在两个管路上设置阀门，便于控制管路的开闭。可选的，排出管路20的下方分为两个管路的情况下，其中用于从补液罐12中收集液体的管路上的阀门可以控制流出液体的流量大小，液体样品的用量一般较少，在阀门可以控制流出液体的流量大小的情况下，可以便于控制流出的液体的量，避免流出过多液体造成浪费。

针对本实用新型的一种液体供应装置，其动作过程如下：

设备22发出液体供应信号，第一阀门16、第二阀门17、泵13开启，吨桶11向补液罐12补充液体，泵13从补液罐12抽取液体至设备22，在需要更换吨桶11的情况下，手动关闭第一阀门16，拆下连接吨桶11和补液罐12的进口14的导管23，更换新的吨桶11，再将导管23连接到新的吨桶11，更换吨桶11的过程中，泵13保持从补液罐12抽取液体至设备22，更换吨桶11完成后，手动打开第一阀门16，补充到设备22的液体满足设备22的需求后，设备22停止发出液体供应信号，第一阀门16、第二阀门17、泵13关闭。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述，但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下，在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本实用新型的保护之内。

Claims (10)

1.一种液体供应装置，其特征在于，包括：吨桶、导管、补液罐、泵；

所述补液罐包括进口、出口，所述进口的位置比所述出口远离地心；

所述吨桶通过所述导管连接所述补液罐的进口，所述吨桶用于向所述补液罐补充液体；

所述补液罐的出口与所述泵、设备依次连接，所述泵用于从所述补液罐抽取液体至所述设备。

2.根据权利要求1所述的液体供应装置，其特征在于，还包括第一阀门、第二阀门，所述第一阀门位于所述吨桶与所述补液罐的进口之间，所述第二阀门位于所述补液罐的出口与所述泵之间。

3.根据权利要求2所述的液体供应装置，其特征在于，更换所述吨桶的过程中，所述第一阀门关闭。

4.根据权利要求2或3所述的液体供应装置，其特征在于，在接收到液体供应信号的情况下，所述第二阀门开启，所述液体供应信号为所述设备需要供应液体时所发出的信号；在未接收到所述液体供应信号的情况下，所述第二阀门关闭。

5.根据权利要求4所述的液体供应装置，其特征在于，在接收到所述液体供应信号的情况下，所述第一阀门开启；在未接收到所述液体供应信号的情况下，所述第一阀门关闭。

6.根据权利要求2或3所述的液体供应装置，其特征在于，所述第一阀门、所述第二阀门为电磁气动阀。

7.根据权利要求1至3中任一所述的液体供应装置，其特征在于，所述补液罐为透明的容器，所述补液罐上标有刻度。

8.根据权利要求1至3中任一所述的液体供应装置，其特征在于，所述泵为隔膜泵。

9.根据权利要求1至3中任一所述的液体供应装置，其特征在于，还包括清洗管路、排出管路；

所述清洗管路连接所述补液罐，所述清洗管路上设置有第三阀门，所述清洗管路用于向所述补液罐中通入清洗介质，以清洗所述补液罐；

所述排出管路连接所述补液罐，所述排出管路上设置有第四阀门，所述排出管路用于排出所述清洗所述补液罐后的废液。

10.根据权利要求9所述的液体供应装置，其特征在于，所述排出管路还用于从所述补液罐中收集所述液体，以作为液体样品。