CN220452846U - 一种气体流量控制阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种气体流量控制阀，该气体流量控制阀包括阀体、左侧接头和右侧接头，通过设置与阀体两端可拆卸式固定的左侧接头和右侧接头，便于与其他部件进行连接，同时便于进行维护检修操作；通过在左侧接头远离阀体的一端设置左侧弧形凸起、在右侧接头远离阀体的一端设置右侧弧形凸起，便于与其他部件进行连接，同时保证密封效果；通过在阀体内设置依次连通且共轴设置的第一流通槽、第二流通槽和第三流通槽，便于气体在阀体内流动，同时有利于对气体流量进行控制；通过在阀体的上表面上设置连接槽，并在连接槽的槽底面上设置与第三流通槽连通的进气连接口和与第四流通槽连通的出气连接口，便于通过电磁阀等电器元件对气体进行输出控制。

Description

一种气体流量控制阀

技术领域

本实用新型涉及阀门技术领域，尤其涉及一种气体流量控制阀。

背景技术

阀门是流体输送系统中的控制部件，用来开闭管路、控制流向等的管路附件，不同的阀门可以控制输送不同的流体。

在半导体领域，很多工艺过程中都需要对使用到的气体流量进行控制，以保证工艺生产的质量，这就需要使用到气体流量阀。传统的流量阀安装时，大多通过壳体两端通口处固定设置的法兰进行安装，由于法兰对壳体通口外部空间占据较大，法兰难以拆离，不便于与其他部件进行连接，且连接处的密封效果无法保证，影响了半导体工艺生产的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种气体流量控制阀。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种气体流量控制阀，包括阀体、左侧接头和右侧接头，左侧接头与阀体的左端可拆卸式固定，右侧接头与阀体的右端可拆卸式固定；左侧接头内设有贯通左侧接头的左侧进气通道，左侧接头远离阀体的一端位于左侧进气通道外周的位置设有左侧弧形凸起，左侧弧形凸起与左侧进气通道共轴设置，左侧弧形凸起自远离左侧进气通道的一端至靠近左侧进气通道的一端截面积逐渐增大，左侧弧形凸起的最大外径小于左侧接头远离阀体一端的外径；右侧接头内设有贯通右侧接头的右侧出气通道，右侧接头远离阀体的一端位于右侧出气通道外周的位置设有右侧弧形凸起，右侧弧形凸起与右侧出气通道共轴设置，右侧弧形凸起自远离右侧出气通道的一端至靠近右侧出气通道的一端截面积逐渐增大，右侧弧形凸起的最大外径小于右侧接头远离阀体一端的外径；阀体内设有第一流通槽、第二流通槽、第三流通槽和第四流通槽，阀体的上表面上设有连接槽，连接槽的槽底面上设有进气连接口和出气连接口，左侧进气通道、第一流通槽、第二流通槽、第三流通槽、第四流通槽、右侧出气通道共轴设置，左侧进气通道、第一流通槽、第二流通槽和第三流通槽依次连通，第三流通槽的另一端与进气连接口连通，第四流通槽的一端与出气连接口连通，第四流通槽的另一端与右侧出气通道连通。

较佳地，左侧进气通道靠近左侧弧形凸起的位置设有左侧圆锥面，左侧进气通道通过左侧圆锥面与左侧弧形凸起连接，左侧圆锥面自靠近左侧进气通道的一端至靠近左侧弧形凸起的一端内径逐渐增大，左侧圆锥面的最小内径等于左侧进气通道的内径，左侧圆锥面的最大内径等于左侧弧形凸起的最小内径。

进一步地，右侧出气通道靠近右侧弧形凸起的位置设有右侧圆锥面，右侧出气通道通过右侧圆锥面与右侧弧形凸起连接，右侧圆锥面自靠近右侧出气通道的一端至靠近右侧弧形凸起的一端内径逐渐增大，右侧圆锥面的最小内径等于右侧出气通道的内径，右侧圆锥面的最大内径等于右侧弧形凸起的最小内径。

较佳地，第二流通槽包括第一部分和第二部分，第一部分的一端与第一流通槽连通，第一部分的另一端与第二部分连通，第二部分的另一端与第三流通槽连通，第二部分自靠近第一部分的一端至远离第一部分的一端内径逐渐减小，第一部分的内径小于第一流通槽的内径，第一部分的内径不小于第二部分的最大内径，第二部分的最小内径不小于第三流通槽的最大内径。

进一步地，阀体的上表面上与第一流通槽对应的位置设有第一传感器安装孔，第一传感器安装孔与第一流通槽连通，阀体的上表面上与第一部分对应的位置设有第二传感器安装孔，第二传感器安装孔与第一部分连通。再进一步地，第二传感器安装孔自远离第一部分的一端至靠近第一部分的一端到连接槽的距离逐渐减小；进气连接口和所述出气连接口通过电磁阀连接。

进一步地，第三流通槽包括第三部分和第四部分，第三部分呈圆柱体结构，第四部分呈半球体结构，第三部分的半径等于第四部分的半径，第三部分的一端与第二部分连通，第三部分的另一端与第四部分连通，第四部分自靠近第三部分的一端至远离第三部分的一端截面积逐渐减小，第四部分靠近第三部分的一端所在的平面为进气连接口的一个对称面。

较佳地，右侧出气通道的内径大于第四流通槽的内径。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过设置与阀体两端可拆卸式固定的左侧接头和右侧接头，便于与其他部件进行连接，同时便于进行维护检修操作；通过在左侧接头远离阀体的一端设置左侧弧形凸起、在右侧接头远离阀体的一端设置右侧弧形凸起，便于与其他部件进行连接，同时保证密封效果；通过在阀体内设置依次连通且共轴设置的第一流通槽、第二流通槽和第三流通槽，便于气体在阀体内流动，同时有利于对气体流量进行控制；通过在阀体的上表面上设置连接槽，并在连接槽的槽底面上设置与第三流通槽连通的进气连接口和与第四流通槽连通的出气连接口，便于通过电磁阀等电器元件对气体进行输出控制；通过在阀体的上表面上设置第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，便于通过传感器对该气体流量阀内的气体流量进行实时监测，结构简单，灵敏度高。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的一种气体流量控制阀的结构示意图；

图2为图1沿A-A方向的剖视结构示意图。

实施方式

为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。

请结合参照图1和图2，本实用新型的一种气体流量控制阀，包括阀体10、左侧接头20和右侧接头30，左侧接头20与阀体10的左端可拆卸式固定，右侧接头30与阀体10的右端可拆卸式固定，以便于通过左侧接头20和右侧接头30与其他部件进行连接，同时便于进行维护检修操作。

左侧接头20内设有贯通左侧接头20的左侧进气通道21，左侧接头20远离阀体10的一端位于左侧进气通道21外周的位置设有左侧弧形凸起22，左侧弧形凸起22与左侧进气通道21共轴设置，左侧弧形凸起22自远离左侧进气通道21的一端至靠近左侧进气通道21的一端截面积逐渐增大，左侧弧形凸起22的最大外径小于左侧接头20远离阀体10一端的外径，以便于与其他部件进行连接，同时保证密封效果。

右侧接头30内设有贯通右侧接头30的右侧出气通道31，右侧接头30远离阀体10的一端位于右侧出气通道31外周的位置设有右侧弧形凸起32，右侧弧形凸起32与右侧出气通道31共轴设置，右侧弧形凸起32自远离右侧出气通道31的一端至靠近右侧出气通道31的一端截面积逐渐增大，右侧弧形凸起32的最大外径小于右侧接头30远离阀体10一端的外径，以便于与其他部件进行连接，同时保证密封效果。

阀体10内设有第一流通槽11、第二流通槽12、第三流通槽13和第四流通槽14，阀体10的上表面上设有连接槽15，连接槽15的槽底面上设有进气连接口151和出气连接口152，左侧进气通道21、第一流通槽11、第二流通槽12、第三流通槽13、第四流通槽14、右侧出气通道31共轴设置，左侧进气通道21、第一流通槽11、第二流通槽12和第三流通槽13依次连通，第三流通槽13的另一端与进气连接口151连通，第四流通槽14的一端与出气连接口152连通，第四流通槽14的另一端与右侧出气通道31连通，以通过对第一流通槽11、第二流通槽12、第三流通槽13和第四流通槽14结构的控制，达到控制气体流量的目的。

为了便于气体经由左侧接头20进入该流量控制阀，左侧进气通道21靠近左侧弧形凸起22的位置设有左侧圆锥面23，左侧进气通道21通过左侧圆锥面23与左侧弧形凸起22连接，左侧圆锥面23自靠近左侧进气通道21的一端至靠近左侧弧形凸起22的一端内径逐渐增大，左侧圆锥面23的最小内径等于左侧进气通道21的内径，左侧圆锥面23的最大内径等于左侧弧形凸起22的最小内径。

同理，为了便于气体经由右侧接头30排出，右侧出气通道31靠近右侧弧形凸起32的位置设有右侧圆锥面33，右侧出气通道31通过右侧圆锥面33与右侧弧形凸起32连接，右侧圆锥面33自靠近右侧出气通道31的一端至靠近右侧弧形凸起32的一端内径逐渐增大，右侧圆锥面33的最小内径等于右侧出气通道31的内径，右侧圆锥面33的最大内径等于右侧弧形凸起32的最小内径。

为了便于对进入阀体10内的气体进行增压，第二流通槽12包括第一部分121和第二部分122，第一部分121的一端与第一流通槽11连通，第一部分121的另一端与第二部分122连通，第二部分122的另一端与第三流通槽13连通，第二部分122自靠近第一部分121的一端至远离第一部分121的一端内径逐渐减小，第一部分121的内径小于第一流通槽11的内径，第一部分121的内径不小于第二部分122的最大内径，第二部分122的最小内径不小于第三流通槽13的最大内径，通过对第二流通槽12内径的限制，实现对气体的增压。

为了使气体平缓地流入进气连接口151，第三流通槽13包括第三部分131和第四部分132，第三部分131呈圆柱体结构，第四部分132呈半球体结构，第三部分131的半径等于第四部分132的半径，第三部分131的一端与第二部分122连通，第三部分131的另一端与第四部分132连通，第四部分132自靠近第三部分131的一端至远离第三部分131的一端截面积逐渐减小，第四部分132靠近第三部分131的一端所在的平面为进气连接口151的一个对称面。

为了便于对阀体10内的气体流量进行监测，阀体10的上表面上与第一流通槽11对应的位置设有第一传感器安装孔16，第一传感器安装孔16与第一流通槽11连通，以便于安装传感器对第一流通槽11内的气体流量进行监测，阀体10的上表面上与第一部分121对应的位置设有第二传感器安装孔17，第二传感器安装孔17与第一部分121连通，以便于安装传感器对第一部分121内的气体流量进行监测。

为了便于第二传感器安装孔17处传感器的安装，避免与连接槽15处的部件发生干涉，第二传感器安装孔17自远离第一部分121的一端至靠近第一部分121的一端到连接槽15的距离逐渐减小。

为了能够通过电器元件控制气体的输出，进气连接口151和出气连接口152通过电磁阀（图中未示出）连接，以在第一流通槽11和第一部分121内的气体流量与所需气体流量相等时，通过电磁阀动作控制气体经由连接槽15输送出去。

为了便于气体进入右侧接头30，右侧出气通道31的内径大于第四流通槽14的内径。

在实际使用中，该气体流量控制阀还包括设置在连接槽15内的阀芯，阀芯的结构可以根据实际使用需要进行选择，通过电磁阀等电器元件的动作实现气体流量控制；左侧接头20与气体生成或气体输送组件连接，右侧接头30与喷嘴或其他需要气体的组件连接。本实用新型不再对这些内容进行赘述。

使用方法：首先，将左侧接头20与气体生成或气体输送组件连接，将右侧接头30与喷嘴或其他需要气体的组件连接，在阀体10的第一传感器安装孔16内安装第一传感器，在阀体10的第二传感器安装孔17内安装第二传感器，进气连接口151和出气连接口152通过电磁阀连接。气体经由左侧进气通道21进入后，依次经过第一流通槽11、第二流通槽12、第三流通槽13后流向进气连接口151，当第一传感器和第二传感器测量的实时气体流量与预期流量相等时，电磁阀动作使进气连接口151和出气连接口152连通，气体经由第四流通槽14和右侧出气通道31向外输出。

本实用新型的一种气体流量控制阀，通过设置与阀体两端可拆卸式固定的左侧接头和右侧接头，便于与其他部件进行连接，同时便于进行维护检修操作；通过在左侧接头远离阀体的一端设置左侧弧形凸起、在右侧接头远离阀体的一端设置右侧弧形凸起，便于与其他部件进行连接，同时保证密封效果；通过在阀体内设置依次连通且共轴设置的第一流通槽、第二流通槽和第三流通槽，便于气体在阀体内流动，同时有利于对气体流量进行控制；通过在阀体的上表面上设置连接槽，并在连接槽的槽底面上设置与第三流通槽连通的进气连接口和与第四流通槽连通的出气连接口，便于通过电磁阀等电器元件对气体进行输出控制；通过在阀体的上表面上设置第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，便于通过传感器对该气体流量阀内的气体流量进行实时监测，结构简单，灵敏度高。

本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。

Claims (9)

1.一种气体流量控制阀，其特征在于，包括阀体、左侧接头和右侧接头，所述左侧接头与所述阀体的左端可拆卸式固定，所述右侧接头与所述阀体的右端可拆卸式固定；

所述左侧接头内设有贯通所述左侧接头的左侧进气通道，所述左侧接头远离所述阀体的一端位于所述左侧进气通道外周的位置设有左侧弧形凸起，所述左侧弧形凸起与所述左侧进气通道共轴设置，所述左侧弧形凸起自远离所述左侧进气通道的一端至靠近所述左侧进气通道的一端截面积逐渐增大，所述左侧弧形凸起的最大外径小于所述左侧接头远离所述阀体一端的外径；

所述右侧接头内设有贯通所述右侧接头的右侧出气通道，所述右侧接头远离所述阀体的一端位于所述右侧出气通道外周的位置设有右侧弧形凸起，所述右侧弧形凸起与所述右侧出气通道共轴设置，所述右侧弧形凸起自远离所述右侧出气通道的一端至靠近所述右侧出气通道的一端截面积逐渐增大，所述右侧弧形凸起的最大外径小于所述右侧接头远离所述阀体一端的外径；

所述阀体内设有第一流通槽、第二流通槽、第三流通槽和第四流通槽，所述阀体的上表面上设有连接槽，所述连接槽的槽底面上设有进气连接口和出气连接口，所述左侧进气通道、所述第一流通槽、所述第二流通槽、所述第三流通槽、所述第四流通槽、所述右侧出气通道共轴设置，所述左侧进气通道、所述第一流通槽、所述第二流通槽和所述第三流通槽依次连通，所述第三流通槽的另一端与所述进气连接口连通，所述第四流通槽的一端与所述出气连接口连通，所述第四流通槽的另一端与所述右侧出气通道连通。

2.如权利要求1所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述左侧进气通道靠近所述左侧弧形凸起的位置设有左侧圆锥面，所述左侧进气通道通过所述左侧圆锥面与所述左侧弧形凸起连接，所述左侧圆锥面自靠近所述左侧进气通道的一端至靠近所述左侧弧形凸起的一端内径逐渐增大，所述左侧圆锥面的最小内径等于所述左侧进气通道的内径，所述左侧圆锥面的最大内径等于所述左侧弧形凸起的最小内径。

3.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述右侧出气通道靠近所述右侧弧形凸起的位置设有右侧圆锥面，所述右侧出气通道通过所述右侧圆锥面与所述右侧弧形凸起连接，所述右侧圆锥面自靠近所述右侧出气通道的一端至靠近所述右侧弧形凸起的一端内径逐渐增大，所述右侧圆锥面的最小内径等于所述右侧出气通道的内径，所述右侧圆锥面的最大内径等于所述右侧弧形凸起的最小内径。

4.如权利要求1所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述第二流通槽包括第一部分和第二部分，所述第一部分的一端与所述第一流通槽连通，所述第一部分的另一端与所述第二部分连通，所述第二部分的另一端与所述第三流通槽连通，所述第二部分自靠近所述第一部分的一端至远离所述第一部分的一端内径逐渐减小，所述第一部分的内径小于所述第一流通槽的内径，所述第一部分的内径不小于所述第二部分的最大内径，所述第二部分的最小内径不小于所述第三流通槽的最大内径。

5.如权利要求4所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述第三流通槽包括第三部分和第四部分，所述第三部分呈圆柱体结构，所述第四部分呈半球体结构，所述第三部分的半径等于所述第四部分的半径，所述第三部分的一端与所述第二部分连通，所述第三部分的另一端与所述第四部分连通，所述第四部分自靠近所述第三部分的一端至远离所述第三部分的一端截面积逐渐减小，所述第四部分靠近所述第三部分的一端所在的平面为所述进气连接口的一个对称面。

6.如权利要求4所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述阀体的上表面上与所述第一流通槽对应的位置设有第一传感器安装孔，所述第一传感器安装孔与所述第一流通槽连通，所述阀体的上表面上与所述第一部分对应的位置设有第二传感器安装孔，所述第二传感器安装孔与所述第一部分连通。

7.如权利要求6所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述第二传感器安装孔自远离所述第一部分的一端至靠近所述第一部分的一端到所述连接槽的距离逐渐减小。

8.如权利要求6所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述进气连接口和所述出气连接口通过电磁阀连接。

9.如权利要求1所述的一种气体流量控制阀，其特征在于，所述右侧出气通道的内径大于所述第四流通槽的内径。