CN220452845U - 一种气体流量控制阀用接头 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种气体流量控制阀用接头，该接头包括接头本体，接头本体包括相对设置的固定端和外接端，接头本体的内部设有自固定端向外接端延伸并贯通接头本体的气体通道，外接端上位于气体通道外周的位置设有弧形凸起，弧形凸起与气体通道共轴设置，弧形凸起自远离气体通道的一端至靠近气体通道的一端截面积逐渐增大，弧形凸起的最大外径不大于外接端的外径，通过在外接端上设置弧形凸起，便于与其他部件进行连接，同时保证了连接处的密封效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及阀门技术领域，尤其涉及一种气体流量控制阀用接头。
背景技术
阀门是流体输送系统中的控制部件，用来开闭管路、控制流向等的管路附件，不同的阀门可以控制输送不同的流体。
在半导体领域，很多工艺过程中都需要对使用到的气体流量进行控制，以保证工艺生产的质量，这就需要使用到气体流量阀。传统的流量阀安装时，大多通过阀体两端通口处固定设置的法兰进行安装，由于法兰对阀体通口外部空间占据较大，法兰难以拆离，不便于与其他部件进行连接，且连接处的密封效果无法保证，影响了半导体工艺生产的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种气体流量控制阀用接头。
为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种气体流量控制阀用接头，包括接头本体，接头本体包括相对设置的固定端和外接端，接头本体的内部设有自固定端向外接端延伸并贯通接头本体的气体通道，外接端上位于气体通道外周的位置设有弧形凸起，弧形凸起与气体通道共轴设置，弧形凸起自远离气体通道的一端至靠近气体通道的一端截面积逐渐增大，弧形凸起的最大外径不大于外接端的外径。
较佳地，气体通道靠近弧形凸起的位置设有圆锥面，气体通道通过圆锥面与弧形凸起连接，圆锥面自靠近气体通道的一端至靠近弧形凸起的一端内径逐渐增大，圆锥面的最小内径等于气体通道的内径，圆锥面的最大内径等于弧形凸起的最小内径。
进一步地，固定端的外径大于外接端的外径。
进一步地，接头本体的侧壁上与外接端邻近的位置设有外接槽，弧形凸起的最大外径不大于外接槽的外径。
进一步地，接头本体的侧壁中部设有加强凸起。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：通过在外接端上设置弧形凸起，便于与其他部件进行连接，同时保证了连接处的密封效果；通过在气体通道靠近弧形凸起的位置设置圆锥面，气体通道通过圆锥面与弧形凸起连接，且圆锥面自靠近气体通道的一端至靠近弧形凸起的一端内径逐渐增大，便于气体经由该接头进入/流出气体流量控制阀，方便气体的输送。
附图说明
图1为本实用新型一实施例的一种气体流量控制阀用接头的结构示意图；
图2为图1沿A-A方向的剖视结构示意图；
图3为本实用新型一实施例的一种气体流量控制阀用接头的应用结构示意图；
图4为图3沿B-B方向的剖视结构示意图。
实施方式
为使对本实用新型的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
请结合参见图1和图2，本实用新型的一种气体流量控制阀用接头，包括接头本体10，接头本体10包括相对设置的固定端11和外接端12，接头本体10的内部设有自固定端11向外接端12延伸并贯通接头本体10的气体通道13，外接端12上位于气体通道13外周的位置设有弧形凸起14，弧形凸起14与气体通道13共轴设置，弧形凸起14自远离气体通道13的一端至靠近气体通道13的一端截面积逐渐增大，弧形凸起14的最大外径不大于外接端12的外径，通过在外接端12上设置弧形凸起14，便于与其他部件进行连接，同时保证了连接处的密封效果。
为了便于气体经由该接头进入/流出气体流量控制阀，气体通道13靠近弧形凸起14的位置设有圆锥面15，气体通道13通过圆锥面15与弧形凸起14连接，圆锥面15自靠近气体通道13的一端至靠近弧形凸起14的一端内径逐渐增大，圆锥面15的最小内径等于气体通道13的内径，圆锥面15的最大内径等于弧形凸起14的最小内径。
为了保证该接头与气体流量控制阀的连接效果，固定端11的外径大于外接端12的外径，以通过保证固定端11与气体流量阀的连接面积，达到保证连接效果的目的。
为了便于该接头与气体生成组件或者喷嘴等气体输送组件连接，接头本体10的侧壁上与外接端12邻近的位置设有外接槽16，弧形凸起14的最大外径不大于外接槽16的外径。
为了保证该接头的使用寿命，接头本体10的侧壁中部设有加强凸起17，以提高接头本体10的强度，从而保证使用寿命。
请结合参见图3和图4，图3为本实用新型一实施例的一种气体流量控制阀用接头的应用结构示意图；图4为图3沿B-B方向的剖视结构示意图。接头100的固定端11与阀体200可拆卸连接，二者的可拆卸连接方式可采用通用的两管件之间的连接方式等，本实用新型不再对此内容进行赘述，接头100内部的气体通道13与阀体200的出气口21连通，接头100的外接端12与喷嘴等气体输送组件连接，从而将受控特定流量的气体输送出去。由于接头100的外接端12上设置有弧形凸起14，便于与其他部件进行连接，同时保证了连接处的密封效果。
在实际使用中，接头100的外接端12也可以是与气体生成组件连接，接头100内部的气体通道13与阀体200的进气口连通，从而将气体输送进阀体200内。
本实用新型的一种气体流量控制阀用接头，通过在外接端上设置弧形凸起，便于与其他部件进行连接，同时保证了连接处的密封效果；通过在气体通道靠近弧形凸起的位置设置圆锥面，气体通道通过圆锥面与弧形凸起连接，且圆锥面自靠近气体通道的一端至靠近弧形凸起的一端内径逐渐增大，便于气体经由该接头进入/流出气体流量控制阀，方便气体的输送。
本实用新型已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本实用新型的范例。必需指出的是，已揭露的实施例并未限制本实用新型的范围。相反地，在不脱离本实用新型的精神和范围内所作的更动与润饰，均属本实用新型的专利保护范围。
Claims (5)
1.一种气体流量控制阀用接头，其特征在于，包括接头本体，所述接头本体包括相对设置的固定端和外接端，所述接头本体的内部设有自所述固定端向所述外接端延伸并贯通所述接头本体的气体通道，所述外接端上位于所述气体通道外周的位置设有弧形凸起，所述弧形凸起与所述气体通道共轴设置，所述弧形凸起自远离所述气体通道的一端至靠近所述气体通道的一端截面积逐渐增大，所述弧形凸起的最大外径不大于所述外接端的外径。
2.如权利要求1所述的一种气体流量控制阀用接头，其特征在于，所述气体通道靠近所述弧形凸起的位置设有圆锥面，所述气体通道通过所述圆锥面与所述弧形凸起连接，所述圆锥面自靠近所述气体通道的一端至靠近所述弧形凸起的一端内径逐渐增大，所述圆锥面的最小内径等于所述气体通道的内径，所述圆锥面的最大内径等于所述弧形凸起的最小内径。
3.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀用接头，其特征在于，所述固定端的外径大于所述外接端的外径。
4.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀用接头，其特征在于，所述接头本体的侧壁上与所述外接端邻近的位置设有外接槽，所述弧形凸起的最大外径不大于所述外接槽的外径。
5.如权利要求2所述的一种气体流量控制阀用接头，其特征在于，所述接头本体的侧壁中部设有加强凸起。
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