CN220439552U - 一种辅助装配装置及离子注入设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种辅助装配装置及离子注入设备，包括若干导引固定组件，所述导引固定组件包括导引杆和锁紧机构，所述导引杆的第一端与机台的装配面可拆卸连接，所有的所述导引杆的主体均插设于法兰、套管和冷却管的内部插孔内，所述导引杆的第二端通过锁紧机构固定所述冷却管。本申请还公开了一种包括所述辅助装配装置的离子注入设备。本申请的辅助装配装置通过导引杆的导引作用，便于导引冷却管与法兰和套管的安装，并通过锁紧机构锁紧固定冷却管，节省了对准脚的对准操作，仅需单人即可完成法兰、套管和冷却管的安装，大大降低了法兰、套管和冷却管的安装难度，进而提高了高能离子注入机的装配效率和装配质量。

Description

一种辅助装配装置及离子注入设备

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种辅助装配装置及离子注入设备。

背景技术

在高能离子注入机的装配过程中，每次高能离子注入机更换法兰和套管(flange&bushing)时，先将法兰安装于套管上，再将固定好的法兰和套管一起安装到机台上，法兰和套管，以及法兰、套管和机台的安装及对准均靠其上设置的对准脚(pin)来对准安装，但是对准脚一般只有1cm，比较难对准安装。将法兰、套管安装于机台时，由于机台和法兰、套管整体比较重再加上门板空间不够大的原因，每次都需要多名工程师一起完成对法兰、套管和机台的安装，较为麻烦和费力。

在安装冷却管(cooling tube)时，也需要通过套管上的对准脚对准冷却管上相应的对准孔实现位置的对准，然后再固定，由于冷却管上有石墨部件，紧靠对准脚来固定和安装冷却管，不仅安装不便捷，还有可能磕碰到石墨部件使其损坏，进而降低了高能离子注入机的装配效率和装配质量。

因此，如何便于法兰、套管和冷却管的安装以提高装配效率是目前亟待解决的问题。

实用新型内容

鉴于此，本申请提供一种辅助装配装置及离子注入设备，以便于法兰、套管和冷却管的安装，提高高能离子注入机的装配效率和装配质量。

本申请提供的辅助装配装置，包括若干导引固定组件，所述导引固定组件包括导引杆和锁紧机构，所述导引杆的第一端与机台的装配面可拆卸连接，所有的所述导引杆的主体均插设于法兰、套管和冷却管的内部插孔内，所述导引杆的第二端通过锁紧机构固定所述冷却管。

可选地，所述导引固定组件的数量为2个，两个所述导引杆相互平行。

可选地，所述导引固定组件的数量为3个或以上。

可选地，若干所述导引杆相互平行，任意一个所述导引杆与其相邻导引杆之间距离相等。

可选地，所述导引杆的外侧设置有若干插孔。

可选地，所述导引杆的第一端设置有第一螺纹部，所述机台上设置有若干螺孔，所述第一螺纹部的外螺纹与所述螺孔的内螺纹相匹配。

可选地，所述锁紧机构包括第一螺母，所述第一螺母的内螺纹与所述第一螺纹部的外螺纹相匹配。

可选地，所述导引杆的第二端设置有第二螺纹部，所述锁紧机构还包括第二螺母，所述第二螺母的内螺纹与所述第二螺纹部的外螺纹相匹配。

可选地，所述锁紧机构还包括第一垫片和第二垫片，所述第一垫片与所述第一螺母连接且套设于所述第一螺纹部的外侧，所述第二垫片与所述第二螺母的端面连接且套设于所述第二螺纹部的外侧。

本申请的离子注入设备包括所述辅助装配装置。

本申请提供的辅助装配装置及离子注入设备的有益效果在于：

本申请的辅助装配装置包括若干导引杆组件，每个导引杆组件均包括导引杆和锁紧机构，通过导引杆插入法兰、套管的内部，便于法兰和套管的固定安装，然后再通过导引杆插入冷却管的内部，便于导引冷却管与法兰和套管的匹配连接，最后通过锁紧机构锁紧固定冷却管，节省了对准脚的对准操作，仅需单人即可完成法兰、套管和冷却管的安装，大大降低了法兰、套管和冷却管的安装难度，进而提高了高能离子注入机的装配效率和装配质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例的第一种实施方式中辅助装配装置结构示意图；

图2是本申请实施例的辅助装配装置与机台连接示意图；

图3是辅助装配装置与机台的爆炸结构示意图；

图4是本申请实施例的第二种实施方式中辅助装配装置结构示意图。

附图标记：

1、导引杆；10、拆装孔；11、第一螺纹部；12、第二螺纹部；13、插槽；

2、锁紧机构；21、第一螺母；22、第二螺母；23、第一垫片；24、第二垫片；

3、法兰；4、套管；5、冷却管；6、内部插孔；7、机台；70、螺孔。

具体实施方式

下面结合附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而非全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。

请参考图1，为本申请实施例第一种实施方式中辅助装配装置结构示意图。

参照图1至图3，本申请提供的辅助装配装置，包括若干导引固定组件，导引固定组件包括导引杆1和锁紧机构2，导引杆1的第一端与机台7的装配面可拆卸连接，所有的导引杆1的主体均插设于法兰3、套管4和冷却管5的内部插孔6内，导引杆1的第二端通过锁紧机构2固定冷却管5。

一些实施例中，导引固定组件的数量为2个，两个导引杆1相互平行。法兰3、套管4和冷却管5三者的内部插孔6的内径大小一致，两个导引杆1在导引法兰3、套管4和冷却管5时，导引杆1的外壁与法兰3、套管4和冷却管5的内部插孔6的内壁接触，起到支撑和导引的作用，便于法兰3、套管4和冷却管5的对准和安装。通过两个相互平行的导引杆1来导引法兰3、套管4和冷却管5，节省了通过对准脚对准安装的步骤，降低了对准安装的难度，提高了法兰3、套管4和冷却管5的更换和安装效率。

另一些实施例中，导引固定组件的数量为3个或以上。若干导引杆1相互平行，任意一个导引杆1与其相邻导引杆1之间距离相等。每个导引杆1的外侧均与法兰3、套管4和冷却管5的内部插孔6的内壁相贴，起到了对法兰3、套管4和冷却管5稳定的导引作用。

作为本申请一种可选的实施方式，参照图1至图3，导引杆1的第一端设置有第一螺纹部11，机台7上设置有若干螺孔70，第一螺纹部11的外螺纹与螺孔70的内螺纹相匹配。

一些实施例中，导引杆1的外侧为圆柱杆结构，减少了导引杆1与冷却管5、套管4和法兰3的摩擦，降低了安装时的摩擦损耗，进而降低了安装阻力和安装难度、提高了安装效率和安装质量。

一些实施例中，参照图1至图3，所述导引杆1的外侧设置有若干拆装孔10。在拆卸时，先松开锁紧机构2，然后将导引杆1外侧的冷却管5、套管4和法兰3依次从导引杆1上拆卸下来，最后再旋转导引杆1将导引杆1的第一段从螺孔70中旋转出来，完成导引杆1的拆卸。由于导引杆1一般为圆柱杆结构，不便于旋转借力。本申请在导引杆1的外端设置了若干拆装孔10，通过与拆装孔10匹配的工具一端插入任意一个拆装孔10，然后旋转工具，即可通过工具带动导引杆1旋转，从而轻松将导引杆1从机台7上旋转拆卸下来。也可通过工具带动导引杆1转动旋进螺孔70，实现对导引杆1的安装和旋转紧固。

另一些实施例中，参照图3，导引杆1的第二端的端部设置有插槽13，插槽13为梅花槽、一字槽和六边形插槽重的任意一种，插槽13的中心与导引杆1的轴线在同一条直线上，在拆卸导引杆1时，可通过与插槽相匹配的工具如起子插入插槽13，然后旋转工具即可带动导引杆1旋转，从而实现对导引杆1的拆卸和安装。

作为本申请一种可选的实施方式，参照图1和图2，锁紧机构2包括第一螺母21，第一螺母21的内螺纹与第一螺纹部11的外螺纹相匹配。

一些实施例中，导引杆1上的第一螺纹部11的长度大于螺孔70的长度、第一螺母21的径向长度以及法兰3和套管4的长度总和，保证导引杆1的第一螺纹部11旋进螺孔70后，第一螺母21还能旋转并锁紧法兰3和套管4，实现对法兰3和套管4的锁紧安装。

作为本申请一种可选的实施方式，参照图1和图2，导引杆1的第二端设置有第二螺纹部12，锁紧机构2还包括第二螺母22，第二螺母22的内螺纹与第二螺纹部12的外螺纹相匹配。

作为本申请一种可选的实施方式，参照图1和图2，锁紧机构2还包括第一垫片23和第二垫片24，第一垫片23与第一螺母21连接且套设于第一螺纹部11的外侧，第二垫片24与第二螺母22的端面连接且套设于第二螺纹部12的外侧。

一些实施例中，第一垫片23与套管4接触的端面面积大于第一螺母21的端面面积，第二垫片24与冷却管5接触的端面面积大于第二螺母22的端面面积，从而提升了压紧面积，提高了锁紧稳定性的同时，也降低了套管4和冷却管5的受压面的单位面积的受力强度，从而起到了保护套管4和冷却管5的作用，避免压力过大损坏冷却管5和套管4。

一些实施例中，第一垫片23和第二垫片24均采用弹性材质，如橡胶垫片、塑料垫片，进一步提高垫片的缓冲能力，避免压力过大损坏冷却管5和套管4，提高了安装和更换冷却管5、套管4和法兰3的安全性。

在本申请实施例的第一种实施方式中，第一螺纹部11的螺纹的外径大于导引杆1的外径，第一螺纹部11的螺纹外径也大于第二螺纹部12的螺纹外径，从而使得在导引杆1的第一端与机台7固定连接并且法兰3和套管4固定后，第一螺母21可以从导引杆1的第二端依次穿过第二螺纹部12和导引杆1的主体而旋接第一螺纹部11，进而实现对法兰3和套管4的锁紧固定；

第二螺纹部12的外径小于导引杆1的外径，便于导引杆1的光滑部起到导引冷却管5的作用。

一些具体实施例中，本申请的辅助装配装置的装配流程如下：

将若干导引杆1的第一螺纹部11对准机台7上的若干螺孔70，然后通过工具带动导引杆1旋转以将第一螺纹部11靠近机台7的一端旋进螺孔70，完成对导引杆1与机台7的固定连接，使得若干导引杆1具有定向导引的作用；

再将法兰3和套管4依次套上导引杆1，使得导引杆1插设于法兰3和套管4的内部插孔6，然后将第一螺母21套上导引杆1并使得第一垫片23朝向套管4方向，使得第一螺母21旋在第一螺纹部11，然后旋转第一螺母21使得第一垫片23贴近并压紧套管4，完成对法兰3和套管4的安装固定；

将冷却管5套上导引杆1，使得若干冷却管5均插设于冷却管5的内部插孔6内，使得冷却管5的一端与套管4的端面相贴，最后将第二螺母22旋上第二螺纹部12，旋转第二螺母22使得第二垫片24压紧冷却管5，使得冷却管5逐渐与套管4和法兰3紧贴固定，实现对冷却管5的固定安装。

可说明的是，在法兰3和机台7之间还安装有其他零部件(图中未示出)，这些零部件内部均具有内部插孔，便于直接套设于导引杆1上实现导引安装。

在本申请实施例的第二种实施方式中，第一螺纹部11的螺纹的外径小于导引杆1的外径，第二螺纹部12的外径大于导引杆1的外径，此时安装法兰3和套管4的步骤如下：

先将第一螺母21套上第一螺纹部11，使得第一螺母21位于第一螺纹部11上远离机台7的一端；将第一螺纹部21插入套管4和法兰3的内部插孔6内，然后将第一螺纹部11的端部旋进螺孔70内并使得第一垫片23与套管4相贴后，旋转第一螺母21使得第一螺母21锁紧套管4，实现对套管4和法兰3的紧固安装。

本申请的离子注入设备包括辅助装配装置。通过辅助装配装置，提高了离子注入设备的安装和更换零件的效率。

本申请提供的辅助装配装置及离子注入设备的优点在于：

本申请的辅助装配装置包括若干导引杆1组件，每个导引杆1组件均包括导引杆1和锁紧机构2，通过导引杆1插入法兰3、套管4的内部，便于法兰3和套管4的固定安装，然后再通过导引杆1插入冷却管5的内部，便于导引冷却管5与法兰3和套管4的匹配连接，最后通过锁紧机构2锁紧固定冷却管5，节省了对准脚的对准操作，仅需单人即可完成法兰3、套管4和冷却管5的安装，大大降低了法兰3、套管4和冷却管5的安装难度，提高了法兰3、套管4和冷却管5的安装、拆卸和更换效率，进而提高了高能离子注入机的装配效率和装配质量。

以上所述仅为本申请的实施例，并非因此限制本申请的专利范围，凡是利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本申请的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种辅助装配装置，其特征在于，包括若干导引固定组件，所述导引固定组件包括导引杆和锁紧机构，所述导引杆的第一端与机台的装配面可拆卸连接，所有的所述导引杆的主体均插设于法兰、套管和冷却管的内部插孔内，所述导引杆的第二端通过锁紧机构固定所述冷却管。

2.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引固定组件的数量为2个，两个所述导引杆相互平行。

3.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引固定组件的数量至少为3个。

4.如权利要求3所述的辅助装配装置，其特征在于，若干所述导引杆相互平行，任意一个所述导引杆与其相邻导引杆之间距离相等。

5.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的外侧设置有若干插孔。

6.如权利要求1所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的第一端设置有第一螺纹部，所述机台上设置有若干螺孔，所述第一螺纹部的外螺纹与所述螺孔的内螺纹相匹配。

7.如权利要求6所述的辅助装配装置，其特征在于，所述锁紧机构包括第一螺母，所述第一螺母的内螺纹与所述第一螺纹部的外螺纹相匹配。

8.如权利要求7所述的辅助装配装置，其特征在于，所述导引杆的第二端设置有第二螺纹部，所述锁紧机构还包括第二螺母，所述第二螺母的内螺纹与所述第二螺纹部的外螺纹相匹配。

9.如权利要求8所述的辅助装配装置，其特征在于，所述锁紧机构还包括第一垫片和第二垫片，所述第一垫片与所述第一螺母连接且套设于所述第一螺纹部的外侧，所述第二垫片与所述第二螺母的端面连接且套设于所述第二螺纹部的外侧。

10.一种离子注入设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的辅助装配装置。