CN220427929U - 光伏硅片抛光研磨加工装置 - Google Patents
光伏硅片抛光研磨加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN220427929U CN220427929U CN202321901580.2U CN202321901580U CN220427929U CN 220427929 U CN220427929 U CN 220427929U CN 202321901580 U CN202321901580 U CN 202321901580U CN 220427929 U CN220427929 U CN 220427929U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixing
- polishing
- silicon wafer
- plates
- photovoltaic silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 49
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 49
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 49
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 49
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为光伏硅片抛光研磨加工装置,包括底座;转盘的上方安装有可拆卸的固定盘,固定盘的顶面开设有多个用于放置光伏硅片的凹槽,固定盘的底面安装有两个与固定槽插接配合的固定板,固定板上开设有插槽,且插板与插槽插接配合;两侧的弧形板同步相对运动,弧形板可以带动插板脱离插槽,即可解除插板对固定板的限制,即可对固定盘进行拆卸,而固定盘上设置有多个用于放置硅片的凹槽,通过更换具有合适尺寸的凹槽的固定盘,即可方便对不同尺寸的光伏硅片进行抛光研磨;该设计通过对固定盘进行更换,可以更换具有不同尺寸凹槽的固定盘,从而便于对不同尺寸的硅片进行抛光研磨。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为光伏硅片抛光研磨加工装置。
背景技术
硅片是指单晶硅的切片,光伏硅片是光伏系统的重要组件,光伏硅片大体可以分为多晶硅片和单晶硅片;目前,抛光是硅片的最终加工工序,要求表面具有晶格完整性、高的平面度及洁净性。
授权公告号为CN218017779U的实用新型专利公开了一种硅片生产用抛光装置,该硅片生产用抛光装置包括有支撑框、工作台、电动滑轨、电动滑块、电机、抛光盘、气泵、连接框、过滤器和顶起机构,支撑框顶部连接有用于放置硅片的工作台,工作台上均匀地开有七个凹槽,七个凹槽呈环形分布,支撑框两侧均安装有电动滑轨,两个电动滑轨上均滑动式地安装有电动滑块,两个电动滑块之间安装有用于提供动力的电机,电机的输出轴连接有用于给硅片的表面抛光的抛光盘,抛光盘位于工作台上方;通过顶起机构能快速将抛光好的硅片顶出,方便人们将硅片取出,从而给人们的操作带来便利。
虽然该硅片生产用抛光装置通过设置的顶起机构,方便取出硅片,但是该装置在使用时存在以下问题:由于在生产光伏硅片时具有不同的生产需求,因此在加工过程中需要对不同尺寸的光伏硅片进行抛光,而该装置设置的凹槽尺寸固定,从而不便于对不同尺寸的硅片进行抛光研磨,鉴于此,我们提出光伏硅片抛光研磨加工装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供光伏硅片抛光研磨加工装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
光伏硅片抛光研磨加工装置,包括抛光部和固定部;
所述抛光部用于抛光研磨光伏硅片;包括底座;
所述固定部用于固定光伏硅片;包括安装于底座顶面的转盘,转盘的顶面开设有滑腔,滑腔两侧均开设有固定槽,转盘处转动安装有传动轴,传动轴上位于滑腔内同轴固定有两个螺纹环绕方向相反的丝杆,丝杆上均螺纹连接有连接座,连接座的两端铰接有连接板,相邻的两个连接板末端处设有弧形板,且连接板通过铰座与弧形板相铰接,弧形板的外壁上均安装有插板;转盘的上方安装有可拆卸的固定盘,固定盘的顶面开设有多个用于放置光伏硅片的凹槽,固定盘的底面安装有两个与固定槽插接配合的固定板,固定板上开设有插槽,且插板与插槽插接配合。
作为本实用新型优选的技术方案,所述底座的顶面两侧均安装有固定座,两个固定座之间安装有横座,横座顶面安装有两个电缸,两个电缸的活塞杆末端之间安装有升降板,升降板的转动安装有抛光轮,升降板顶面安装有用于驱动抛光轮转动的第一马达;底座的下方安装有第二马达。
作为本实用新型优选的技术方案,所述转盘的底面中心处同轴键连接有连接轴,连接轴的底端穿过底座且同轴键连接有副锥齿轮,副锥齿轮的一侧啮合有主锥齿轮,且第二马达的输出轴与主锥齿轮同轴键连接。
作为本实用新型优选的技术方案,所述传动轴的前端处同轴键连接有拧块,且拧块的外壁上设有多个防滑纹。
作为本实用新型优选的技术方案,所述底座的底面四角处均安装有支脚,且支脚通过螺栓与底座固定连接。
作为本实用新型优选的技术方案,所述底座的底面中心处安装有固定架,且第二马达通过螺栓与固定架固定连接。
作为本实用新型优选的技术方案,所述固定盘的底面安装有多个定位柱,转盘的顶面开设有多个定位孔,且定位柱与定位孔插接配合。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果:
1.通过设置的固定部:即转动传动轴带动两个丝杆转动,可以带动两侧的弧形板同步相对运动,弧形板可以带动插板脱离插槽,即可解除插板对固定板的限制,即可对固定盘进行拆卸,而固定盘上设置有多个用于放置硅片的凹槽,通过更换具有合适尺寸的凹槽的固定盘,即可方便对不同尺寸的光伏硅片进行抛光研磨;该设计通过对固定盘进行更换,可以更换具有不同尺寸凹槽的固定盘,从而便于对不同尺寸的硅片进行抛光研磨;
2.通过第二马达驱动抛光轮转动,电缸驱动抛光轮下降,即可通过抛光轮对硅片进行抛光研磨。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型的整体结构侧视图;
图3为本实用新型中固定部的爆炸结构示意图;
图4为本实用新型中固定部的部分结构示意图;
图5为本实用新型中固定部的部分爆炸结构示意图;
图6为本实用新型中固定盘的结构示意图。
图中:
1、抛光部;10、底座;11、支脚;12、固定座;13、横座;14、电缸;15、升降板;16、抛光轮;17、第一马达;18、固定架;19、第二马达;
2、固定部;20、转盘;201、滑腔;202、固定槽;203、定位孔;204、连接轴;205、副锥齿轮;21、传动轴;211、丝杆;212、拧块;22、连接座;23、连接板;24、弧形板;25、铰座;26、插板;27、固定盘;271、定位柱;272、凹槽;28、固定板;281、插槽;29、主锥齿轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
本实施例提供一种技术方案:
请参阅图1-图2,光伏硅片抛光研磨加工装置,包括抛光部1和固定部2。抛光部1用于抛光研磨光伏硅片;包括底座10;底座10的顶面两侧均安装有固定座12,两个固定座12之间安装有横座13,固定座12通过螺栓分别与横座13和底座10固定连接,横座13顶面安装有两个电缸14,两个电缸14的活塞杆末端之间安装有升降板15,升降板15的转动安装有抛光轮16,升降板15顶面安装有用于驱动抛光轮16转动的第一马达17;底座10的下方安装有第二马达19。
通过上述设置方式,第二马达19驱动抛光轮16转动,电缸14驱动抛光轮16下降,即可通过抛光轮16对硅片进行抛光研磨。
在本实施例中,底座10的底面四角处均安装有支脚11,且支脚11通过螺栓与底座10固定连接,支脚11的设置对装置起到了稳定的支撑作用。
在本实施例中,底座10的底面中心处安装有固定架18,且第二马达19通过螺栓与固定架18固定连接,固定架18对第二马达19起到了支撑和固定的作用。
请参阅图3-图6,固定部2用于固定光伏硅片;包括安装于底座10顶面的转盘20,转盘20的顶面开设有滑腔201,滑腔201两侧均开设有固定槽202,转盘20处转动安装有传动轴21,传动轴21上位于滑腔201内同轴固定有两个螺纹环绕方向相反的丝杆211,丝杆211与传动轴21同轴紧密焊接,丝杆211上均螺纹连接有连接座22,连接座22的两端铰接有连接板23,相邻的两个连接板23末端处设有弧形板24,且连接板23通过铰座25与弧形板24相铰接,弧形板24的外壁上均安装有插板26,且弧形板24与插板26通过螺栓固定连接;转盘20的上方安装有可拆卸的固定盘27,固定盘27的顶面开设有多个用于放置光伏硅片的凹槽272,固定盘27的底面安装有两个与固定槽202插接配合的固定板28,固定板28与固定盘27紧密焊接,固定板28上开设有插槽281,且插板26与插槽281插接配合。
通过上述设置方式,通过插板26与插槽281插接,可以将固定盘27固定在转盘20上方,通过将插板26脱离插槽281,可以解除对固定盘27的限制,方便更换合适的固定盘27。
进一步地,转盘20的底面中心处同轴键连接有连接轴204,连接轴204的底端穿过底座10且同轴键连接有副锥齿轮205,副锥齿轮205的一侧啮合有主锥齿轮29,且第二马达19的输出轴与主锥齿轮29同轴键连接;
通过上述设置方式,方便第二马达19驱动转盘20转动,方便转盘20驱动固定盘27转动,方便对硅片进行抛光研磨。
在本实施例中,传动轴21的前端处同轴键连接有拧块212,且拧块212的外壁上设有多个防滑纹,通过转动拧块212方便转动传动轴21,设计人性化。
在本实施例中,固定盘27的底面安装有多个定位柱271,转盘20的顶面开设有多个定位孔203,且定位柱271与定位孔203插接配合,定位柱271与定位孔203的插接对固定盘27的安装起到了定位的作用。
可以理解是,本实施例中的固定盘27可准备多个,且多个固定盘27上的凹槽272的尺寸不同,当对不同尺寸的硅片进行加工时,可以选择合适尺寸的凹槽272的固定盘27用于放置硅片。
当需要更换固定盘27时,使用人员首先拧块212,拧块212带动传动轴21和丝杆211转动,随着丝杆211的转动,两个连接座22即同步相对向内侧运动,连接座22即带动连接板23运动,连接板23即牵引弧形板24向内侧运动,此时弧形板24带动插板26脱离插槽281,插板26对固定板28的限制即解除,此时使用人员向上提起固定盘27,固定盘27即被取下,随后使用人员更换合适的固定盘27,并将固定板28对准固定槽202插入,然后使用人员再次反方向转动拧块212,随着传动轴21和丝杆211的反方向转动,两侧的插板26即重新插入至插槽281内,固定盘27即被固定,固定盘27的更换即完成。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例,并不用来限制本实用新型,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.光伏硅片抛光研磨加工装置,包括抛光部(1)和固定部(2),其特征在于:
所述抛光部(1)用于抛光研磨光伏硅片;包括底座(10);
所述固定部(2)用于固定光伏硅片;包括安装于底座(10)顶面的转盘(20),转盘(20)的顶面开设有滑腔(201),滑腔(201)两侧均开设有固定槽(202),转盘(20)处转动安装有传动轴(21),传动轴(21)上位于滑腔(201)内同轴固定有两个螺纹环绕方向相反的丝杆(211),丝杆(211)上均螺纹连接有连接座(22),连接座(22)的两端铰接有连接板(23),相邻的两个连接板(23)末端处设有弧形板(24),且连接板(23)通过铰座(25)与弧形板(24)相铰接,弧形板(24)的外壁上均安装有插板(26);转盘(20)的上方安装有可拆卸的固定盘(27),固定盘(27)的顶面开设有多个用于放置光伏硅片的凹槽(272),固定盘(27)的底面安装有两个与固定槽(202)插接配合的固定板(28),固定板(28)上开设有插槽(281),且插板(26)与插槽(281)插接配合。
2.根据权利要求1所述的光伏硅片抛光研磨加工装置,其特征在于:所述底座(10)的顶面两侧均安装有固定座(12),两个固定座(12)之间安装有横座(13),横座(13)顶面安装有两个电缸(14),两个电缸(14)的活塞杆末端之间安装有升降板(15),升降板(15)的转动安装有抛光轮(16),升降板(15)顶面安装有用于驱动抛光轮(16)转动的第一马达(17);底座(10)的下方安装有第二马达(19)。
3.根据权利要求1所述的光伏硅片抛光研磨加工装置,其特征在于:所述转盘(20)的底面中心处同轴键连接有连接轴(204),连接轴(204)的底端穿过底座(10)且同轴键连接有副锥齿轮(205),副锥齿轮(205)的一侧啮合有主锥齿轮(29),且第二马达(19)的输出轴与主锥齿轮(29)同轴键连接。
4.根据权利要求1所述的光伏硅片抛光研磨加工装置,其特征在于:所述传动轴(21)的前端处同轴键连接有拧块(212),且拧块(212)的外壁上设有多个防滑纹。
5.根据权利要求1所述的光伏硅片抛光研磨加工装置,其特征在于:所述底座(10)的底面四角处均安装有支脚(11),且支脚(11)通过螺栓与底座(10)固定连接。
6.根据权利要求1所述的光伏硅片抛光研磨加工装置,其特征在于:所述底座(10)的底面中心处安装有固定架(18),且第二马达(19)通过螺栓与固定架(18)固定连接。
7.根据权利要求1所述的光伏硅片抛光研磨加工装置,其特征在于:所述固定盘(27)的底面安装有多个定位柱(271),转盘(20)的顶面开设有多个定位孔(203),且定位柱(271)与定位孔(203)插接配合。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321901580.2U CN220427929U (zh) | 2023-07-19 | 2023-07-19 | 光伏硅片抛光研磨加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202321901580.2U CN220427929U (zh) | 2023-07-19 | 2023-07-19 | 光伏硅片抛光研磨加工装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN220427929U true CN220427929U (zh) | 2024-02-02 |
Family
ID=89685536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202321901580.2U Active CN220427929U (zh) | 2023-07-19 | 2023-07-19 | 光伏硅片抛光研磨加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN220427929U (zh) |
-
2023
- 2023-07-19 CN CN202321901580.2U patent/CN220427929U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN210147739U (zh) | 一种电子设备外壳去毛刺装置 | |
CN217648142U (zh) | 一种汽车零部件生产加工打磨设备 | |
CN112059759A (zh) | 一种高速轻量化传动轴承打磨设备 | |
CN213999028U (zh) | 一种便于使用的轴承加工用抛光装置 | |
CN108340266A (zh) | 一种用于塑料加工的升降旋转抛光装置及抛光方法 | |
CN115609387A (zh) | 一种汽车刹车盘生产用可调式打磨架 | |
CN116619152A (zh) | 一种半导体炉主炉室加工装置及加工方法 | |
CN220427929U (zh) | 光伏硅片抛光研磨加工装置 | |
CN215240083U (zh) | 一种用于半导体晶圆生产的抛光设备 | |
CN210968153U (zh) | 一种行星轮式玻璃抛光装置 | |
CN217370782U (zh) | 一种齿轮加工用的磨削装置 | |
CN215281209U (zh) | 一种回转支撑抛光机 | |
CN213592455U (zh) | 一种室内灯罩生产用打磨装置 | |
CN213562438U (zh) | 一种可调式机械加工工作台 | |
CN113523999A (zh) | 基于机械手表加工的表盘内外表面打磨抛光设备 | |
CN110561236B (zh) | 一种五金生产制备用扳手多组打磨机 | |
CN203077070U (zh) | 晶片研磨机 | |
CN220698429U (zh) | 一种齿轮齿槽打磨装置 | |
CN218746635U (zh) | 电机定子生产用打磨装置 | |
CN220328828U (zh) | 一种用于涂料研磨机的研磨装置 | |
CN219633402U (zh) | 一种全瓷义齿抛光设备 | |
CN110977718A (zh) | 一种浇注式变压器底面打磨设备 | |
CN220240911U (zh) | 一种汽车驱动轴自动打磨装置 | |
CN220881616U (zh) | 一种组合式千叶轮打磨装置 | |
CN218018122U (zh) | 一种用于半钢化玻璃生产的支撑装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |